导读:本文包含了微细超声加工论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:微细超声加工,主轴设计,微叁维运动平台,机床
微细超声加工论文文献综述
连海山,郭钟宁,弓满锋,隋广洲[1]（2018）在《微细超声加工机床关键零部件设计》一文中研究指出微细超声加工机床是实施微细超声加工的基础。针对微细超声加工的原理,对微细超声加工机床中的关键零部件进行了设计,包括主轴设计、微细超声振动工作液槽设计、运动控制系统硬件设计与数据采集系统硬件设计。块电极通过辅助夹具安装于微细超声振动工作液槽中,能够实现微细工具电极的在线加工。采用双超声振动系统设计结构,可以根据加工需要自由的选择将微细超声振动施加到工具或者工件上。宏微复合的运动控制模式能有效的保证运动控制精度,加工实时力与机床运动结合形成的闭环结构能满足微细超声加工中的恒力进给需求。(本文来源于《机械设计与制造》期刊2018年07期）
李琳琳,顾翔,朱永伟[2]（2018）在《微细旋转超声加工材料去除机理及试验》一文中研究指出文摘分析旋转超声加工材料去除机理,建立材料去除效率模型,探讨工艺参数对加工效率的影响规律;对压电陶瓷、有机玻璃、玻璃钢、紫铜等多种材料,进行单一超声和旋转超声加工材料去除效率对比试验,研究旋转超声加工方式对加工过程稳定性及加工效率的影响。结果表明:旋转超声加工可在保持原超声加工精度基础上,显着提高材料加工效率,且对较难超声加工材料(如有机玻璃),旋转超声提高其加工效率的效果更为显着。(本文来源于《宇航材料工艺》期刊2018年03期）
王忠进[3]（2018）在《氧化锆陶瓷微细阵列孔的超声加工研究》一文中研究指出氧化锆陶瓷因具有耐高温、耐磨性好、化学稳定性好等特性,已深入应用于各种半导体生产过程,但氧化锆陶瓷属于典型的难加工材料,传统加工方法效率较低。超声加工以其得天独厚的优势成为硬脆材料加工的一种重要方法。论文针对氧化锆陶瓷微细阵列孔加工中的技术难点,开展了基于等效阻抗的微细阵列孔超声加工研究,具体研究内容如下。1.设计并制作了超声振动系统。主要完成了超声振动系统换能器设计、变幅杆与工具头的设计、仿真和制作,并进行了谐振频率与振幅等性能测试。测试结果表明,制作的超声振动系统谐振频率符合设计要求、振幅满足氧化锆陶瓷微细阵列孔加工的要求。2.完成了人机界面设计。主要完成了人机界面功能需求、硬件连接方式、软件结构及通讯方式设计等方面的工作。设计的超声电源上位机界面和超声加工机床触摸屏界面满足超声加工的要求。3.氧化锆陶瓷超声加工系统建立与实验。完成了超声试验系统的控制算法的优化。在加工控制方法中,引入了对实时阻抗值与等效阻抗阀值差值的比较,同时增设控制信号时间长度与脉冲数比例系数,加入超声电源控制按钮。4.氧化陶瓷微细阵列孔加工试验。设计单因素试验研究超声电源加工参数、磨料粒径及机床运动控制参数对材料去除率的影响,分析原因并完成氧化陶瓷微细阵列孔加工。(本文来源于《南京航空航天大学》期刊2018-03-01）
赵路明[4]（2015）在《集成电路精密引线模具微细超声加工设备开发及实验研究》一文中研究指出集成电路是电子信息产业的心脏,集成电路每1元的产值,可以带动GDP100元的产值,对国民经济的发展具有很高的贡献率。集成电路的发展离不开高质量的键合金丝,从而对有硬脆性材料制成的集成电路精密引线模具提出了越来越高的要求。超声加工技术是加工硬脆性材料的主要方法,在上述模具的制造过程中扮演着重要的角色。但集成电路精密引线模具孔径微小,目前尚没有成熟的具有在线监控功能的卧式超声加工设备。本文从这一角度出发,研发了集成电路精密引线模具卧式超声加工机床,主要工作内容为：1.选择介电损耗正切值尽可能小,材料的机械品质因数大的压电陶瓷元件,结合声学、电学、机械学设计结构合理,设计制造出专用的、高共振频率的、工作可靠的压电换能器。2.选取阶梯型变幅杆应用理论解析法进行分析,得出了变截面杆的振动方程。运用ANSYS软件对阶梯型变幅杆进行了模态分析和谐响应分析,针对谐响应分析中所存在的应力集中现象进行了结构优化和验证。3.在超声换能器、变幅杆研究的基础上,对专用的超声加工机床的设计制造进行研究,对机床的主体结构给予详细的分析和零件设计,最后经过计算与校核,设计制造一台具有在线检测功能、适用于集成电路精密引线模具的卧式超声加工机床。4.在超声加工实验结果及分析上采用正交实验方法设计了叁因素叁水平正交实验,考察了磨粒粒度、工件转速和磨料浓度叁个参数对材料去除率的实际影响和作用规律。(本文来源于《北京交通大学》期刊2015-03-01）
