导读:本文包含了多层膜光栅论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:计量学,多层膜光栅,成像对比度,表面特性
多层膜光栅论文文献综述
张龙飞,王星睿,邓晓,程鑫彬[1]（2018）在《表面和亚表面特性对多层膜光栅成像对比度的影响》一文中研究指出基于Si/Si O2材料对制备出名义节距为50 nm的多层膜光栅,重点分析了多层膜光栅研磨抛光过程中的亚表面损伤和湿法刻蚀均匀性问题。并利用原子力显微镜(AFM)和透射电子显微镜(TEM)对多层膜的截面粗糙度和刻蚀光栅结果进行了测量和分析。测量结果显示:多层膜光栅制备过程中的截面粗糙度降低和刻蚀均匀性的提高,有助于TEM测量获得均一的高成像对比度多层膜光栅图像。(本文来源于《计量学报》期刊2018年03期）
虞健[2]（2017）在《用于蓝绿波段激光器选频的多层介质膜光栅设计与制备》一文中研究指出光栅是一种激光器常用的选频元件。一般常见的激光选频光栅为金属光栅,由于金属的本征吸收,此种光栅损伤阈值较低,难以满足高功率激光器需求。介质材料的本征吸收几乎为零,损伤阈值较高,为此提出采用多层介质膜光栅取代金属光栅进行激光选频。本文开展的蓝绿光波段多层介质膜光栅设计和研制工作,对提高基于光栅选频激光器的输出功率具有重要意义。本论文主要研究工作如下:(1)基于严格耦合波理论开展多层介质膜光栅衍射效率计算,给出了衍射效率计算相关公式;(2)编写光栅衍射效率计算机程序,实现对多层介质膜光栅的微结构参数优化设计的功能;(3)研究不同空频和膜层材料下,光栅占空比、槽深和剩余厚度等参数对-1级反射衍射效率的影响。对空频1740line/mm多层介质膜光栅开展深入研究,膜层材料采用HfO_2/SiO_2,研究匹配层对衍射效率和带宽的影响,分别分析了一层和两层匹配层对衍射效率和带宽的提升。通过引入两层匹配层,可以在450nm-510nm光谱范围内,得到光栅的衍射效率大于97%,带宽60nm的最优解。开展光栅制作工艺容差分析,以453nm-493nm波段各波长的衍射效率大于95%为评价函数,搜索最佳顶层膜层厚度,确定用于制作的多层介质膜各膜层的厚度和光栅槽形参数;(4)开展多层介质膜光栅工艺制作实验研究。首先在光学基板镀制多层介质膜,然后采用全息光刻技术制作光刻胶光栅掩模,最后利用离子束刻蚀技术将光刻胶掩模转移到多层介质膜上,完成1740line/mm层介质膜光栅的制作。实验分别制作了叁种不同槽深的光栅,利用超连续激光器来测量光栅的衍射效率。测试结果表明,采用Littrow角入射,光栅槽深为360nm的情况下,453nm-493nm波段范围内,-1级衍射效率均大于93%;在中心波长473nm处,-1级衍射效率大于95%。理论设计得到了实验验证。(本文来源于《苏州大学》期刊2017-05-01）
吴真,钟哲强,杨磊,张彬[3]（2016）在《基于多层介质膜光栅的谱合成系统光束特性分析》一文中研究指出针对多层介质膜光栅在光束谱合成系统中的应用,利用光线追迹方法,建立了基于多层介质膜光栅的谱合成系统光传输模型.多层介质膜光栅引入的相位调制包括浮雕表面上光程差与浮雕结构光程差两部分,且受到光栅槽深、占空比和光束入射角等因素的影响.利用衍射积分方法和光束非相干迭加原理,计算模拟了基于多层介质膜光栅的谱合成系统的合成光束光强分布.在此基础上,利用强度二阶矩方法分析了合成光束的光束质量,并讨论了多层介质膜光栅的槽深、占空比和制作误差等因素对合成光束特性的影响.结果表明:改变多层介质膜光栅的槽深和占空比以及中心光束入射角会影响合成光束能量,但不会影响合成光束的光束质量,合成光束的光束质量始终保持与单个子光束的光束质量相当;多层介质膜光栅的制作误差对合成光束的光束质量和能量均存在明显影响.(本文来源于《物理学报》期刊2016年05期）
赵阳,程鑫彬,李同保[4]（2015）在《多层膜光栅传递标准样品的抛光技术研究》一文中研究指出多层膜光栅传递标准是计量和表征纳米尺度器件线宽小于50nm的有效工具,光栅样品的制备主要包括镀膜、切割、胶合、抛光和选择性刻蚀。抛光技术对于光栅样品截面的粗糙度有着较大的影响,而粗糙度是影响多层膜光栅能否作为传递标准的一个重要因素。采用不同的抛光方式,利用原子力显微镜(AFM)对其截面进行表征,通过优化抛光技术不断降低截面的粗糙度,制备出了粗糙度小于1nm的样品。(本文来源于《上海市激光学会2015年学术年会论文集》期刊2015-12-16）
