本文主要研究内容
作者原苗苗,杨娅,英敏菊（2019）在《Sb掺杂ZnO单晶薄膜的结构和光学性能研究》一文中研究指出：采用射频等离子体辅助分子束外延法制备高品质ZnO单晶薄膜,利用离子注入技术向ZnO单晶薄膜中注入不同注量的Sb离子,并对样品进行了氧气氛退火处理.利用高分辨双晶X射线衍射技术、RBS背散射/沟道技术以及低温光致发光光谱测试对注入Sb离子后样品的结构和光学性能进行了表征,结果表明:低注量下注入离子对ZnO薄膜结晶品质影响不大,带边发光稍有减弱;当掺杂注量达到1015cm-2时,离子注入产生了一定量的晶格损伤,同时带边发光被完全抑制.氧气氛下退火后ZnO薄膜发光恢复,带边发光峰主要为受主能级和锌空位发光,表明退火后在ZnO单晶薄膜中形成了(SbZn-2VZn)受主缺陷复合体,有望通过Sb掺杂实现ZnO的p型转化.
Abstract
cai yong she pin deng li zi ti fu zhu fen zi shu wai yan fa zhi bei gao pin zhi ZnOchan jing bao mo ,li yong li zi zhu ru ji shu xiang ZnOchan jing bao mo zhong zhu ru bu tong zhu liang de Sbli zi ,bing dui yang pin jin hang le yang qi fen tui huo chu li .li yong gao fen bian shuang jing Xshe xian yan she ji shu 、RBSbei san she /gou dao ji shu yi ji di wen guang zhi fa guang guang pu ce shi dui zhu ru Sbli zi hou yang pin de jie gou he guang xue xing neng jin hang le biao zheng ,jie guo biao ming :di zhu liang xia zhu ru li zi dui ZnObao mo jie jing pin zhi ying xiang bu da ,dai bian fa guang shao you jian ruo ;dang can za zhu liang da dao 1015cm-2shi ,li zi zhu ru chan sheng le yi ding liang de jing ge sun shang ,tong shi dai bian fa guang bei wan quan yi zhi .yang qi fen xia tui huo hou ZnObao mo fa guang hui fu ,dai bian fa guang feng zhu yao wei shou zhu neng ji he xin kong wei fa guang ,biao ming tui huo hou zai ZnOchan jing bao mo zhong xing cheng le (SbZn-2VZn)shou zhu que xian fu ge ti ,you wang tong guo Sbcan za shi xian ZnOde pxing zhuai hua .
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自北京师范大学学报(自然科学版)的原苗苗,杨娅,英敏菊，发表于刊物北京师范大学学报(自然科学版)2019年03期论文，是一篇关于离子注入技术论文,薄膜论文,晶体结构论文,光致发光特性论文,北京师范大学学报(自然科学版)2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自北京师范大学学报(自然科学版)2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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