高飞,顾琳,赵万生[5]（2013）在《微细旋转超声加工碳化硅陶瓷的轴向力试验研究》一文中研究指出对微细旋转超声加工碳化硅陶瓷过程中的轴向力展开研究,分析了主轴转速、进给率、超声振动能量对轴向力的影响。对轴向力信号的频域分析表明,其中包含了由刀具变形引起的低频力信号和由超声振动带来的高频力信号。在此基础上,分别研究了各工艺参数对低频力信号周期和高频力信号周期的影响和效应。此外,还分析了工具的磨损类型及轴向力对工具磨损的影响。(本文来源于《电加工与模具》期刊2013年02期）
高飞[6]（2013）在《微细旋转超声加工机理及相关技术研究》一文中研究指出微细旋转超声加工（Micro Rotary Ultrasonic Machining：μRUM）是一种结合了超声加工（Ultrasonic Machining：USM）和磨削加工优点的新型复合特种加工方法。与传统的电加工方法相比，μRUM对材料的导电性没有要求，并可以较好的保持工件原有特性，因此在非导电硬脆性材料的微细加工领域有重要的应用价值。但目前μRUM的机理尚不完全明确，在一定程度上限制了该方法的进一步发展。本文首先针对μRUM的工艺特点，设计了基于恒定速率进给的μRUM加工装置；在此基础上根据实验需求搭建了轴向力测量系统并编写了基于LabVIEW的轴向力采集软件。开展了μRUM中材料塑性去除模式的研究，在考虑主轴旋转运动对材料去除形状影响的基础上，得到了新的材料塑性去除模型；模型验证实验结果表明：在低进给速率下，理论值与实验值吻合的较好；随着进给速率的增加误差逐渐变大，这主要是材料的去除模式随着进给速率的增加发生转变所导致的。对μRUM加工碳化硅（SiC）陶瓷过程中的轴向力展开了研究。对轴向力的频域分析表明其中包含了由刀具变形引起的低频信号和由超声振动带来的高频信号。在此基础上分别拟合了加工参数对轴向力、轴向力低频信号周期和磨粒切深的经验公式。此外，还分析了轴向力对工具磨损类型的影响。除此之外，设计了响应曲面实验探索了μRUM加工钛合金中的轴向力特性；分析了加工参数对轴向力、轴向力低频信号周期、切深的影响；在此基础上，利用COMSOL Multiphysics4.2有限元仿真软件模拟了单磨粒在一个振动周期内的加工过程，与实验值的对比表明，理论解与实验值吻合较好，进一步证明了切深计算方法的可靠性。最后本文还阐述了多功能微细旋转超声加工机床初步设计工作，确立了机床的机械本体结构并选定了电机的伺服控制方案；提出了PMAC作为下位机，基于LabVIEW的数控软件作为上位机的数控方案；在此基础上重点论述了数控系统中关键功能模块的编写技术。(本文来源于《上海交通大学》期刊2013-02-01）
张勤俭,李建勇,蔡永林,王恒,王先逵[7]（2012）在《金刚石微丝拉拔模具微细超声加工技术》一文中研究指出金属微丝在是指直径在0.10 mm以下的各种金属丝。金属微丝不但具有金属材料本身固有的一切优点,还具有非金属材料的一些特殊性能,例如高强度,高弹性,良好的导电性、导热性、耐磨防腐性、耐高温、热稳定性,较好的屏蔽、防磁、防辐射性能,不易产生静电效应等,被广泛应用于国民经济各个领域。现代科技的发展需求促使金属微丝向精、微的方向拓展,对金刚石微丝拉拔模具的精度提出了更高的要求,而我国对于该类模具的加工精度与日本、德国相差较远。作者在前期研究的基础上对金属微丝拉拔模具关键技术——微细超声加工技术进行了深入的研究,加工的模具尺寸误差为0.42μm,圆度误差为0.18μm,完全达到了日本和德国的标准,达到国际领先水平。(本文来源于《金刚石与磨料磨具工程》期刊2012年03期）
秦少明,马春狮,王聪,余祖元,李剑中[8]（2012）在《微细超声加工中恒力控制问题的研究》一文中研究指出为提高微细超声波加工系统的稳定性和加工性能,对微细超声加工中微小加工力的恒定控制方法进行了深入研究。最终采用积分分离PID控制算法,实现了微小加工力的恒定控制。加工实验结果证明,该控制算法较好地解决了微细超声加工中加工力波动大且难以控制的问题。(本文来源于《电加工与模具》期刊2012年03期）
