导读:本文包含了点衍射论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:测量,点衍射波前,电磁光学,光学仪器
点衍射论文文献综述
陈元恺,李瑶,王晨,白剑,杨甬英[1]（2019）在《基于波导理论的针孔点衍射波前分析方法》一文中研究指出提出一种基于波导理论的针孔点衍射波前分析方法。该方法将针孔作为圆形波导,采用解析法求解波导的模式进而得到针孔后端面电场分布;根据矢量衍射理论推导出衍射波前的远场分布,最后详细分析了针孔透光率、衍射波前的强度与相位。结果表明,波导边界条件使针孔后端面各电场分量旋转不对称,使像散成为衍射波前的主要像差。为使透光率大于0,针孔直径必须大于0.6λ(λ为波长),以保证针孔中存在满足波导传输条件的模式。衍射波前两电场分量振幅分布的不同使衍射波前强度分布不具有旋转对称性,两者的相位差使衍射波前成为椭圆偏振光。该仿真结果为点衍射干涉仪中针孔结构的设计提供了重要的参考。(本文来源于《光学学报》期刊2019年11期）
马云,陈磊,刘一鸣,朱文华[2]（2018）在《用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪》一文中研究指出为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、瞬态检测,设计了一种基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪。该干涉仪通过在参考光与测试光之间引入横向错位量,形成高密度线性载频,利用快速傅里叶变换算法从单幅干涉图中提取待测波面信息,实现缺陷的瞬态测量。利用无镜成像算法抑制了缺陷的衍射效应,总结了有效的缺陷类型辨别方法。实验检测了强激光系统中的一块光学平晶,验证了所提缺陷类型判据的正确性。此外,采用反射式剪切点衍射干涉仪对一块激光毁伤的光学平板进行检测,测试结果与Veeco NT9100白光干涉仪测量结果相比,相对误差为2.1%。结果表明,该干涉仪能够有效应用于检测大口径光学元件的位相缺陷。(本文来源于《光学精密工程》期刊2018年12期）
陈元恺,杨甬英,王晨,李瑶[3]（2018）在《点衍射球面面型检测系统中系统误差的校正方法》一文中研究指出点衍射干涉仪采用由针孔衍射产生的理想球面波作为参考波,摆脱了标准镜加工精度对干涉仪检测精度的限制,实现了亚纳米量级的检测精度,因此,逐渐成为了球面元件面型高精度检测最为有效的手段。然而,由参考球面波球心与待测球面波球心之间的横向偏移而引入的系统误差严重影响了点衍射干涉仪的检测精度,尤其是对大数值孔径球面镜。为了解决上述问题,本文首先采用Zemax软件对如图1所示的点衍射球面面型(本文来源于《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2018-08-20）
马云,陈磊,朱文华,刘一鸣,杨光[4]（2018）在《基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪》一文中研究指出在高功率激光系统中,包含很多大口径光学元件,而位相缺陷的存在可能会引起激光损伤,若不及时更换,甚至会导致整个系统的瘫痪,带来巨大的经济损失。因而,光学元件位相缺陷检测技术的研究至关重要。目前对于位相缺陷的检测方法主要包括相衬法、位相滤波法、显微干涉法和光纤点衍射干涉法等,而这些方法仍存在不能抵抗环境扰动、无法辨别缺陷类型等问题。本工作利用点衍射板在参考光与测试光之间引入横向错位量,形成高密度线性载频,(本文来源于《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2018-08-20）
李轩,沈华,孙越[5]（2018）在《非零位点衍射干涉系统中的梯度补偿装置》一文中研究指出点衍射干涉仪能够能够实现亚纳米级精度的测量,在大口径(特别是超大口径)元件面形测量方面具有显着优势;但在测量复杂面形光学元件时,由于元件表面梯度较大,往往干涉条纹过密,无法通过条纹信息解算光学元件的面形,从而限制了干涉仪的应用对象范围。为解决这一问题,本文提出了一种非零位点衍射干涉系统中的梯度补偿装置(图1),利用光纤阵列端面(图2)作为点衍射器件,可根据各种面形表面梯度,通过控制每根光纤的通断灵活生成动态分布的空间点衍射源,形成空间波面补偿被检面表面的大梯度,从而使测试波面能回射进干涉系统,形成有效干涉场,实现对于大梯度复杂面形光学元件的测量,拓展点衍射干涉仪的应用范围。该装置无需球面补偿镜头组生成标准球面波,避免了由于非零位干涉造成镜头组引入大量波像差的问题,提高了测量精度。(本文来源于《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2018-08-20）
