压电陶瓷驱动控制论文-冯阳阳

压电陶瓷驱动控制论文-冯阳阳

导读:本文包含了压电陶瓷驱动控制论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献,主要关键词:压电微定位平台,Hammerstein模型,逆模型,H_∞控制器

压电陶瓷驱动控制论文文献综述

冯阳阳[1](2019)在《压电陶瓷驱动的微定位平台迟滞非线性的建模与控制》一文中研究指出压电陶瓷驱动的微定位平台具有低耗能、驱动力大、定位精度高、响应速度快等优点,目前被广泛应用于高精度微纳米级加工制造领域中。但是由于压电陶瓷本身存在率相关迟滞特性,会严重降低系统控制精度,甚至造成系统的不稳定,限制了其应用领域。研究如何消除压电陶瓷率相关迟滞特性的影响,具有重要的意义。基于Matlab/Simulink实时工作空间(RTW)与北京研华公司的PCI-1710数据采集卡,在实验室搭建了快速控制原型的半实物实验平台,实验平台用来实现实验数据采集以及控制算法的验证。基于搭建的快速控制原型实验平台,建立了控制对象Hammerstein模型。Hammerstein模型由一个静态非线性函数串联一个线性动态模块组成,静态非线性部分采用Bouc-Wen模型,其参数通过粒子群算法进行辨识,辨识结果显示在低频段时Bouc-Wen模型能够很好的模拟实际控制对象。将Hammerstein模型的线性动态部分等效为一个线性二阶系统,其参数通过Matlab辨识工具箱获得。将建立的Hammerstein率相关迟滞模型仿真结果与实验结果进行对比可以看出所建的模型能够很好描述实际控制对象的迟滞特性。为了消除压电陶瓷驱动的微定位平台的迟滞特性,采用了前馈与反馈的复合控制方式。前馈控制器采用的是Bouc-Wen模型的逆模型,由于前馈控制对于干扰和模型的参数变化极其灵敏,很容易受到扰动的影响,设计了H_∞反馈控制器抑制这些扰动的影响。实验结果表明所设计的前馈反馈的复合控制方式能够很好的跟踪任意频率的参考输入信号。消除迟滞另一种控制策略为迟滞线性化控制对象,构造迟滞补偿器将其串联在压电微定位平台的前端,从而线性化控制对象。设计的迟滞补偿器为Bouc-Wen的逆模型,迟滞补偿器串联在控制对象前端从而线性化控制对象,线性化的控制对象等效为一个线性时不变二阶系统。考虑逆补偿误差和建模误差,设计了基于扰动观测器的滑模控制策略。扰动观测器采用的是非线性扩张状态观测器,相比于线性扩张状态观测器具有更高的估计精度。为了克服传统滑模控制收敛速度慢,抖振严重的缺点,采用了非奇异快速终端滑模面,趋近律采用了一种含有扰动补偿的快速幂次趋近律,从而使得设计的控制器是连续非奇异的。实验结果显示非奇异快速终端滑模控制相对于传统的滑模控制,对单一频率和复合频率的参考输入信号能够获得更好的跟踪效果。(本文来源于《吉林大学》期刊2019-06-01)

赵庆旭,王一帆,吴文鹏,胡贞[2](2019)在《压电陶瓷驱动平台的复合控制方法研究》一文中研究指出压电陶瓷驱动平台的迟滞非线性影响其定位精度,并降低原子力显微镜等微纳操纵系统对微纳米尺度样品的扫描成像质量。采用最小二乘法对压电陶瓷驱动平台的迟滞特性进行建模,避免了繁琐的迟滞模型求取过程;提出前馈控制与自抗扰控制相结合的复合控制方法,通过设定扩张观测器的带宽及系统控制带宽达到消除迟滞、提高平台定位精度的目的。实验结果表明,该复合控制方法在保证系统稳定性的前提下能有效地提高系统定位控制精度。(本文来源于《电光与控制》期刊2019年06期)

