泰曼格林干涉论文-韩振华

泰曼格林干涉论文-韩振华

导读:本文包含了泰曼格林干涉论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献,主要关键词:面形检测,泰曼-格林干涉系统,Zemax模拟,结构设计

泰曼格林干涉论文文献综述

韩振华[1](2012)在《基于泰曼—格林干涉的球面面形在线检测仪研制》一文中研究指出光学系统作为光学仪器的核心,其性能好坏很大程度上取决于光学元件的质量。球面光学镜片作为最常用的光学元件,对其进行面形检测是光学镜片生产过程中最重要的环节之一。常用于镜片面形检测的方法有:样板法和干涉仪法。样板法属于接触性检验,容易对面形造成二次损伤;干涉仪法属于非接触法,但干涉仪造价昂贵,而且通常只能对单个镜片进行检验。这两种方法都各有缺点,影响光学镜片生产率的提高。本文通过对样板法和干涉仪法的比较,结合光学镜片生产的特点,基于泰曼-格林干涉设计了一种用于光学镜片面形的非接触在线检测的干涉仪。通过Zemax软件模拟分析该系统的光路特征,完成了光学镜片面形检测的方案设计和镜片检验的模拟。根据检测方案,进行零部件的结构选型以及参数确定;完成了整机结构以及相关的部件和调节机构的设计;完成样机的试制,并且进行了样片检测。结果表明,样机基本达到了设计的要求。(本文来源于《福建师范大学》期刊2012-05-01)

申劭萌,马军,何煦[2](2011)在《便携式泰曼格林型干涉仪装调方法研究》一文中研究指出为满足光学系统对高精度检测的要求,依据一种新型便携式干涉仪的设计方案,研究了装调方法。该型干涉仪基于改进的泰曼-格林光路结构,其设计测试精度达到λ/10(P-V,λ=630nm),具有参考镜离轴、体积小巧、便携、精度较高、成本低及便于批量装备等新特点。针对该新型干涉仪的结构特点,研究了以两个互相垂直的光轴为基准对整体结构进行装调的新方法,并用装调完善的干涉仪进行了实测试验和比对试验。试验结果表明,该新型干涉仪器对已知面型精度为λ/10(P-V,λ=630nm)的标准球面镜进行检测,其精度可达到0.09λ;在相同的测试条件下进行比对实验时,该新型干涉仪对普通标准球面镜的检测结果为0.053λ(RMS,λ=630nm),ZYGO干涉仪的检测结果为0.051λ(RMS,λ=632.8nm),两者测量能力较为接近。采用新装调方法进行装调的该新型便携式干涉仪的实际检测精度达到了设计要求,新装调方法可以满足该新型干涉仪的指标要求。(本文来源于《应用光学》期刊2011年06期)

张海峰,张骥[3](2008)在《在泰曼-格林干涉仪上实现实时图像采集与分析》一文中研究指出高功率准分子激光实验室主要从事ns级高功率准分子激光和飞秒超短脉冲激光的实验研究,大量光学镜片在实验中被采用,镜片面形的细微差异将对激光的传输和实验结果产生影响。实验用(本文来源于《中国原子能科学研究院年报》期刊2008年00期)

马军,何煦,居波,韩冰[4](2008)在《泰曼-格林型静态便携式干涉仪的设计》一文中研究指出基于经典泰曼-格林干涉理论提出了一种改进的干涉仪光路设计方案。与经典干涉理论对比,该方案具有共光路、结构紧凑、对环境因素不敏感、系统使用效率高等特点。通过对光学系统及标准平面的优化设计,其理论精度极值(PV)<1/12λ(λ=632.8nm)。对具体的光学系统、微调机构组件进行了叁维设计,对干涉仪进行了实际装配调整,并与Mo¨ller像移式干涉仪做了比对测试实验,结果表明,该小型干涉仪的实际测量精度PV值<1/10λ。(本文来源于《光学精密工程》期刊2008年12期)

张洪鑫,张健,吴丽莹[5](2008)在《泰曼-格林干涉仪测量液晶空间光调制器的相位调制特性》一文中研究指出为了评价美国BNS公司反射式256 pixel×256 pixel纯相位液晶空间光调制器(LC SLM)的性能,提出利用泰曼-格林干涉仪对相位调制特性进行干涉测量。实验结果表明,液晶空间光调制器的相位随灰度呈非线性分布,利用反插值法建立线性查找表,校正了器件的非线性,非线性度由原来的17.23%减小到2.85%;中心与边缘的相位调制,在同一灰度级最大相位差达到0.22π,中心相位调制均方根误差是边缘的4倍,说明该器件存在相位调制的不均匀性,中心相位误差较大,在波前控制中应给予校正。(本文来源于《中国激光》期刊2008年09期)