安成明,殷国强,李剑中,余祖元[9]（2011）在《微细孔、阵列孔及微细叁维型腔的超声加工研究》一文中研究指出利用自行开发的微细电火花与微细超声复合加工装置,对微孔超声加工中效率随孔深的变化、磨料颗粒尺寸对精度的影响等进行了实验研究,并采用恒加工力控制方式,在单晶硅100晶面实际完成了直径18μm圆孔和28μm×28μm方孔的超声加工、微细十字孔与阵列孔的超声反拷加工以及微细叁维型腔的工具均匀损耗补偿分层铣削超声加工。(本文来源于《电加工与模具》期刊2011年01期）
安成明[10]（2010）在《微细超声加工装置及基础工艺的研究》一文中研究指出晶体硅、光学玻璃、工业陶瓷等硬脆性材料在微机械领域的广泛应用对微细加工技术提出了更高的要求。目前针对硬脆性材料的高精度微细加工方法主要有光刻加工、电火花加工,电解加工,激光加工和超声加工等。其中超声加工技术在硬脆性材料加工方面有着得天独厚的优势,因此微细超声加工技术的研究对微机械的发展具有重要意义。本文对微细超声加工技术的原理及发展现状作了详细的论述,并在此基础上开发了一套兼有微细电火花加工功能的立式微细超声加工装置,根据微细超声加工及微细电火花加工的特性,开发了微细超声及微细电火花复合数控加工系统。系统可在微细超声加工及微细电火花加工两种加工模式之间任意切换。通过微细圆孔及微细方孔的加工验证了加工装置的加工性能,并提出了一种超声加工振幅的简易测量方法；通过实验对磨粒、转速、加工力等参数对加工的影响作了定性研究。通过电火花反拷法制备出了微细阵列工具及微细异形截面工具,并以此进行了微细阵列孔及异型截面孔的超声加工；通过实验,对同等加工条件下微细阵列孔和单孔加工的材料去除率的大小进行了分析。结合CAD/CAM软件,运用均匀损耗法,进行了微细叁维型腔的超声加工。通过实验发现,随着工具电极长度不同,微细孔的加工间隙各不相同。本文认为此现象是由工具自身的径向振动造成的。文中对工具的振动模型进行了分析,并通过有限元分析进行了仿真计算,加工间隙计算值与实验值变化趋势一致,验证了理论模型的合理性。(本文来源于《大连理工大学》期刊2010-12-15）
微细超声加工论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
文摘分析旋转超声加工材料去除机理,建立材料去除效率模型,探讨工艺参数对加工效率的影响规律;对压电陶瓷、有机玻璃、玻璃钢、紫铜等多种材料,进行单一超声和旋转超声加工材料去除效率对比试验,研究旋转超声加工方式对加工过程稳定性及加工效率的影响。结果表明:旋转超声加工可在保持原超声加工精度基础上,显着提高材料加工效率,且对较难超声加工材料(如有机玻璃),旋转超声提高其加工效率的效果更为显着。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微细超声加工论文参考文献
[1].连海山,郭钟宁,弓满锋,隋广洲.微细超声加工机床关键零部件设计[J].机械设计与制造.2018
[2].李琳琳,顾翔,朱永伟.微细旋转超声加工材料去除机理及试验[J].宇航材料工艺.2018
[3].王忠进.氧化锆陶瓷微细阵列孔的超声加工研究[D].南京航空航天大学.2018
[4].赵路明.集成电路精密引线模具微细超声加工设备开发及实验研究[D].北京交通大学.2015
[5].高飞,顾琳,赵万生.微细旋转超声加工碳化硅陶瓷的轴向力试验研究[J].电加工与模具.2013
[6].高飞.微细旋转超声加工机理及相关技术研究[D].上海交通大学.2013
[7].张勤俭,李建勇,蔡永林,王恒,王先逵.金刚石微丝拉拔模具微细超声加工技术[J].金刚石与磨料磨具工程.2012
[8].秦少明,马春狮,王聪,余祖元,李剑中.微细超声加工中恒力控制问题的研究[J].电加工与模具.2012
[9].安成明,殷国强,李剑中,余祖元.微细孔、阵列孔及微细叁维型腔的超声加工研究[J].电加工与模具.2011
[10].安成明.微细超声加工装置及基础工艺的研究[D].大连理工大学.2010