罗富[3](2017)在《基于电荷反馈控制的压电陶瓷驱动电源研究》一文中研究指出基于压电陶瓷的驱动技术在微米以至纳米级的微驱动领域有着重要的作用。压电陶瓷驱动器具有体积小、响应快、位移分辨率高等优点,是微位移驱动定位技术中的理想驱动器件。压电陶瓷驱动器在驱动电源作用下输出位移,因此,任何压电陶瓷驱动技术的研究都离不开特定的驱动电源。目前市场上常见的压电陶瓷驱动电源大多是采用线性驱动方式,未能有效解决压电陶瓷迟滞非线性特性所引起的驱动精度的降低。为了补偿迟滞非线性并提高驱动精度,分析了压电陶瓷驱动器输入电压、输入电电荷与输出位移之间的关系,设计了基于电荷反馈控制的压电陶瓷驱动电源,有效的提高了驱动精度。设计的压电陶瓷驱动电源采用24V电池供电,先通过前级升压电路将24V电压升至160V固定电压。前级输出电压经DC/AC半桥逆变生成可调频调幅的正弦波,后级DC/DC降压电路实现了输出直流偏置电压,两者相迭加可以实现满足要求的压电陶瓷驱动电压的输出。前级升压电路采用Boost电路,采用了 PI调节实现闭环控制。后级DC/AC采用半桥逆变拓扑,双极性SPWM控制策略,设计了电压峰值闭环控制系统,其中参考给定值为后级降压电路的直流输出电压值。同时,两路后级由前级电路并联输出,后级DC/AC输出经过1:1变压器进行隔离,保证了逆变输出电压与后级直流输出能够有效合理地进行迭加,从而有效地用于驱动压电驱动器。在利用Matlab对设计的电源进行仿真分析基础上,对电源的参数进行优化。根据压电陶瓷驱动器具有的迟滞非线性特性,在分析压电陶瓷的输出位移与电荷之间函数关系的基础上,设计了基于电荷反馈控制用于压电陶瓷驱动电源。控制系统能够通过计算得到压电驱动器的位移,并通过PID调节更新后级降压电路的直流输出,而后级逆变电路输出幅值自动跟随降压电路的输出电压。在理论分析和仿真验证的基础上,设计并完善了硬件电路。采用NI CompactRIO系统,实现系统软件程序。针对QDS-14×14×24型压电陶瓷迭堆驱动器搭建了实验平台,进行系统实验分析。与传统的压电陶瓷驱动电源相比,基于电荷反馈的压电陶瓷驱动电源能够有效的减小迟滞非线性特性系统性能的影响,提高压电陶瓷的驱动精度。(本文来源于《南京理工大学》期刊2017-12-01)

乔继红,魏伟,周艳杰[4](2017)在《输入受限的压电陶瓷驱动平台预设性能控制》一文中研究指出针对压电陶瓷驱动平台中存在迟滞非线性和输入饱和的问题,提出一种预设性能的反演控制方法.通过神经网络逼近系统中的迟滞非线性部分并实现输入受限的有效补偿.通过预设性能函数和误差转换函数建立系统等效误差模型,并使用泰勒多项式表示新的等效误差以避免常规预设性能函数出现奇异值的问题.整个系统通过反演法逐步进行预设性能控制器设计.利用李亚普诺夫稳定理论证明整个闭环系统的信号是一致最终有界的,且输出误差限定在预先设定的范围内.仿真结果表明方法的有效性.(本文来源于《信息与控制》期刊2017年05期)