周小为,刘颖,徐向东,邱克强,刘正坤[5]（2012）在《大口径多层介质膜光栅衍射效率测量及其在制作工艺中的应用》一文中研究指出多层介质膜光栅是高功率激光系统的关键光学元件.为了满足国内强激光系统的迫切需求,在大口径多层介质膜光栅的研制过程中,建立了单波长自准直条件下的衍射效率测量方法及其误差分析.结果表明误差主要由探测器的噪声和测试人员的差异产生,对衍射效率测试精度的影响是±1%.在此基础上,将光栅衍射效率及其分布测量技术应用于光栅制作工艺中,作为大口径光栅无损检测的一种手段,如判断光栅掩模是否能进行离子束刻蚀、离子束刻蚀的在线监测和是否需要再刻蚀,从而实现对大口径多层介质膜光栅离子束刻蚀过程的定量、科学控制,提高了离子束刻蚀光栅制作工艺的成功率.利用上述技术,已成功研制出多块最大尺寸为430 mm×350 mm、线密度1740线/mm、平均衍射效率大于95%的多层介质膜光栅.实验结果表明,该方法操作简单、测量快速准确,不必检测光栅微结构.为大口径多层介质膜光栅研制的无损检测工程化奠定了基础.(本文来源于《物理学报》期刊2012年17期）
李慧,闫连山,潘炜,罗斌,温坤华[6]（2012）在《多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性》一文中研究指出结合等离子金属光栅原理和多层膜理论,提出一种金属-介质-金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分(FDTD)法对该多层结构的聚焦特性进行模拟仿真,得到多层结构的聚焦特性随金属-介质膜层数和凹槽数目的变化特性。结果表明,通过控制金属-介质层层数或者凹槽数目,焦距明显改善,焦距可达9.15μm,最大焦深约为26.38μm,相对于传统金属光栅,聚焦效应得到了明显增强。(本文来源于《激光与光电子学进展》期刊2012年01期）
高鹏鹏,晋云霞,刘世杰,汪剑鹏,陈顺利[7]（2011）在《多层介质膜光栅激光预处理(英文)》一文中研究指出在N-on-1测试模式下研究了多层介质膜光栅的激光预处理效应。实验发现,激光预处理之后多层介质光栅膜的阈值能提高到处理前阈值的1.5～2.0倍。预处理机制可能是低能量密度激光辐照减少了光栅表面的污染物并降低了光栅表面的粗糙度。激光预处理可以作为优化光栅结构、酸洗等一系列提高多层介质膜光栅阈值方法的一个补充。(本文来源于《强激光与粒子束》期刊2011年10期）
李慧[8]（2011）在《多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性》一文中研究指出本文结合等离子金属光栅和多层膜理论原理,提出一种金属-介质-金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分法(FDTD)对该多层结构的聚焦特性进行模拟仿真,得到多层结构的聚焦特性随金属-介质膜层数的改变规律。结果表明,通过增加金属-介质层层数,焦长线性增加,焦深最大为～9.7μm,相对于传统金属光栅,聚焦效应得到了明显的提高。(本文来源于《中国光学学会2011年学术大会摘要集》期刊2011-09-05）
张立超[9]（2011）在《极紫外多层膜光栅技术研究进展》一文中研究指出极紫外多层膜光栅是一种人造二维周期性结构,它将横向结构上的光栅衍射与深度结构上的多层膜布拉格衍射相结合,使得在极紫外波段采用非掠入射、高衍射效率、高光谱分辨率的分光元件成为可能,在天文学、物理学、材料科学等领域具有广阔的应用前景。介绍了极紫外多层膜光栅的应用;从光栅衬底制备与多层膜沉积两方面对多层膜光栅制备技术的研究进展进行了分析;并从实际应用角度出发,对未来多层膜光栅技术研究的发展趋势作了展望。(本文来源于《光机电信息》期刊2011年08期）
