导读:本文包含了纳米金属多层膜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:纳米金属多层膜,热稳定性,微观结构,力学性能
纳米金属多层膜论文文献综述
马玉洁[1]（2019）在《纳米金属多层膜的热稳定性研究》一文中研究指出Cu系纳米金属多层膜因其具有良好的导电性与力学性能,广泛用于微电子和微机械领域。这些微电子器件的实际服役环境往往较为恶劣,其中热环境最为典型。由于纳米金属多层膜本身处于热力学不平衡状态,温度变化会引起晶粒尺寸以及界面微观结构特征的改变,出现晶粒长大、界面失稳、层状结构破坏等现象,最终导致材料的失效,严重影响其服役寿命。因此,纳米金属多层膜在热环境下较差的稳定性己成为限制其在高性能器件领域应用的瓶颈。为突破这一瓶颈,确保纳米金属多层膜具有良好的服役寿命和稳定的使用性能,对其热稳定性的研究显得十分必要。本文针对多层膜在微电子领域的需求,设计了一系列特殊结构的Cu/X纳米金属多层膜。采用直流磁控溅射法制备了 fcc/fcc体系的Cu/Ag纳米多层膜,fcc/hcp体系Cu/Ru纳米多层膜和fcc/bcc体系的Cu/Mo、Cu/V纳米多层膜。研究了尺度效应对多层膜热稳定性的影响,主要包括多层膜的微观结构、电学性能和力学性能的稳定性。讨论了多层膜的微观结构和热稳定性之间的关系,特别是异质界面和层内结构与其热稳定性之间的关系,为Cu系金属多层膜的应用提供了实验依据和理论支持,而且对设计和研发热稳定的新型纳米结构—功能型薄膜具有指导意义。主要结论如下:一、Cu/Ag层膜中,异质共格孪晶界面能够提高多层膜热稳定性。利用TEM和XRD研究了单层厚度为2.5～100 nm Cu/Ag纳米多层膜在退火过程中晶粒长大行为和界面结构演化过程。研究发现,当单层厚度小于20nm时,Cu/Ag多层膜层状结构的稳定只能维持在200℃C。当单层厚度大于20 nm时Cu/Ag多层膜表现出良好的热稳定性,可以在300℃退火后维持微结构的稳定,层状结构保持完好,晶粒没有发生长大。透射电镜原位观察发现Cu/Ag多层膜之间的界面以异质外延结构为主,退火过程中热沟槽同时在两种界面中产生,导致与以往不同的微结构演化过程。Cu/Ag多层膜中的晶粒长大过程主要有晶界扩散控制,但是异质共格、半共格界面能够有效抑制晶界的迁移,两者存在相互竞争的关系,最终形成一个稳定的热沟槽角,达到热力学平衡状态,从而抑制晶界迁移阻止晶粒长大,保持多层膜结构的稳定。此外,退火孪晶的形成也显着提高了微观结构的稳定性。二、Cu/Ru多层膜中,随着Cu层厚度的下降,Cu晶粒长大的速度减慢,出现了“越小越稳定”的反尺度效应。利用TEM和纳米压痕研究了一系列不同调制比的Cu/Ru纳米多层膜(固定Ru层厚度3 nm不变,改变Cu单层厚度为5～200nm)的热稳定性。所有尺度的多层膜都能在400℃退火后保持层状结构完整。其中单层厚度为10 nm的Cu/Ru多层膜热稳定性最佳,在400℃退火后晶粒仍然保持在25 nm左右,并且硬度只下降了 6.5%。研究发现Cu/Ru多层膜内大量择优取向的柱状晶能够降低晶粒横向长大的驱动力,Cu-Ru之间的半共格异质界面既具有较低的界面能,又能够有效抑制纵向原子扩散。而Cu/Ru多层膜内柱状晶和共格界面这些特殊界面结构的数量随着尺度的下降而增加,因此在Cu/Ru多层膜内出现越小越稳定现象。在尺度为100 nm的Cu/Ru多层膜中得到最佳电学和力学性能相结合的综合性能。退火后多层膜中的晶粒长大降低了 Cu层中晶界对电子的散射,提高电导率。