王志超[6]（2018）在《基于点衍射干涉的叁维绝对测量系统研究及其改进》一文中研究指出随着叁维绝对位移系统的不断研究,很好的满足了高速发展的工业测量需求。基于点衍射干涉的叁维测量系统以其便携性和实时性功能为无导轨叁维测量提供了一种可行的方法。本文针对仅有一个光纤对的单路点衍射叁维测量系统在与条纹平行的横向方向上有着测量精度差的问题,提出了基于双路点衍射干涉的叁维绝对测量系统。主要研究内容如下:(1)介绍了单路点衍射干涉系统模型,通过叁维绝对测量数学原理以及数学模型分析,得到仅一个光纤对的点衍射干涉系统存在的横向两个正交方向上的位移灵敏度不同的问题,提出双路点衍射干涉系统的整体设计,并概述了整个实验的测量流程。(2)对快速粒子群算法进行了优化以及最优参数的设置,将搜索方案进行了改进以提高系统在实际应用中抗干扰能力、测量精度和速度。仿真对比了单路与双路点衍射干涉系统的测量精度。在加入5nm随机噪声的仿真中,双路点衍射干涉系统同时实现了叁个方向上优于亚微米量级测量。(3)分析了基于双路点衍射干涉技术的叁维绝对测量系统的实际测量范围与理论上叁维绝对位移测量范围没有限制情况不符的几个主要因素,包括光纤点衍射波前孔径角、CCD性能、激光器功率和探头结构等。(4)根据理论仿真设计搭建了双路点衍射干涉系统的硬件平台,设计加工了亚微米孔径光纤探头并根据系统流程设计了基于MATLAB的软件平台,最后与海克斯康叁坐标测量机的进行了比对实验。通过对系统模型、测量光路、测量探头以及重构算法的改进,本文提出的双路点衍射干涉系统很好的解决单路点衍射干涉系统叁个方向存在测量精度不一致问题,最终实现叁个方向上微米量级的测量。(本文来源于《中国计量大学》期刊2018-03-01）
周翔[7]（2017）在《基于点衍射干涉的波前动态测试技术研究》一文中研究指出点衍射干涉仪利用针孔衍射出理想的球面波作为干涉仪中的参考波面,不仅可以达到很高的测试精度,而且减少了测试成本,与传统的干涉仪相比具有一定的优势。然而点衍射干涉仪中很难实现移相,特别是同步移相,因此点衍射干涉仪难以运用到动态测试中。本文提出了一种利用针孔线偏振器(Pinhole Linear Polarizer,PLP)实现点衍射的准共光路同步移相干涉方案并搭建了相关实验装置,即针孔线偏振器点衍射干涉仪(Pinhole Linear Polarizer Point-diffraction Interferometer,PLP-PDI)。在 PLP-PDI 中使用了 PLP作为点衍射干涉仪中的点衍射板,衍射产生标准的球面波。PLP-PDI的干涉系统采用了环形光路,可以同时获得偏振方向正交的参考光和测试光,实现准共光路的点衍射干涉仪设计。通过相位光栅和相位延迟阵列实现了偏振同步移相,减小了环境振动等因素对干涉测试的影响。本文介绍了 PLP的设计思路和加工方法,以及PLP-PDI中使用到的光学元件的参数和选取原则,计算了实验装置中光学元件的位置和角度关系,并阐述了实验装置的搭建过程。最后对透镜的波前进行了测试实验,并将测试结果与SID4的测试结果对比,PV值相差0.014λ,证明了 PLP-PDI测试的准确性。而连续波前测试实验结果则证明了 PLP-PDI的稳定性。本文通过对PLP-PDI中可能存在的误差进行了分析和讨论,并利用数学建模和仿真等方式说明了这些误差不会影响测试结果。研究结果表明可以利用PLP-PDI进行高精度的动态波前测试。(本文来源于《南京理工大学》期刊2017-12-01）
杜永兆[8]（2017）在《利用Mach-Zehnder点衍射干涉仪的激光复振幅实时重建方法》一文中研究指出在充分利用Mach-Zehnder自参考干涉系统无需设置专门参考光优点的基础上,提出一种激光复振幅实时重建方法.在参考臂和测试臂上分别设置放大倍率为s且互为倒置的望远镜系统,使得经针孔滤波、准直后的参考光被放大s2倍形成波前与振幅(或强度)皆近似于一个平面的理想参考光.研究表明:利用傅里叶分析法从干涉图中便可直接重建待测激光复振幅分布,具有结构简单和测量快速的优点.基于该系统分别对静态和动态输出光场进行复振幅重建实验,并由此求得相应的M2因子,从而验证该方法在复杂光场光束质量实时检测的可行性.(本文来源于《华侨大学学报(自然科学版)》期刊2017年05期）
