糜长成:β-Si3N4涂层辅助定向生长高效多晶硅的研究论文

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本文主要研究内容

作者糜长成,蔡延焕,周兵,董慧,戚凤鸣,黄新明(2019)在《β-Si3N4涂层辅助定向生长高效多晶硅的研究》一文中研究指出:Si3N4是铸造多晶硅锭常用的脱模材料,颗粒状的α相与棒状的β相是Si3N4涂层中常见的两种生成相。石英坩埚底部铺设的Si3N4涂层严重影响着晶体品质。采用α,β两种不同主导相的Si3N4制作涂层。结果表明,β相主导的Si3N4涂层,可以提高脱模和引晶效果,降低硅锭底部红区高度。

Abstract

Si3N4shi zhu zao duo jing gui ding chang yong de tuo mo cai liao ,ke li zhuang de αxiang yu bang zhuang de βxiang shi Si3N4tu ceng zhong chang jian de liang chong sheng cheng xiang 。dan ying gan guo de bu pu she de Si3N4tu ceng yan chong ying xiang zhao jing ti pin zhi 。cai yong α,βliang chong bu tong zhu dao xiang de Si3N4zhi zuo tu ceng 。jie guo biao ming ,βxiang zhu dao de Si3N4tu ceng ,ke yi di gao tuo mo he yin jing xiao guo ,jiang di gui ding de bu gong ou gao du 。

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自特种铸造及有色合金的糜长成,蔡延焕,周兵,董慧,戚凤鸣,黄新明,发表于刊物特种铸造及有色合金2019年08期论文,是一篇关于主导相论文,引晶论文,脱模论文,特种铸造及有色合金2019年08期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自特种铸造及有色合金2019年08期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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