张世旭:低能Cu13团簇沉积薄膜的分子动力学模拟研究论文

张世旭:低能Cu13团簇沉积薄膜的分子动力学模拟研究论文

本文主要研究内容

作者张世旭,刘惠伟,贺亦文,张梅玲,李公平(2019)在《低能Cu13团簇沉积薄膜的分子动力学模拟研究》一文中研究指出:利用分子动力学模拟方法对Cu13团簇在Fe(001)表面上沉积薄膜进行了研究,分析了不同沉积条件对薄膜生长模式的影响,对比分析了不同沉积条件下表面粗糙度、缺陷分布和外延度等薄膜性质的差异。Cu13团簇的初始沉积能量范围为0.110.0 eV/atom,沉积率为1.0 clusters/ps,衬底温度分别为300,700和1 000 K。模拟结果表明:团簇初始沉积能量主要影响薄膜生长模式,当初始沉积能量为7.5 e V/atom的Cu13团簇沉积到温度为300 K的Fe(001)表面时,可形成表面光滑、内部缺陷少和较好外延度的高质量Cu薄膜。

Abstract

li yong fen zi dong li xue mo ni fang fa dui Cu13tuan cu zai Fe(001)biao mian shang chen ji bao mo jin hang le yan jiu ,fen xi le bu tong chen ji tiao jian dui bao mo sheng chang mo shi de ying xiang ,dui bi fen xi le bu tong chen ji tiao jian xia biao mian cu cao du 、que xian fen bu he wai yan du deng bao mo xing zhi de cha yi 。Cu13tuan cu de chu shi chen ji neng liang fan wei wei 0.110.0 eV/atom,chen ji lv wei 1.0 clusters/ps,chen de wen du fen bie wei 300,700he 1 000 K。mo ni jie guo biao ming :tuan cu chu shi chen ji neng liang zhu yao ying xiang bao mo sheng chang mo shi ,dang chu shi chen ji neng liang wei 7.5 e V/atomde Cu13tuan cu chen ji dao wen du wei 300 Kde Fe(001)biao mian shi ,ke xing cheng biao mian guang hua 、nei bu que xian shao he jiao hao wai yan du de gao zhi liang Cubao mo 。

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自原子核物理评论的张世旭,刘惠伟,贺亦文,张梅玲,李公平,发表于刊物原子核物理评论2019年02期论文,是一篇关于分子动力学模拟论文,团簇沉积薄膜论文,团簇论文,表面论文,原子核物理评论2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自原子核物理评论2019年02期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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