通过透射电镜原位加热研究了 Cu/Ru多层膜在热环境下的微观结构演化过程,揭示了去孪晶化诱导晶粒长大的过程,阐明了高温下多层膜微结构球状化失效的内在机制。叁、Cu/Mo(V)多层膜中,尺度效应引起的界面结构的变化是影响多层膜热稳定性的关键因素。利用TEM和纳米压痕研究了一系列不同调制比的Cu/Mo(V)纳米多层膜(固定Mo(V)层厚度3nm,Cu单层厚度为5～100 nm)的热稳定性。沉积态Cu/Mo多层膜的硬度随着尺度的下降而增强,并在10nm处出现软化,这是由于随着尺度的下降,多层膜晶体结构类型按照多晶向织构向超晶格的趋势变化。而Cu/V多层膜的硬度随尺度下降持续增强,界面产生的共格应力强化是小尺度下强化的主要因素。所有尺度的多层膜都能在400℃退火后保持层状结构完整,也没有发现明显的晶粒长大,说明Cu-Mo和Cu-V界面都能够提高多层膜微结构的热稳定性。Cu/Mo的硬度随退火温度的升高而下降,主要由于非晶层在退火过程中发生晶化。而单层厚度为5 nm的Cu/V多层膜的硬度在退火后增加到5.34 GPa,这是因为退火之后界面处形成Cu-V混合层,增强了界面对位错运动的阻碍作用。小尺度下界面结构演化是影响Cu/Mo和Cu/V多层膜热稳定性的主要因素。(本文来源于《南京大学》期刊2019-05-24）
崔忠国,魏明真[2]（2018）在《金属纳米多层膜热稳定性的研究》一文中研究指出金属纳米多层膜的热稳定性是决定多层膜在高温环境下服役性能的关键。本文在界面运动理论的基础上,从多层膜的结构特点出发,对影响多层膜热稳定性的主要因素进行了分析,并提出获得高热稳定的多层膜结构模型特点。(本文来源于《中国金属通报》期刊2018年11期）
孙军,张金钰,吴凯,刘刚[3]（2016）在《Cu系纳米金属多层膜微柱体的形变与损伤及其尺寸效应》一文中研究指出纳米金属多层膜材料已成为目前高性能微元器件以及互连结构的核心材料体系,其服役过程中的变形损伤与断裂是导致系统失效的关键因素.以本课题组近年来的研究结果为基础,结合当前国内外有关金属多层膜微柱体塑性变形行为研究的最新进展,阐述了金属多层膜微柱体微观结构-尺寸约束-服役性能叁者之间的关联性,揭示了金属多层膜微柱体变形模式与损伤的内在规律,归纳了晶体/晶体与晶体/非晶两类层状结构材料加工硬化/软化行为的微观机理,并对纳米金属多层膜研究的发展趋势进行了展望.(本文来源于《金属学报》期刊2016年10期）
张金钰,刘刚,孙军[4]（2016）在《纳米金属多层膜的强韧化及其尺寸效应》一文中研究指出如何有效地协调和平衡材料强度与韧性之间的矛盾,大幅度地提高结构材料的损伤容限,是非均质金属材料微观结构敏感性设计的巨大挑战。纳米金属多层膜作为一类典型的非均质金属材料,由于不仅可以调整其组元几何和微观结构尺度,而且可以引入具有不同本征性能的组元材料和不同结构的层间异质界面,因此在获得高强高韧金属结构材料方面具有潜在的能力。结合当前国内外有关金属多层膜塑性变形强韧化机制及其尺寸与界面效应研究的最新进展,分别阐述了晶体/晶体Cu/X(X=Cr,Nb,Zr)与晶体/非晶Cu/Cu-Zr金属多层膜/微柱微观结构-尺寸约束-服役性能叁者之间的关联性,并对纳米金属多层膜研究的发展趋势进行了展望。(本文来源于《中国材料进展》期刊2016年05期）