贺俊,王青,陈磊[6](2008)在《移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术》一文中研究指出叙述了自行研制的移相式泰曼-格林红外干涉仪的工作原理。针对红外光不可见的特点,利用可见光和红外光的共光路调试技术,解决了精确定位红外光路的难题,设计出一套红外干涉仪的调整方案。分别对平面镜、精磨粗糙平面和精磨粗糙球面的面形进行了测试,并使用四步移相算法还原被测波面,给出了结果数据和二维等值图、叁维立体图;所测平面镜和精磨粗糙平面的面形偏差为0.077λ(PV),精磨粗糙球面面形偏差为0.520λ(PV)(λ=10.6μm)。结果表明:仪器干涉系统光学质量优于λ/25,重复性优于λ/200,(λ=10.6μm)。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2008年03期)

朱昊,解波,黄振宇,赵子英,严瑛白[7](2007)在《泰曼-格林干涉仪干涉条纹计算机图像处理实验系统》一文中研究指出介绍了利用CCD摄像头和Matlab图像处理软件与传统的泰曼-格林干涉仪相结合构建的干涉条纹计算机图像处理实验系统,实现了测量信号的自动化处理,可用于物理光学现场实验教学.(本文来源于《大学物理》期刊2007年02期)

张海峰[8](2006)在《泰曼-格林干涉仪CCD实时图像采集系统的研制》一文中研究指出泰曼-格林干涉仪是麦克尔逊干涉仪的改型,是依据光的干涉原理,以光波波长为计量单位,通过干涉条纹来反映被测光学元件与系统误差信息的高精度测量仪器。从南京理工大学引进的(本文来源于《中国原子能科学研究院年报》期刊2006年00期)

何勇,陈磊,王青,朱日宏[9](2003)在《移相式泰曼-格林红外干涉仪及应用》一文中研究指出研究了移相式红外泰曼 格林干涉仪,研制出光机电算一体化的仪器,仪器孔径为Φ30mm。编制了计算机软件,用于干涉图波面的拟合与红外光学系统成像质量的评价,所编软件与国际上同类软件的计算精度相当。介绍了红外干涉仪的多种应用:评价红外光学系统的像质,检测光学件精磨表面粗糙度、光盘基片面形的平整度。结果表明,仪器干涉系统光学质量优于λ/25,扩展不确定度优于λ/130,重复性优于λ/200(λ=10.6μm)。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2003年04期)

熊秉衡,王正荣,王虹,张永安[10](2000)在《泰曼-格林干涉仪的一种变形及其应用》一文中研究指出本文介绍了泰曼 -格林干涉仪的一种变形 ,分析了在这种情况下所获得的干涉条纹的分布 ,及其随光程差变化而变化的规律 ,并介绍了它的应用。(本文来源于《激光杂志》期刊2000年04期)

泰曼格林干涉论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

为满足光学系统对高精度检测的要求,依据一种新型便携式干涉仪的设计方案,研究了装调方法。该型干涉仪基于改进的泰曼-格林光路结构,其设计测试精度达到λ/10(P-V,λ=630nm),具有参考镜离轴、体积小巧、便携、精度较高、成本低及便于批量装备等新特点。针对该新型干涉仪的结构特点,研究了以两个互相垂直的光轴为基准对整体结构进行装调的新方法,并用装调完善的干涉仪进行了实测试验和比对试验。试验结果表明,该新型干涉仪器对已知面型精度为λ/10(P-V,λ=630nm)的标准球面镜进行检测,其精度可达到0.09λ;在相同的测试条件下进行比对实验时,该新型干涉仪对普通标准球面镜的检测结果为0.053λ(RMS,λ=630nm),ZYGO干涉仪的检测结果为0.051λ(RMS,λ=632.8nm),两者测量能力较为接近。采用新装调方法进行装调的该新型便携式干涉仪的实际检测精度达到了设计要求,新装调方法可以满足该新型干涉仪的指标要求。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

泰曼格林干涉论文参考文献

[1].韩振华.基于泰曼—格林干涉的球面面形在线检测仪研制[D].福建师范大学.2012

[2].申劭萌,马军,何煦.便携式泰曼格林型干涉仪装调方法研究[J].应用光学.2011

[3].张海峰,张骥.在泰曼-格林干涉仪上实现实时图像采集与分析[J].中国原子能科学研究院年报.2008

[4].马军,何煦,居波,韩冰.泰曼-格林型静态便携式干涉仪的设计[J].光学精密工程.2008

[5].张洪鑫,张健,吴丽莹.泰曼-格林干涉仪测量液晶空间光调制器的相位调制特性[J].中国激光.2008

[6].贺俊,王青,陈磊.移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术[J].红外与激光工程.2008

[7].朱昊,解波,黄振宇,赵子英,严瑛白.泰曼-格林干涉仪干涉条纹计算机图像处理实验系统[J].大学物理.2007

[8].张海峰.泰曼-格林干涉仪CCD实时图像采集系统的研制[J].中国原子能科学研究院年报.2006

[9].何勇,陈磊,王青,朱日宏.移相式泰曼-格林红外干涉仪及应用[J].红外与激光工程.2003

[10].熊秉衡,王正荣,王虹,张永安.泰曼-格林干涉仪的一种变形及其应用[J].激光杂志.2000

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