甘金强[5](2017)在《微位移平台压电陶瓷驱动系统非线性建模与控制方法研究》一文中研究指出随着精密定位技术的发展,基于压电陶瓷驱动的微纳定位系统已经在工业生产与科学研究中得到广泛应用,例如,纳米压印,光电封装,细胞排列与跟踪,精密加工等。压电陶瓷驱动器是基于压电陶瓷驱动的微纳定位系统重要组成部分,其驱动精度直接影响微纳定位系统的定位精度,因此,研究分析提升压电陶瓷的驱动精度具有十分重要的意义。压电陶瓷存在复杂的迟滞非线性特征,在使用过程中容易产生震荡,控制复杂且容易导致系统不稳定。当前提升压电陶瓷驱动精度需要依靠合理的数学模型对其迟滞特征进行准确地描述,但现有大多数迟滞模型精度不高,结构复杂,参数众多且难以辨识。此外,现有迟滞模型往往只能描述迟滞静态特性或者动态特性,适用范围过于狭窄。为了补偿压电陶瓷的迟滞非线性,进一步提升驱动精度,本文深入研究了压电陶瓷非线性建模及其迟滞补偿控制方法,主要内容如下:首先,针对传统迟滞模型结构复杂,参数众多,难以获取解析逆模型等特点,提出了一种新型多项式压电陶瓷迟滞模型。该模型基于压电陶瓷实际迟滞非线性特征,将迟滞曲线根据输入电压大小进行分段处理,分别用二次多项式和线性表达式来描述。与传统的迟滞模型比较,该模型结构简单,参数较少,容易求解逆模型。随后在多项式逆模型的基础上,提出了基于多项式逆模型前馈控制方法和混合控制方法,后续实验结果证明基于该模型的迟滞补偿控制方法的可行性与有效性。其次,针对当前迟滞模型适用范围过于狭小,只能描述迟滞静态特性或动态特性,模型精度较低的缺陷,本文提出了一种基于经典Prandtl-Ishlinskii模型的广义迟滞模型,并进行了实验验证。该广义迟滞模型既能描述迟滞静态特性,又能描述动态特性,通过使用二次多项式及初始位移项来描述迟滞非线性静态特性,通过引入输入信号频率参数,描述不同频率下迟滞曲线的动态特性。在此基础上,本文利用直接逆模型建模方法获取迟滞逆模型,结合自适应LMS算法,设计了两种迟滞补偿控制方法:基于单逆模型的自适应控制方法和基于双逆模型的自适应控制方法,并设计基于迟滞逆模型的前馈控制器和PID控制器作为对照组。随后通过点对点追踪、正弦信号追踪和多频率信号追踪叁组实验证明了基于逆模型的自适应控制方法实现高精度的运动控制,其中基于单逆模型的自适应控制效果最好。最后,利用计算机微视觉测量系统非接触、高分辨率、多自由度测量等优点,本文将计算机微视觉测量系统,叁自由度微位移平台和压电陶瓷驱动器等结合,设计了一种基于压电陶瓷驱动的微纳定位系统。并在已提出的广义迟滞模型和基于单逆模型的自适应控制方法的基础上,设计了叁自由度微纳定位系统的半闭环和全闭环控制方法。为更进一步提升系统的定位精度,还设计了带有前馈解耦控制器的全闭环控制方法。通过圆轨迹跟踪实验证明了这两种全闭环控制方法的有效性。(本文来源于《华南理工大学》期刊2017-04-12)

彭芸浩[6](2017)在《压电陶瓷驱动微位移平台及控制系统研究》一文中研究指出精密定位技术已成为高新技术领域的核心之一,在尖端工业生产(如微纳CPU的生产、MEMS微纳机电系统的加工制造等)和科学研究(如细胞注射、AFM原子力学显微镜精度的提高等)中占有极其重要的地位。因此,对精密定位技术的研究成为了全球科学家和学者关注的热点。而精密定位技术定位精确度的提高、准确度的增强、分辨力的提升以及定位速度的提高一直是该技术研究的难点。为此,本文以自行搭建的压电微位移平台精密定位系统作为研究对象,编写了相关的控制程序,对压电微位移平台迟滞特性进行了建模,通过基于电压补偿前馈控制及PID反馈控制的闭环控制方法对其迟滞进行了补偿,以达到线性控制的目的。主要的研究类容如下:1.针对XP-611型压电微位移平台,搭建了基于压电微位移平台的精密定位实验系统。实验系统由以下几个工作模块组成:位移传感模块、驱动电源模块、压电微动工作台、计算机机控制系统。2.针对以一体式压电微位移平台XP-611为核心的精密定位实验系统,采用基于LabVIEW的数据采集程序对微位移工作台的数据进行采集。采用基于MATLAB的测试程序对微位移平台的特性进行测试。3.对压电微位移平台的迟滞特性进行了研究,阐明了其迟滞非线性机理,并利用Bouc-Wen模型对其迟滞特性进行数学描述。通过分析该模型的优缺点,发现该模型在压电微位移平台快速定位中存在建模不准确的现象,提出了以Bouc-Wen模型为核心结合压电微位移平台固有特性的复合建模方式。建立的复合模型在平台快速定位实验中,能够提升模型的准确率,验证了该复合模型的优越性,同时还建立了基于Bouc-Wen迟滞模型机理的类Bouc-Wen迟滞模型,以应用于有时效性要求的压电微位移平台的快速定位中。4.根据建立的迟滞模型,编写了相应的控制算法,以消除压电微位移平台的迟滞特性,达到线性控制的目的,具体为:分析了 Bouc-Wen模型的特点,编写了以电压补偿为前馈环节,PID控制反馈环节的闭环控制程序,将压电微位移台的迟滞电压进行补偿,以达到线性输出的目的,并和单一使用PID控制的方法以及单一使用Bouc-Wen模型电压补偿控制的方法进行了对比,验证了复合控制的优越性。(本文来源于《昆明理工大学》期刊2017-03-01)