何丽忠[5]（2016）在《金属多层纳米线的控制合成及其性能研究》一文中研究指出近年来,随着纳米技术的快速发展,有关对纳米材料的研究已经从可控合成及基础性质的研究过渡到了对其独特性质进行实际生产应用的探索研究。由于多层纳米线在磁光、磁性、数据存储、传感器、生物技术以及在新型能源器件方面有着潜在的应用价值,因此对多层纳米线的可控合成及其相关特性的研究已经成为材料科学界研究的重要前沿课题之一。本论文中采用氧化铝模板技术与脉冲电沉积方法相结合,成功合成了高度有序的竹节状分层纳米线阵列,并且研究了其相关的性能。主要研究内容如下:1.金属多层纳米线的控制合成(1)本文利用自制的氧化铝模板(AAO),并采用脉冲沉积法成功制备了直径为70 nm的Au/Ni多层纳米线阵列,通过调节电沉积时间使磁性层Ni的厚度分别为65nm、120nm、180nm和300nm,而非磁性层Au的厚度保持为70nm;(2)利用自制的氧化铝模板(AAO),采用电化学沉积法成功制备了直径70nm的Pt/Ni多层纳米线阵列,我们通过改变电沉积时间,改变磁性层的厚度分别是60nm和200nm,而非磁性层Pt的厚度保持为60nm。利用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、扫描电子显微镜(SEM)对样品的形貌和结构进行了表征与研究。2.金属多层纳米线的磁性研究(1)本文研究了Au/Ni多层纳米线的磁性与Ni磁性层长度之间的关系,结果表明:当Ni磁性层的长度大概是180nm时,剩磁率和矫顽力都出现了相对最大的值;(2)本文还研究了Au/Ni多层纳米线的矫顽力和剩磁率随测试角度变化的情况,结果发现,矫顽力和剩磁率不仅与角度的变化有关并且受Ni层厚度的影响,且易磁化轴为平行纳米线轴方向,当磁性Ni层的长度增加,纳米线间的静磁耦合作用也就随之增强。(3)研究了直径为70 nm的Pt/Ni多层纳米线阵列的磁性随测试角度变化的关系,结果表明:矫顽力和剩磁率不仅与测试角度的变化有关并且受Ni层长度的影响。3.金属多层纳米线的电化学性能研究(1)在室温条件下,研究了Au/Ni多层纳米线在无酶葡萄糖传感器上的应用,结果发现:我们合成的Au/Ni多层纳米线因为拥有大的比表面积和特殊的双金属结构,所以对葡萄糖有很好的探测性能,如非常高的灵敏度,较宽的线性范围和极低的探测极限;(2)在室温条件下,我们将Pt/Ni多层纳米线修饰在传统的玻碳电极上,并研究了该电极对甲醇的电催化氧化性能,通过利用循环伏安法和计时电流法,我们分别测试了Pt/Ni多层纳米线、Pt纳米线及Ni的纳米线修饰的电极对甲醇的电催化氧化性能,通过细心分析循环伏安曲线和计时电流曲线,我们发现,与其他两种材料相对比,我们制备的Pt/Ni多层纳米线对甲醇的电催化氧化性能是最好的,并且稳定性也是最强的。(本文来源于《西南大学》期刊2016-03-01）
陈飞达[6]（2016）在《新型铬/钨纳米金属多层膜复合材料的辐照损伤研究》一文中研究指出核电是我国大力发展的一种清洁、高效、优质的现代绿色能源。核工程关键材料是保障我国核电技术顺利发展,核电系统安全高效运行的物质基础。随着近年来我国核电事业以及快堆、聚变堆等先进核反应堆技术的快速发展,我国对核工程结构材料的抗辐照性能提出了更高的标准。因此,亟需研发更多满足核反应堆需求的高抗辐照结构材料。纳米金属多层膜是一类基于界面自修复理论设计的新型纳米结构材料,具有独特的辐致缺陷自修复性能,被视为新一代先进反应堆燃料包壳、堆内构件以及聚变堆第一壁结构材料的重要候选之一。本论文围绕铬钨体系纳米金属多层膜复合材料在核反应堆内强辐射场下的抗辐照性能展开,首先对选择铬钨体系组建纳米金属多层膜复合材料的设计依据进行了阐述,进而分别从铬、钨元素在1-14 Me V能量范围的中子辐照下的辐照损伤物理机制、铬/钨纳米金属多层膜的制备工艺及材料辐照损伤实验方法、氙离子辐照后铬/钨纳米金属多层膜的结构性能变化以及铬/钨纳米金属多层膜中氢、氦泡的形成机制及对材料力学性能的影响等几个方面开展了一系列研究。