导读:本文包含了刻蚀模型论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:刻蚀偏差,版图特征,BP神经网络,孔径效应
刻蚀模型论文文献综述
胡浩儒,闫江,张永华[1]（2019）在《基于BP神经网络的刻蚀偏差预测模型》一文中研究指出刻蚀是将设计版图转化为到晶圆图形的重要步骤,刻蚀质量的好坏直接关系到芯片或集成电路的性能,而影响刻蚀质量(蚀刻偏差)的孔径效应和微负载效应在很大程度上取决于版图密度、图案间距等布局特征。为了探究在固定刻蚀工艺参数下的版图特征对刻蚀偏差影响,本文提出了基于BP神经网络的刻蚀偏差预测模型。首先,对一维版图的特征提取并建立用于训练模型和测试模型的训练集与测试集,然后,训练和优化该BP神经网络模型。实验结果表明,该模型预测值的绝对误差可达±2 nm以下,而相对于真实刻蚀偏差的相对误差可达10%以下。因此在较大技术节点下,这种基于BP神经网络模型的预测精度是可以接受的。(本文来源于《贵州大学学报(自然科学版)》期刊2019年04期）
陈雪辉,吴超,李翔,徐欣,王可朝[2]（2018）在《基于两种热源模型的激光刻蚀数值仿真》一文中研究指出激光刻蚀碳化硅的影响因子较多,仅依靠试验方法研究激光刻蚀过程难以充分和有效了解其过程,数值仿真模拟己成为研究激光刻蚀的一种有力手段。基于ABAQUS有限元软件的数学模型和数值方法,利用FORTRAN编写的用户子程序,模拟了不同激光热源下碳化硅激光刻蚀过程中温度场和刻蚀深度的变化。结果表明:不同的热源模型对刻蚀区域的最高温度及热影响区的温度分布有一定影响,综合比较发现选择双椭球热源模型优于高斯面热源模型。(本文来源于《电加工与模具》期刊2018年06期）
佟颖,贾元元[3]（2018）在《基于刻蚀模型的高渗条带控制下剩余油微观赋存特征》一文中研究指出特高含水期砂岩油藏中普遍出现高渗条带,为研究高渗条带控制下剩余油分布特征,在储层高渗条带动静态特征分析的基础上,建立二维刻蚀模型,通过微观驱替试验研究不同级别高渗条带控制下注入水波及及微观剩余油赋存特征。研究结果表明,对于存在高渗条带的模型,增大驱替速度仅对绕流式剩余油的挖潜有效,而对包围式簇状、并联式喉道状、死角式点状剩余油影响不大,说明单纯提高驱替速度已不能作为动用高渗条带下剩余油的有效方式,研究结果为特高含水期油藏提高剩余油采收率提供了理论基础。(本文来源于《科学技术与工程》期刊2018年28期）
张辉[4]（2018）在《石英各向异性湿法刻蚀机理及工艺模型研究》一文中研究指出石英晶体各向异性湿法刻蚀是MEMS微机电系统结构加工的重要研究方向之一,然而其复杂的各向异性刻蚀特性致使刻蚀演化过程和结果难以预测和控制。本论文以石英晶体为研究对象,通过实验和理论相结合的方式研究了石英各向异性湿法刻蚀特性和形貌预测方法。实验方面,设计实验获取了石英晶体在不同刻蚀条件下的各向异性刻蚀速率和形貌结构特征,并基于台阶流动理论从原子角度分析了石英晶体的刻蚀过程,解释了不同类型的原子在晶面刻蚀过程中的作用;理论方面,提出了利用进化蒙特卡罗算法模拟石英湿法刻蚀速率和形貌结构的方法,实现了对全晶面刻蚀速率以及不同切型晶片任意掩膜下刻蚀结构和表面形貌的精确模拟。此外,基于表面激活能理论和原子间键能关系提出了微观原子激活能理论,成功地解释了石英晶体刻蚀各向异性的作用机理。论文主要内容如下:首先,针对石英晶体刻蚀衬底建模和表面原子类型划分问题,通过对石英晶体原子结构以及晶面原子排列特征与刻蚀速率之间对应关系的分析,提出了石英类硅键角原子模型和六指数键角分类方法并以此构建了刻蚀衬底模型和界定了表面原子类型。石英晶体不同晶面具有不同的表面原子结构,其刻蚀速率、表面形貌等特性受硅硅以及硅氧原子间相对位置和角度关系影响密切。模型中,表面原子类型由其邻原子数目及夹角关系决定;不同晶面的表面原子类型和所占比例不同。其次,针对石英晶体在刻蚀过程中呈现的各向异性刻蚀形貌和结构特征,提出了石英晶体刻蚀的台阶流动刻蚀理论并分析了台阶处不同类型原子在刻蚀过程中的作用。