江芳彬[7](2016)在《大行程纳米级压电陶瓷驱动控制系统研究》一文中研究指出压电陶瓷是一种能将机械能和电能相互转换的信息功能陶瓷材料,具有位移分辨率高、刚度大、响应快、无噪声等优点,在微机械、微电子、精密加工、生物医学、机器人和航空航天等领域得到广泛应用。然而,压电陶瓷本身固有的输出位移小、迟滞、蠕变、非线性等特性,严重影响到精密定位系统的性能。本论文在对压电陶瓷迟滞、蠕变、非线性等特性进行研究的基础上,通过设计柔性铰链微位移放大机构将压电陶瓷的输出位移进行放大,同时利用神经网络建立压电陶瓷蠕变模型,对蠕变误差进行预测和修正。具体研究内容如下:首先,对压电陶瓷固有特性进行研究。基于极化理论分析了迟滞特性的产生机理,利用晶格间摩擦分析了蠕变特性,同时对非线性和位移重复性等特性展开分析,并结合实验对压电陶瓷特性进行验证。其次,设计了一个基于二级杠杆的柔性铰链微位移放大机构,经过放大后的压电陶瓷输出最大可达0.3mm。通过理论计算、ANSYS仿真和实验验证,对该放大机构进行了研究和分析,该机构分辨力约为10nm,并通过实验对放大前后的蠕变量进行对比研究。最后,利用神经网络建立压电陶瓷蠕变特性模型。通过建立蠕变模型描述蠕变量与时间、电压之间的关系;利用遗传算法对神经网络进行优化,提高神经网络的预测精度;采用反向电压法修正压电陶瓷蠕变误差。通过实验验证蠕变模型,预测蠕变量,并验证反向电压法对减小蠕变误差的有效性。通过理论研究和实验验证,本文的研究工作对于压电陶瓷的高精度定位有着重要的理论意义和实际应用价值。(本文来源于《华侨大学》期刊2016-05-27)