主要研究内容及成果如下:(1)基于蒙特卡罗粒子输运计算机模拟方法研究了铬钨体系材料在中子辐照条件下的辐照损伤效应,详细讨论了不同能量中子辐照对铬钨体系辐照损伤效应的影响规律。研究表明,1-14Me V能量范围的中子在铬/钨材料中造成的原子位移损伤大致在1×10-22-2.3×10-21 dpa/(中子/cm2)范围,中子能量越大,材料受到的原子位移损伤也越大;中子辐照也会使铬、钨中产生氢、氦嬗变气体产物,其产额随中子能量增大而增大,当14 Me V能量中子辐照材料时,在铬中产生的氢、氦离子产额分别为0.022个/中子和0.005个/中子,相比之下,钨中的氢、氦产额较小。(2)通过磁控溅射工艺实验制备了两种不同调制周期的铬/钨纳米金属多层膜,在此基础上进一步开展氙离子辐照实验以等效研究铬/钨纳米金属多层膜在中子辐照条件下的抗辐照性能。结合X射线衍射、透射电子显微镜、原子力显微镜以及纳米压痕测试,研究了不同注量氙离子辐照对铬/钨纳米金属多层膜微观结构、表面形貌以及力学性能的影响规律。实验结果表明,Cr/W界面对辐照引起的晶粒粗化、辐照肿胀均具有很好的抑制作用;氙离子辐照后几种纯金属薄膜以及铬/钨纳米金属多层膜的硬度、杨氏模量均有不同程度下降;由于铬/钨纳米金属多层膜界面对晶粒粗化具有很好的抑制作用,因此其辐照前后的力学性能变化较其他薄膜更小。(3)基于材料的离子辐照损伤计算程序,设计了特殊的多能量段式氢离子辐照实验,结合X射线衍射、透射电子显微镜以及纳米压痕等材料测试手段,对铬/钨纳米金属多层膜中氢泡的形成规律以及其对纳米金属多层膜力学性能的影响进行了实验研究,重点探讨了退火过程以及纳米金属多层膜调制周期对氢泡成核的影响机制。实验表明,氢浓度达到3 at.%时,600℃真空退火后会在调制周期为50 nm的铬/钨纳米金属多层膜中形成氢泡,但相同实验条件对调制周期为5 nm的铬/钨纳米金属多层膜无影响。该实验结果说明,Cr/W界面对氢原子具有强烈的局域化作用,大大降低了氢原子在材料中的迁移率,延缓了氢泡的形成。(4)采用多能量段式氦离子辐照实验,结合上述多种分析测试手段,对铬/钨纳米金属多层膜中氦泡的形成规律以及其对纳米金属多层膜力学性能的影响进行了实验研究。研究结果表明,Cr/W界面不仅能捕获间隙位置处的氦原子,将其局域化在固定区域,延缓其聚集成核形成氦泡,而且对氦泡的长大也同样具有明显的抑制作用。氢、氦离子辐照实验结果均表明:辐照后两种纳米金属多层膜的硬度、杨氏模量均有所下降;相比于大调制周期(50 nm)的铬/钨纳米金属多层膜,调制周期更小(5 nm)的多层膜辐照前后力学性能变化更小。(5)针对氢、氦离子辐照前后的铬/钨纳米金属多层膜材料,开展了一系列中子反射谱实验,研究了氢、氦原子在薄膜深度方向上的浓度分布,探讨了铬/钨纳米金属多层膜中纳米界面对氢、氦杂质气体原子扩散行为的影响规律。研究结果表明,未经过氢、氦离子辐照的初始Cr/W(50 nm)纳米金属多层膜采用六层平板结构模型可以得到较好拟合。而经过氢、氦离子辐照后Cr/W(50 nm)纳米金属多层膜的最表面四层Cr/W界面位置处出现了氢、氦富集层,其中子散射势相比于无氢、氦存在膜层有所下降。该实验现象表明,Cr/W界面对于氢、氦气体原子均具有极强的捕获能力,是一种有效的氢、氦陷阱。本文的研究工作,将为铬钨体系纳米金属多层膜在多种强辐射场环境下的辐照损伤研究提供重要的理论支持与实验参考,并推动该类型纳米金属多层膜复合材料在新一代先进反应堆工程材料上早日取得应用。(本文来源于《南京航空航天大学》期刊2016-01-01）