为了直观地展示不同类型表面原子移除概率的差异,以原子模型理论为基础构建了石英表面原子移除概率函数(QUARTZ-RPF),以及石英各主要晶面的蒙特罗刻蚀衬底形貌仿真模型,明确了晶面原子排列结构与其各向异性刻蚀特性之间以及微观原子刻蚀概率与宏观品面刻蚀速率之间的关系。再次,为了实现对不同刻蚀工艺条件下石英晶体全晶面刻蚀速率以及不同切型晶面任意掩膜形状刻蚀结构和表面形貌的准确模拟计算,建立了进化蒙特卡罗湿法刻蚀工艺模型(EMC)。依靠少量典型晶面(速率极值处)的实验刻蚀速率,EA进化算法通过不断修正MC刻蚀模型中QUARTZ-RPF方程能量参数的取值来调整各类型表面原子的移除概率以及校核晶面仿真刻蚀速率,最终使各晶面(h k m 1)仿真刻蚀速率比值与实验数据趋于一致。此时,QUARTZ-RPF方程具备了精确约束各类型表面原子刻蚀概率和描述石英晶体刻蚀结构和形貌特征的能力。然后,为了充分研究石英晶体的各向异性刻蚀特征以及外部条件对其刻蚀特性的影响作用,设计了相关实验对石英晶体在不同刻蚀条件下的全晶面刻蚀速率和多种切向掩膜晶片(Z_cut、At_cut和Bt_cut)的叁维刻蚀结构和表面形貌进行了研究,获得了石英晶体刻蚀各向异性特征的变化规律,明确了刻蚀速率极值处晶面在掩膜特征结构面形成过程中的作用以及探寻了晶面激活能与石英刻蚀各向异性刻蚀速率的关系,为建立的石英刻蚀结构和形貌模拟仿真模型提供了实验和理论依据。最后,为了验证提出的进化蒙特卡罗湿法刻蚀工艺模型的模拟精度,建立了相关模型对不同刻蚀工艺条件下石英全晶面刻蚀速率以及Z_cut、At_cut和Bt_cut掩膜晶片刻蚀结构和形貌进行了预测,并从基于表面激活能理论从微观原子激活能角度解释了石英晶体湿法刻蚀产生各向异性现象的原因。通过对比仿真数据和实验结果表明了 EMC石英刻蚀工艺模型可以有效地模拟石英刻蚀速率、结构形貌等各向异性特征。(本文来源于《东南大学》期刊2018-03-12）
陈雪辉,李翔,宋伟,马玉平,姚燕生[5]（2017）在《基于两种热源模型激光刻蚀过程的数值仿真》一文中研究指出激光刻蚀碳化硅中的影响因子较多,仅仅依靠试验的方法来研究激光刻蚀过程不易获得对刻蚀过程的理解且浪费材料增加成本,随着计算机技术的发展,对激光刻蚀过程进行数值仿真模拟的方法己成为研究激光刻蚀的一种有力手段。基于ABAQUS有限元软件的数学模型和数值方法,利用FORTRAN编写的用户子程序,模拟仿真了不同激光热源下(高斯平面热源和双椭球热源模型)碳化硅激光刻蚀过程中温度场和刻蚀深度的变化。结果表明:不同的热源模型对刻蚀区域的最高温度以及热影响区的温度分布有一定影响,经综合比较分析发现选择双椭球热源模型较高斯面热源模型可以得到良好的结果。(本文来源于《第17届全国特种加工学术会议论文集（下册）》期刊2017-11-17）
陈雪辉,李翔,宋伟,马玉平,姚燕生[6]（2017）在《基于两种热源模型激光刻蚀过程的数值仿真》一文中研究指出激光技术是20世纪以来,继原子能技术、计算机技术、半导体技术之后,人类的又一重大发明,而激光加工技术则是激光技术应用领域中所占比例最大、发展最快、对一个国家的国民经济影响最大的激光技术应用领域。激光刻蚀技术作为激光加工技术的一个分支,是一种高精度、高效可靠的技术,精度高、能量集中且热影响区小,广泛应用于航天航空、汽车制造及电子工业等领域。激光刻蚀是将具有高能量密度的激光照射材料表面,材料表面吸收热量温度升高,同时热量以导热的方式向材料内部进行传递,当所刻蚀材料的温度上升到熔点时,材料就会融化,在辅助气体的作用下,材料被烧蚀掉。碳化硅作为一种新型半导体材料且应用领域较广,由于特殊的性质使得传统机械加工对其加工较困难,激光加工一种新型加工技术可以代替传统机械加工一些难加工材料。激光加工中的影响因子较多,如作用激光的波长、能量、功率、脉宽、脉冲结构、重复率及作用次数等,但关于不同热源模式下碳化硅激光刻蚀加工的研究尚少,仅仅依靠试验的方法来研究激光刻蚀过程不易获得对刻蚀过程的理解且浪费材料增加成本。