李尧[8](2016)在《压电陶瓷驱动的微动工作台建模与控制研究》一文中研究指出微动工作台是超精密加工、精密驱动、精密测量等前沿学科研究中应必备的关键仪器设备。压电陶瓷由于具有压电效应,可以产生纳米级别的伸缩变形,目前广泛作为微动工作台的驱动器。然而压电式的微动工作台固有的迟滞特性、蠕变特性和动态特性严重影响了微动工作台的定位精度。本文主要以压电陶瓷作为驱动器,以柔性铰链作为支撑导轨的一体式的压电微动工作台作为研究对象,设计了压电微动工作台的上位机数据采集程序和控制软件,然后针对压电微动工作台的迟滞特性和动态特性进行建模和控制研究。具体的研究内容有以下几个方面:1.针对XP-611型压电微动工作台,搭建了压电微动工作台的的实验系统。实验系统由以下几个工作模块组成:位移传感模块、驱动电源模块、压电微动工作台、计算机机控制系统。2.在搭建的实验系统基础上,在Labview开发环境下编写了数据采集程序,对压电微动工作台的迟滞特性、动态特性和蠕变特性进行了测试分析。分析结果表明,压电微动工作台的蠕变特性对定位精度影响较小,在对定位精度要求不是极高的情况下蠕变特性可以忽略不予考虑。而迟滞特性和动态特性对于压电微动工作台的定位精度影响较大。当压电微动工作台工作在小范围慢速定位条件下迟滞特性和动态特性都体现的不明显,当工作在慢速定位条件下主要体现迟滞特性,动态特性表现不明显。而在大范围快速定位条件下,这时候动态特性和迟滞特性表现的较为严重,对定位精度影响极大。3.综合考虑微动工作台的动态特性和迟滞特性,建立了微动工作台的数学模型。其中迟滞特性建模采用PI模型,阈值采用非等分阈值法确定,权重系数首先在离线条件下拟合初载曲线进行辨识,然后在工作台工作条件下进行在线修正。动态特性建模采用二阶系统,其传递函数模型中的各参数通过频率分析法进行确定。通过精密微动实验平台,进行了二阶系统模型参数识别和PI迟滞模型参数识别。4.将具有快速响应特性的CMAC神经网络引入到压电微动工作台的控制中来,综合考虑CMAC神经网络控制和传统的PID控制,将二者相互结合,设计了压电微动工作台的CMAC-PID复合控制器。利用Matlab对PID控制和CMAC-PID复合控制分别进行了仿真。在Labview的开发环境下编写了压电微动工作台的上位机控制程序,分别对两种控制进行了跟踪实验对比。通过对仿真和实验数据的分析,得出CMAC-PID复合控制对于压电微动工作台的控制是有效的。(本文来源于《昆明理工大学》期刊2016-04-01)

赵宇[9](2016)在《压电陶瓷驱动微定位平台迟滞非线性建模及控制方法研究》一文中研究指出压电陶瓷驱动微定位平台作为微纳米定位技术的关键核心器件,已经被广泛应用于很多高精度定位工程领域中。然而压电陶瓷驱动微定位平台固有的迟滞非线性对系统的定位精度和稳定性有一定的影响。本文以压电陶瓷驱动微定位平台为研究对象,以降低或消除压电陶瓷驱动微定位平台的迟滞非线性为目标,从建立高精度迟滞非线性模型和设计高精度迟滞补偿控制方法两方面展开了研究。首先对微定位平台技术的发展以及压电陶瓷驱动微定位平台迟滞非线性建模方法和控制方法的国内外研究现状进行介绍,并加以总结分析。本文采用Krasnosel'skii-Pokrovkii(KP)模型建立压电陶瓷驱动微定位平台迟滞非线性模型,并采用粒子群优化算法对KP模型密度参数进行辨识。辨识结果表明基于粒子群辨识的KP迟滞模型能够很好地描述压电陶瓷驱动微定位平台的迟滞非线性。针对粒子群辨识过程中容易出现的收敛缓慢、陷入局部最优的不足,采用自适应混沌粒子群算法改进辨识过程。该算法进行混沌序列优化和自适应惯性系数两方面改进,有效避免种群陷入局部最优,加快收敛进程。对比辨识结果发现,基于自适应混沌粒子群辨识的KP迟滞模型精度更高,辨识速度更快。为了降低或消除压电陶瓷驱动微定位平台迟滞非线性,首先采用模糊控制方案对其进行迟滞补偿控制。根据已有的控制知识和经验,设计了具有一系列模糊控制规则的模糊控制器,并采用叁种不同形式的给定信号作为期望输出进行仿真研究。仿真结果证明了所提模糊控制方案能够很好地抑制压电陶瓷驱动微定位平台迟滞非线性对定位精度的影响。为进一步提高控制精度,在模糊控制方案的基础上,提出变论域模糊控制方案。该控制方案中,模糊论域随着输入信号误差的变化发生伸缩变换,提高控制系统的误差敏感性。仿真结果表明,变论域模糊控制相比于模糊控制,控制误差更小,定位精度更高。最后,由于上述两种控制方案过度依赖控制经验,且在理论上缺乏严格的稳定性和收敛性证明,因此提出一种基于迟滞非线性分解的自适应模糊H∞控制方案,并给出了基于Lyapunov函数法的闭环稳定性证明。该控制方案通过自适应律调节模糊逻辑系统的权值参数来改变模糊控制器输出,控制过程中无需过多的控制经验。仿真结果表明,该控制方法对压电陶瓷驱动微定位平台迟滞非线性补偿控制效果更好,控制精度显着提高,证明了该控制方案有效性和可行性。(本文来源于《吉林大学》期刊2016-04-01)