王道档,王志超,赵军,王朝,孔明[9]（2017）在《用于叁维测量的双路点衍射干涉系统》一文中研究指出针对在仅有一个光纤对的单路点衍射叁维测量系统中,存在平行于条纹的横向方向上测量精度低的问题,提出了用于叁维测量的双路点衍射干涉系统。分析了点衍射波前误差、测量探头结构布局以及叁维迭代重构算法对于叁维测量精度的影响,在此基础上确定点衍射源结构以及探头结构布局等最优系统参数。实验结果显示,单路点衍射干涉叁维测量系统在xy方向的精度分别为亚微米量级和微米量级,而双路点衍射干涉仪系统可在叁维方向上同时达到亚微米量级,验证了所提出的双路点衍射干涉系统方案的可行性和准确性。所提出的双路点衍射干涉系统有效的实现高精度叁维测量,为无导轨叁维位移和尺寸等测量提供了一种可行方法。(本文来源于《仪器仪表学报》期刊2017年09期）
李瑶,杨甬英,王晨,陈元恺,陈晓钰[10]（2017）在《点衍射干涉检测技术》一文中研究指出本文介绍了点衍射干涉仪不同发展阶段的特点和应用。点衍射干涉仪由波长量级的针孔产生高质量的球面波作为参考波前,能够得到衍射极限性能的分辨率。按照不同的光路特点,点衍射干涉仪可分为点衍射共路干涉和点衍射非共路干涉两种结构,主要应用于高精度波前检测和面形检测。共路干涉结构简单紧凑,对环境振动不敏感,对光源相干度要求不高,可利用光束偏振态及光栅衍射分束的特性对传统点衍射板进行改造,在全共路点衍射干涉仪中引入时间相位调制技术和干涉对比度可调技术,可进一步提高波前检测精度。采用反射式针孔和各种光纤结构发展了非共路点衍射干涉仪,实现了大口径、高精度球面反射镜面形的测量。本文重点阐述了用于极紫外光刻投影物镜中高精度球面反射镜面形检测的反射式针孔点衍射干涉仪,并展望了点衍射检测技术在生物检测等领域的应用前景和发展趋势。(本文来源于《中国光学》期刊2017年04期）
点衍射论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、瞬态检测,设计了一种基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪。该干涉仪通过在参考光与测试光之间引入横向错位量,形成高密度线性载频,利用快速傅里叶变换算法从单幅干涉图中提取待测波面信息,实现缺陷的瞬态测量。利用无镜成像算法抑制了缺陷的衍射效应,总结了有效的缺陷类型辨别方法。实验检测了强激光系统中的一块光学平晶,验证了所提缺陷类型判据的正确性。此外,采用反射式剪切点衍射干涉仪对一块激光毁伤的光学平板进行检测,测试结果与Veeco NT9100白光干涉仪测量结果相比,相对误差为2.1%。结果表明,该干涉仪能够有效应用于检测大口径光学元件的位相缺陷。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
点衍射论文参考文献
[1].陈元恺,李瑶,王晨,白剑,杨甬英.基于波导理论的针孔点衍射波前分析方法[J].光学学报.2019
[2].马云,陈磊,刘一鸣,朱文华.用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪[J].光学精密工程.2018
[3].陈元恺,杨甬英,王晨,李瑶.点衍射球面面型检测系统中系统误差的校正方法[C].第十七届全国光学测试学术交流会摘要集.2018
[4].马云,陈磊,朱文华,刘一鸣,杨光.基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪[C].第十七届全国光学测试学术交流会摘要集.2018
[5].李轩,沈华,孙越.非零位点衍射干涉系统中的梯度补偿装置[C].第十七届全国光学测试学术交流会摘要集.2018
[6].王志超.基于点衍射干涉的叁维绝对测量系统研究及其改进[D].中国计量大学.2018
[7].周翔.基于点衍射干涉的波前动态测试技术研究[D].南京理工大学.2017
[8].杜永兆.利用Mach-Zehnder点衍射干涉仪的激光复振幅实时重建方法[J].华侨大学学报(自然科学版).2017
[9].王道档,王志超,赵军,王朝,孔明.用于叁维测量的双路点衍射干涉系统[J].仪器仪表学报.2017
[10].李瑶,杨甬英,王晨,陈元恺,陈晓钰.点衍射干涉检测技术[J].中国光学.2017