随着计算机技术的发展,对激光刻蚀过程进行数值仿真模拟的方法已成为研究激光刻蚀的一种有力手段。本文基于ABAQUS有限元软件的数学模型和数值方法,利用FORTRAN编写的用户子程序,模拟仿真了不同激光热源下(高斯平面热源和双椭球热源模型)碳化硅激光刻蚀过程中温度场和刻蚀深度的变化。结果表明:激光刻蚀是"急冷急热"的过程,且不同的热原模型对刻蚀区域的最高温度以及热影响区的温度分布有一定影响,通过两种热源模式分别进行碳化硅刻蚀模拟仿真。可以看出,高斯面热源模型仿真中心区域最高温度达到3669℃,双椭球热源模型仿真中心区域最高温度达到3857℃,两者温度变化较均匀;激光刻蚀碳化硅材料会对深度变化量有一定的影响,热源模型不同,在相同的条件和激光参数下刻蚀深度的变化量也会存在一定差异。由高斯面热源模型仿真可以看出刻蚀深度相对较浅,而双椭球热源模型模刻蚀深度相对较深,双椭球热源模型刻蚀深度变化量微大于高斯面热源模型刻蚀深度变化量。经综合比较分析发现选择双椭球热源模型较高斯面热源模型可以得到良好的结果。(本文来源于《特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）》期刊2017-11-17）
蒋文涛[7]（2016）在《MEMS刻蚀工艺模型研究与仿真》一文中研究指出进入到二十一世纪,MEMS器件的应用越来越广泛。为满足市场需求,对叁维微结构的设计要求更加高,器件尺寸要求更加小,这给刻蚀工艺的提高带来了极大困难。而为了满足器件结构和尺寸的要求以及器件性能的分析,对刻蚀工艺进行仿真研究就显得十分重要。在刻蚀工艺仿真模型的研究中,国内外学者提出了多种模型。这些模型适应的腐蚀场景和材料、仿真精度和运行速率等都不尽相同,各有其特点。模型更广泛的适用性、更高的仿真精度和算法运行效率以及对工艺过程更直观的描述,都将为MEMS器件的设计带来更大便利,对节约开发成本、缩短研发周期以及提高工艺水平具有重要意义。本文围绕牺牲层腐蚀模型和元胞自动机模型(Cellular Automata model,CA)展开了重点研究,并从模型本身和实现算法两个方面对原模型进行了相应的改进。在对牺牲层腐蚀模型的研究中,本文在原有模型基础上,引入温度因素对腐蚀过程影响的描述,增加模型对外界环境的考虑;同时在算法实现过程中,引入元胞分类思想,提高模型对腐蚀单元的处理能力。实际编程中,使用C语言进行模型编程,Matlab进行图形输出处理,实现多种复杂横向平面结构的模拟以及与实验数据的对比分析,并从腐蚀开口形状变化、网格疏密度和扩散系数变化等角度对纵向腐蚀仿真进行了深入分析。研究表明,实验结果与模型仿真结果具有一致性,优化后的模型在仿真精度和腐蚀轮廓外貌呈现能力等方面有了更进一步的提升。在对元胞自动机模型的研究中,本文深入分析了二维元胞自动模型的推导过程,并通过C语言和Matlab实现算法编程和图像输出。在用原始模型对多种复杂横向平面结构的模拟中,发现原始模型产生的腐蚀轮廓存在不对称现象,与实际不符,并通过研究,以原模型为基础,进行了修正和改进。在纵向腐蚀模拟中,从权重系数变化、元胞阵列疏密度以及不同刻蚀速率分布函数对腐蚀的影响等叁个角度进行相关仿真研究。在算法实现上,结合动态元胞自动机的原理,实现对腐蚀元胞的高效处理,大大降低了算法的运行时间,提高运算效率。仿真结果表明,修正后的二维元胞自动机模型能够满足复杂结构刻蚀的要求,具有广泛的适用性,更高的运算效率以及更好的算法稳定性和腐蚀轮廓呈现能力。(本文来源于《南京邮电大学》期刊2016-11-18）
吴修娟,王红军,曾永彬,房晓龙[8]（2016）在《液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的数学模型》一文中研究指出介绍了液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的原理及过程。根据钨棒刻蚀后的几何形状、电化学反应的基本原理及液体表面张力相关理论,建立了纳米电极制备的数学模型,为液膜电化学刻蚀法制备纳米电极奠定了理论基础。(本文来源于《电加工与模具》期刊2016年S1期）