张成春[10](2016)在《多电平开关线性复合式压电陶瓷驱动与控制方法研究》一文中研究指出压电陶瓷执行器以逆压电效应为主要原理,通过施加幅值可控的外部电压可以驱动其产生微小位移,在超精密定位系统、微电子技术及航天技术等精密工程领域有广泛应用。压电陶瓷驱动电源在效率、功率、输出电压范围和线性度方面有很高要求,当前驱动电源在这些方面尚存在显着不足,本文围绕高压大功率、高效率和低纹波的输出驱动电路开展如下研究工作:设计了多电平开关线性复合式压电陶瓷驱动电源,提出了开关式多电平级联电路为线性式的推挽放大电路供电的思想,此供电电压动态可调,在指令信号驱动下,推挽放大电路输出高效率、大功率和低纹波的高电压。提出了一种复合式压电陶瓷驱动电源电路拓扑,包含输入级的开关式电路和输出级的线性放大电路。通过开关式电路输出两路动态电压,给线性放大电路供电,分析了其工作原理,设计了基于CPS-SPWM补偿的调制方法。研究了所提出的驱动电路的动态供电控制策略;分析了该控制策略下推挽式放大电路的效率,与基本推挽式放大电路进行了对比;针对提高推挽式放大电路的工作效率,进行了动态供电策略的设计,并经过仿真验证驱动电路和调制方法的可行性。完成了复合式压电陶瓷驱动电源系统的设计,搭建了整个驱动电源系统的实验平台。在实验平台上,对提出的驱动电源电路及其控制策略进行实验验证。通过仿真和实验,结果证明所提出的复合式压电陶瓷驱动方法能够实现大功率、高效率和低纹波的高电压输出,输出电压值可调,且具有良好的动态性能。(本文来源于《北京理工大学》期刊2016-01-01)

压电陶瓷驱动控制论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

压电陶瓷驱动平台的迟滞非线性影响其定位精度,并降低原子力显微镜等微纳操纵系统对微纳米尺度样品的扫描成像质量。采用最小二乘法对压电陶瓷驱动平台的迟滞特性进行建模,避免了繁琐的迟滞模型求取过程;提出前馈控制与自抗扰控制相结合的复合控制方法,通过设定扩张观测器的带宽及系统控制带宽达到消除迟滞、提高平台定位精度的目的。实验结果表明,该复合控制方法在保证系统稳定性的前提下能有效地提高系统定位控制精度。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

压电陶瓷驱动控制论文参考文献

[1].冯阳阳.压电陶瓷驱动的微定位平台迟滞非线性的建模与控制[D].吉林大学.2019

[2].赵庆旭,王一帆,吴文鹏,胡贞.压电陶瓷驱动平台的复合控制方法研究[J].电光与控制.2019

[3].罗富.基于电荷反馈控制的压电陶瓷驱动电源研究[D].南京理工大学.2017

[4].乔继红,魏伟,周艳杰.输入受限的压电陶瓷驱动平台预设性能控制[J].信息与控制.2017

[5].甘金强.微位移平台压电陶瓷驱动系统非线性建模与控制方法研究[D].华南理工大学.2017

[6].彭芸浩.压电陶瓷驱动微位移平台及控制系统研究[D].昆明理工大学.2017

[7].江芳彬.大行程纳米级压电陶瓷驱动控制系统研究[D].华侨大学.2016

[8].李尧.压电陶瓷驱动的微动工作台建模与控制研究[D].昆明理工大学.2016

[9].赵宇.压电陶瓷驱动微定位平台迟滞非线性建模及控制方法研究[D].吉林大学.2016

[10].张成春.多电平开关线性复合式压电陶瓷驱动与控制方法研究[D].北京理工大学.2016

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