本文主要研究内容
作者张志秦,胡跃辉,张效华,胡克艳,陈义川,朱文均,帅伟强,劳子轩（2019）在《调制溅射功率对掺镓氧化锌薄膜光电性能影响》一文中研究指出：使用射频磁控溅射法在石英衬底上制备ZnO掺Ga薄膜(GZO),通过调制不同的溅射功率制备GZO薄膜,研究了溅射功率对GZO薄膜光电学性能的影响。对不同溅射功率下的GZO薄膜进行X射线衍射、扫描电镜(SEM)、内应力、紫外可见光光谱、光致发光谱分析和电学性能分析。结果表明:随着溅射功率的提高,GZO薄膜保持良好的C轴择优取向;薄膜结晶度增加,晶界减少,晶粒尺寸增大;透光性减小;薄膜缺陷降低;薄膜表面方块电阻下降。
Abstract
shi yong she pin ci kong jian she fa zai dan ying chen de shang zhi bei ZnOcan Gabao mo (GZO),tong guo diao zhi bu tong de jian she gong lv zhi bei GZObao mo ,yan jiu le jian she gong lv dui GZObao mo guang dian xue xing neng de ying xiang 。dui bu tong jian she gong lv xia de GZObao mo jin hang Xshe xian yan she 、sao miao dian jing (SEM)、nei ying li 、zi wai ke jian guang guang pu 、guang zhi fa guang pu fen xi he dian xue xing neng fen xi 。jie guo biao ming :sui zhao jian she gong lv de di gao ,GZObao mo bao chi liang hao de Czhou ze you qu xiang ;bao mo jie jing du zeng jia ,jing jie jian shao ,jing li che cun zeng da ;tou guang xing jian xiao ;bao mo que xian jiang di ;bao mo biao mian fang kuai dian zu xia jiang 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自陶瓷学报的张志秦,胡跃辉,张效华,胡克艳,陈义川,朱文均,帅伟强,劳子轩，发表于刊物陶瓷学报2019年02期论文，是一篇关于溅射功率论文,晶粒尺寸论文,方阻论文,透光性论文,陶瓷学报2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自陶瓷学报2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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