本文主要研究内容
作者钟青,袁文泽,史艳平,王雪深,周哲海,李劲劲（2019）在《毫米波功率计量标准器芯片的研制》一文中研究指出：针对毫米波WR-6波段功率标准器核心芯片需求,设计了芯片整体结构,研究了结构中各层的微加工工艺,制备了温度传感用Pt薄膜,在250℃退火后,100 nm Pt薄膜的电阻温度系数(TCR)达到2. 4×10-3/K,相对稳定度为2. 4×10-6。安装在毫米波功率标准器上的芯片对110～170 GHz的反射率低于-23 d B。直流功率灵敏度为0. 83 mΩ/m W。
Abstract
zhen dui hao mi bo WR-6bo duan gong lv biao zhun qi he xin xin pian xu qiu ,she ji le xin pian zheng ti jie gou ,yan jiu le jie gou zhong ge ceng de wei jia gong gong yi ,zhi bei le wen du chuan gan yong Ptbao mo ,zai 250℃tui huo hou ,100 nm Ptbao mo de dian zu wen du ji shu (TCR)da dao 2. 4×10-3/K,xiang dui wen ding du wei 2. 4×10-6。an zhuang zai hao mi bo gong lv biao zhun qi shang de xin pian dui 110～170 GHzde fan she lv di yu -23 d B。zhi liu gong lv ling min du wei 0. 83 mΩ/m W。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自计量学报的钟青,袁文泽,史艳平,王雪深,周哲海,李劲劲，发表于刊物计量学报2019年02期论文，是一篇关于计量学论文,功率计量论文,毫米波论文,功率基准论文,薄膜电阻论文,计量学报2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自计量学报2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。