本文主要研究内容
作者张璐凡,李雪丽,张海红（2019）在《基于浮动定子的超高加速度宏微运动平台设计及隔振分析》一文中研究指出：突破宏微运动平台加速度限制对于微电子制造业的快速发展具有重要意义。为突破加速度限制,基于"宏+微+宏"驱动模式,提出了一种超高加速宏微运动平台。由超高加速度引起的振动通过浮动定子隔离,以保障超高加速度宏微运动平台超精密定位并获得平台的优越性能。通过搭建基于浮动定子的超高加速度宏微运动平台理论模型,进行理论分析以探究其振动隔离特性。进一步,利用ANSYS软件对宏微运动平台的有限元模型,进行相关瞬态动态仿真分析,对振动隔离进行验证。最后,搭建振动实验平台,在超高加速度下,基于浮动定子的宏微运动平台在频域和时域中振动隔离被验证。研究结果为微电子制造设备升级和制造业的快速发展提供了理论和技术依据。
Abstract
tu po hong wei yun dong ping tai jia su du xian zhi dui yu wei dian zi zhi zao ye de kuai su fa zhan ju you chong yao yi yi 。wei tu po jia su du xian zhi ,ji yu "hong +wei +hong "qu dong mo shi ,di chu le yi chong chao gao jia su hong wei yun dong ping tai 。you chao gao jia su du yin qi de zhen dong tong guo fu dong ding zi ge li ,yi bao zhang chao gao jia su du hong wei yun dong ping tai chao jing mi ding wei bing huo de ping tai de you yue xing neng 。tong guo da jian ji yu fu dong ding zi de chao gao jia su du hong wei yun dong ping tai li lun mo xing ,jin hang li lun fen xi yi tan jiu ji zhen dong ge li te xing 。jin yi bu ,li yong ANSYSruan jian dui hong wei yun dong ping tai de you xian yuan mo xing ,jin hang xiang guan shun tai dong tai fang zhen fen xi ,dui zhen dong ge li jin hang yan zheng 。zui hou ,da jian zhen dong shi yan ping tai ,zai chao gao jia su du xia ,ji yu fu dong ding zi de hong wei yun dong ping tai zai pin yu he shi yu zhong zhen dong ge li bei yan zheng 。yan jiu jie guo wei wei dian zi zhi zao she bei sheng ji he zhi zao ye de kuai su fa zhan di gong le li lun he ji shu yi ju 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自科学技术与工程的张璐凡,李雪丽,张海红，发表于刊物科学技术与工程2019年25期论文，是一篇关于超高加速度论文,宏微运动平台论文,浮动定子论文,隔振分析论文,科学技术与工程2019年25期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自科学技术与工程2019年25期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：超高加速度论文; 宏微运动平台论文; 浮动定子论文; 隔振分析论文; 科学技术与工程2019年25期论文;