张立超[10]（2011）在《多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究》一文中研究指出衍射效率的高低是衡量极紫外多层膜光栅的最重要指标。为实现高衍射效率,必须发展合适的多层膜沉积方法,以确保在镀膜过程中光栅衬底的槽形不发生变化。针对极紫外波段所采用的矩形光栅衬底,对其镀膜过程中的槽形变化进行了考察。结果表明,多层膜周期数对保持光栅槽形至关重要。对于槽深在2～5nm的极浅槽深矩形光栅,为确保光栅槽形不发生变化,必须选择合适的多层膜周期数。按照这一原则制备的多层膜矩形光栅,在14.65nm处-1级衍射效率实测结果为22.1%,超过了国内外同类实验结果的最高报道值。(本文来源于《光机电信息》期刊2011年07期）
多层膜光栅论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
光栅是一种激光器常用的选频元件。一般常见的激光选频光栅为金属光栅,由于金属的本征吸收,此种光栅损伤阈值较低,难以满足高功率激光器需求。介质材料的本征吸收几乎为零,损伤阈值较高,为此提出采用多层介质膜光栅取代金属光栅进行激光选频。本文开展的蓝绿光波段多层介质膜光栅设计和研制工作,对提高基于光栅选频激光器的输出功率具有重要意义。本论文主要研究工作如下:(1)基于严格耦合波理论开展多层介质膜光栅衍射效率计算,给出了衍射效率计算相关公式;(2)编写光栅衍射效率计算机程序,实现对多层介质膜光栅的微结构参数优化设计的功能;(3)研究不同空频和膜层材料下,光栅占空比、槽深和剩余厚度等参数对-1级反射衍射效率的影响。对空频1740line/mm多层介质膜光栅开展深入研究,膜层材料采用HfO_2/SiO_2,研究匹配层对衍射效率和带宽的影响,分别分析了一层和两层匹配层对衍射效率和带宽的提升。通过引入两层匹配层,可以在450nm-510nm光谱范围内,得到光栅的衍射效率大于97%,带宽60nm的最优解。开展光栅制作工艺容差分析,以453nm-493nm波段各波长的衍射效率大于95%为评价函数,搜索最佳顶层膜层厚度,确定用于制作的多层介质膜各膜层的厚度和光栅槽形参数;(4)开展多层介质膜光栅工艺制作实验研究。首先在光学基板镀制多层介质膜,然后采用全息光刻技术制作光刻胶光栅掩模,最后利用离子束刻蚀技术将光刻胶掩模转移到多层介质膜上,完成1740line/mm层介质膜光栅的制作。实验分别制作了叁种不同槽深的光栅,利用超连续激光器来测量光栅的衍射效率。测试结果表明,采用Littrow角入射,光栅槽深为360nm的情况下,453nm-493nm波段范围内,-1级衍射效率均大于93%;在中心波长473nm处,-1级衍射效率大于95%。理论设计得到了实验验证。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
多层膜光栅论文参考文献
[1].张龙飞,王星睿,邓晓,程鑫彬.表面和亚表面特性对多层膜光栅成像对比度的影响[J].计量学报.2018
[2].虞健.用于蓝绿波段激光器选频的多层介质膜光栅设计与制备[D].苏州大学.2017
[3].吴真,钟哲强,杨磊,张彬.基于多层介质膜光栅的谱合成系统光束特性分析[J].物理学报.2016
[4].赵阳,程鑫彬,李同保.多层膜光栅传递标准样品的抛光技术研究[C].上海市激光学会2015年学术年会论文集.2015
[5].周小为,刘颖,徐向东,邱克强,刘正坤.大口径多层介质膜光栅衍射效率测量及其在制作工艺中的应用[J].物理学报.2012
[6].李慧,闫连山,潘炜,罗斌,温坤华.多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性[J].激光与光电子学进展.2012
[7].高鹏鹏,晋云霞,刘世杰,汪剑鹏,陈顺利.多层介质膜光栅激光预处理(英文)[J].强激光与粒子束.2011
[8].李慧.多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性[C].中国光学学会2011年学术大会摘要集.2011
[9].张立超.极紫外多层膜光栅技术研究进展[J].光机电信息.2011
[10].张立超.多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究[J].光机电信息.2011