朱生发,吴艳萍,刘天伟,唐凯,魏强[7]（2015）在《金属铀表面纳米多层膜的结构与腐蚀性能》一文中研究指出金属铀具有独特的核性能,在核工业领域得到广泛应用,但其化学性质十分活泼,在高湿和盐雾环境中极易遭受腐蚀,因而解决铀的易腐蚀问题已成为其应用的关键工程技术之一。本文采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备Ti/Cr纳米多层膜。采用SEM研究了薄膜表面和断面形貌,采用AES研究了薄膜与基体界面的U、Ti、O等元素分布,采用TEM研究了多层膜界面的微观结构。实验结果表明,采用磁控溅射在金属铀表面制备的Ti/Cr纳米多层膜晶粒细小,致密性高,Ti过渡层与铀基体间存在一定的互扩散区。纳米多层膜由Ti和Cr两种组份交替沉积而成,具有典型的调制结构,期调制周期为5nm,Ti、Cr膜的调制比约为2:1,各组份之间存在明显的界面。动电位极化结果表明,在铀基体表面沉积Ti/Cr纳米多层膜后,腐蚀电位增加近500m V,腐蚀电流密度明显下降,表面出现伪钝化现象,有效改善基体的抗腐蚀性能。(本文来源于《第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议论文（摘要）集》期刊2015-08-23）
张金钰,刘刚,孙军[8]（2015）在《纳米金属多层膜微柱体变形损伤行为的尺寸与界面调控》一文中研究指出通过设计组元材料含量与性能以及界面结构,调控由两相或者多相组元构成的材料性能为发展高性能纳米金属多层膜奠定坚实的基础.通过磁控溅射技术在单晶硅基体上沉积制备了等组元层厚度￡h=5-125nm)的Cu/X(X=Zr,Cr)纳米金属多层膜,基于聚焦离子束以及微柱体压缩方法,测试了室温下Cu/X多层膜微柱体单轴压缩流变行为及其损伤特征.(本文来源于《中国力学大会-2015论文摘要集》期刊2015-08-16）
杨雅慧[9]（2015）在《Fe、Ni金属单质与Fe-Ni金属纳米多层膜的辐照损伤机理研究》一文中研究指出金属材料等在核电站反应堆内的高温、高压、辐照、腐蚀等极端恶劣环境下工作,极易引起材料辐照脆化,肿胀,蠕变等宏观性能变化,导致机械性能下降而材料失效。研发安全性更高的新型材料、探索材料的辐照损伤机理是我国先进核能技术发展道路上亟待解决的重要课题。本文针对Fe、Ni单质金属材料和Fe-Ni金属纳米多层膜材料,利用分子动力学计算方法,开展了晶格取向、界面构型、PKA入射能量等因素对材料辐照损伤的作用机理研究。主要研究内容及结论如下:1)建立不同晶格取向的Fe、Ni单质金属模型,模拟材料在100 K温度、1-10 ke V辐照PKA能量下的缺陷演化行为。研究结果表明,级联碰撞过程中材料缺陷经历急速上升,达到峰值,继而缓慢下降直到最终稳定的过程;随PKA能量增加,缺陷峰值、最终稳定值都上升,并且达到缺陷峰值和最终稳定值的过程时间也延长,这表明辐照PKA能量的增加加剧了材料辐照损伤;不同晶格取向的Fe单质或Ni单质受相同PKA能量辐照时,最终稳定缺陷数目相近,表明晶格取向对材料的辐照损伤影响不明显;比较Fe、Ni两种单质辐照后缺陷数,发现Ni的原子离位阈值比Fe原子高,相同能量下Ni原子离位概率小,因此在相同PKA能量辐照下,Fe单质的辐照损伤较Ni单质严重。