导读:本文包含了实时掩模论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:物理光学,光刻胶光栅,光栅波导,占宽比
实时掩模论文文献综述
林华,李立峰,曾理江[1]（2006）在《利用导波耦合角度实时控制光刻胶光栅掩模的占宽比》一文中研究指出研究一种控制多层介质膜上的光刻胶光栅掩模占宽比(线宽与周期之比)的新方法。该方法基于下面的原理:如果某泄漏模在包层中的隐失尾较强,那么它的等效折射率受光刻胶光栅占宽比变化的影响就大,从而可以利用耦合角度来实时控制光栅占宽比。在光栅制作的显影阶段,采用实时监测技术,根据耦合角度和占宽比之间的关系预设入射光角度,在出现共振反常的时刻停止显影来控制占宽比。实验结果表明,固定适当的入射角度可以得到特定的占宽比;改变入射角度,占宽比按照预计的规律变化,因此定性地验证了这种占宽比控制方法的可行性。文中给出了监控装置和具体的实验方法,并讨论了误差来源和影响。(本文来源于《光学学报》期刊2006年05期）
肖建平,邹雪城,刘政林,郭旭[2]（2006）在《基于非锐化掩模的实时自适应图像增强算法》一文中研究指出针对传统的非锐化掩模算法的局限性,依据图像中各像素点及以其为中心的若干相邻像素点的均方差值,提出了自适应图像增强算法的原理,并分析其硬件实现方法,然后给出了该算法与其它算法应用于图像增强的对比结果,最后在FPGA(fieldprogrammablegatearray)实验板上进行验证。实验结果表明,此算法有效的增强图像的细节区域,防止图像边缘区域出现过冲现象,抑制图像平坦区域的噪声放大。因此,该算法取得了良好的视觉效果,硬件实现简单,适合于实时条件下图像的增强。(本文来源于《微电子学与计算机》期刊2006年05期）
王旭智[3]（2003）在《制作任意形状微结构的LCD实时掩模技术》一文中研究指出本文介绍了一种利用液晶显示 (LCD)实时掩模制作任意形状微结构的新技术 ,并且阐述了该技术的原理和设计方法。基于部分相干成像理论 ,仿真了制造微轴锥体和锯齿形光栅的过程。在实验中使用彩色LCD作为实时掩模 ,成功地用LCD实时掩模技术制作出微轴锥体和锯齿形光栅。实验中采用胰蛋白酶刻蚀技术将叁维外形结构刻蚀在全彩色的感光银盐明胶片上 ,所得到的锯齿形光栅的节距为 4 6 .2 6 μm ,刻蚀深度为 0 .90 2 μm ;轴锥体的直径为 118.7μm ,蚀刻深度为 1.332 μm。(本文来源于《光机电信息》期刊2003年06期）
岑剑常,张坤明,赵端程,李介眉,李绍泉[4]（1985）在《检查集成电路光刻掩模的实时白光信息处理系统》一文中研究指出本文介绍一种用空间滤波检查集成电路光刻掩模的实时白光信息处理系统.采用该系统作检查比传统的镜检法或相干光学处理技术更为简便,且效果显着.借助这种技术能明显地察觉到掩模里的黑点、针孔、刻痕、电路损缺、短路或断路等微小缺陷.(本文来源于《华南师范大学学报(自然科学版)》期刊1985年01期）
实时掩模论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对传统的非锐化掩模算法的局限性,依据图像中各像素点及以其为中心的若干相邻像素点的均方差值,提出了自适应图像增强算法的原理,并分析其硬件实现方法,然后给出了该算法与其它算法应用于图像增强的对比结果,最后在FPGA(fieldprogrammablegatearray)实验板上进行验证。实验结果表明,此算法有效的增强图像的细节区域,防止图像边缘区域出现过冲现象,抑制图像平坦区域的噪声放大。因此,该算法取得了良好的视觉效果,硬件实现简单,适合于实时条件下图像的增强。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
实时掩模论文参考文献
[1].林华,李立峰,曾理江.利用导波耦合角度实时控制光刻胶光栅掩模的占宽比[J].光学学报.2006
[2].肖建平,邹雪城,刘政林,郭旭.基于非锐化掩模的实时自适应图像增强算法[J].微电子学与计算机.2006
[3].王旭智.制作任意形状微结构的LCD实时掩模技术[J].光机电信息.2003
[4].岑剑常,张坤明,赵端程,李介眉,李绍泉.检查集成电路光刻掩模的实时白光信息处理系统[J].华南师范大学学报(自然科学版).1985