李源,幸研,仇晓黎[9]（2016）在《聚焦离子束微纳加工的溅射刻蚀工艺模型研究》一文中研究指出提出基于连续元胞自动机的聚焦离子束溅射刻蚀工艺模型,该模型可以有效引入实际工艺参数和扫描策略,建立溅射与再沉积方程,准确地表达离子束加工导致的溅射和再沉积效应,精确地描述这些效应导致的表面结构演化过程。在多种工艺因素和扫描策略的条件下,工艺模型的计算结果中,溅射刻蚀与再沉积效应能够与试验现象一致。加工截面轮廓的模拟结果,刻蚀深度随时间变化相对误差小于8%,精度高于现有的模型,验证了模型的有效性。连续元胞自动机模型不仅具备计算精度高的特点,而且有更好的可视化输出效果,为聚焦离子束加工微纳结构提供工艺参数优化方法。(本文来源于《机械工程学报》期刊2016年05期）
吴修娟,王红军,曾永彬,房晓龙[10]（2015）在《液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的数学模型》一文中研究指出介绍了液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的原理及过程。根据钨棒刻蚀后的几何形状、电化学反应的基本原理以及液体表面张力相关理论,建立了纳米电极制备的数学模型,为液膜电化学刻蚀法制备纳米电极奠定了理论基础。(本文来源于《第16届全国特种加工学术会议论文集（上）》期刊2015-10-31）
刻蚀模型论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
激光刻蚀碳化硅的影响因子较多,仅依靠试验方法研究激光刻蚀过程难以充分和有效了解其过程,数值仿真模拟己成为研究激光刻蚀的一种有力手段。基于ABAQUS有限元软件的数学模型和数值方法,利用FORTRAN编写的用户子程序,模拟了不同激光热源下碳化硅激光刻蚀过程中温度场和刻蚀深度的变化。结果表明:不同的热源模型对刻蚀区域的最高温度及热影响区的温度分布有一定影响,综合比较发现选择双椭球热源模型优于高斯面热源模型。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
刻蚀模型论文参考文献
[1].胡浩儒,闫江,张永华.基于BP神经网络的刻蚀偏差预测模型[J].贵州大学学报(自然科学版).2019
[2].陈雪辉,吴超,李翔,徐欣,王可朝.基于两种热源模型的激光刻蚀数值仿真[J].电加工与模具.2018
[3].佟颖,贾元元.基于刻蚀模型的高渗条带控制下剩余油微观赋存特征[J].科学技术与工程.2018
[4].张辉.石英各向异性湿法刻蚀机理及工艺模型研究[D].东南大学.2018
[5].陈雪辉,李翔,宋伟,马玉平,姚燕生.基于两种热源模型激光刻蚀过程的数值仿真[C].第17届全国特种加工学术会议论文集（下册）.2017
[6].陈雪辉,李翔,宋伟,马玉平,姚燕生.基于两种热源模型激光刻蚀过程的数值仿真[C].特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）.2017
[7].蒋文涛.MEMS刻蚀工艺模型研究与仿真[D].南京邮电大学.2016
[8].吴修娟,王红军,曾永彬,房晓龙.液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的数学模型[J].电加工与模具.2016
[9].李源,幸研,仇晓黎.聚焦离子束微纳加工的溅射刻蚀工艺模型研究[J].机械工程学报.2016
[10].吴修娟,王红军,曾永彬,房晓龙.液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的数学模型[C].第16届全国特种加工学术会议论文集（上）.2015