2)建立不同界面构型的Fe-Ni金属纳米多层膜模型,分别模拟了KS、NW、Bain、Pistch四种界面构型的金属纳米多层膜材料,在100 K温度、1-10 ke V辐照PKA能量下的界面损伤及界面两侧块体中的缺陷演化行为。研究结果表明,相同辐照条件下,四种界面构型金属纳米多层膜块体中缺陷数均比Fe、Ni单质少,表明金属纳米多层膜材料具有良好的耐辐照能力;此多层膜材料的四种界面受辐照后均会产生不同程度的损伤,其中NW界面原子排列紧密、界面损伤较小,但不同界面两侧块体中缺陷数目与界面构型并无关联关系。本文研究了不同晶格取向的Fe、Ni单质金属材料和不同界面构型的Fe-Ni金属纳米多层膜材料的辐照损伤机理。研究结果将有助于提升我国核电工程耐辐照材料的研发水平,为发展含铁型金属纳米多层膜材料奠定理论基础。(本文来源于《南京航空航天大学》期刊2015-03-01）
周青,王飞,谢继阳,李益,黄平[10]（2015）在《Cu/Ru金属纳米多层膜剪切带行为的研究》一文中研究指出采用磁控溅射方法制备了调制周期为3~200nm的Cu/Ru金属纳米多层膜。在通过X线衍射(XRD)和透射电子显微镜(TEM)对多层膜微结构结构进行系统表征的基础上,采用纳米压痕仪和扫描电子显微镜(SEM)研究了不同调制周期下Cu/Ru多层膜的压痕形貌。实验结果表明,调制周期大于8nm时,Cu/Ru多层膜的压痕尖端形成径向裂纹,而在调制周期小于8nm时,Cu/Ru多层膜的压痕周围出现外围剪切带。结合微结构表征,从界面结构演化的角度对实验结果进行了分析讨论。随着调制周期的减小,多层膜界面结构演化成共格界面,从而为位错的滑移提供条件,产生剪切带的同时抑制了裂纹的产生。(本文来源于《中国科技论文》期刊2015年04期）
纳米金属多层膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
金属纳米多层膜的热稳定性是决定多层膜在高温环境下服役性能的关键。本文在界面运动理论的基础上,从多层膜的结构特点出发,对影响多层膜热稳定性的主要因素进行了分析,并提出获得高热稳定的多层膜结构模型特点。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
纳米金属多层膜论文参考文献
[1].马玉洁.纳米金属多层膜的热稳定性研究[D].南京大学.2019
[2].崔忠国,魏明真.金属纳米多层膜热稳定性的研究[J].中国金属通报.2018
[3].孙军,张金钰,吴凯,刘刚.Cu系纳米金属多层膜微柱体的形变与损伤及其尺寸效应[J].金属学报.2016
[4].张金钰,刘刚,孙军.纳米金属多层膜的强韧化及其尺寸效应[J].中国材料进展.2016
[5].何丽忠.金属多层纳米线的控制合成及其性能研究[D].西南大学.2016
[6].陈飞达.新型铬/钨纳米金属多层膜复合材料的辐照损伤研究[D].南京航空航天大学.2016
[7].朱生发,吴艳萍,刘天伟,唐凯,魏强.金属铀表面纳米多层膜的结构与腐蚀性能[C].第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议论文（摘要）集.2015
[8].张金钰,刘刚,孙军.纳米金属多层膜微柱体变形损伤行为的尺寸与界面调控[C].中国力学大会-2015论文摘要集.2015
[9].杨雅慧.Fe、Ni金属单质与Fe-Ni金属纳米多层膜的辐照损伤机理研究[D].南京航空航天大学.2015
[10].周青,王飞,谢继阳,李益,黄平.Cu/Ru金属纳米多层膜剪切带行为的研究[J].中国科技论文.2015