导读:本文包含了干涉条纹控制论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:大尺寸衍射光栅,扫描干涉光刻,周期测量,平移台位姿校正
干涉条纹控制论文文献综述
邱巨成[1]（2016）在《光栅光刻机干涉条纹周期和波前的测量与控制研究》一文中研究指出衍射光栅是一种重要的光学器件,在许多研究领域和工程项目中都有着广泛的应用,在这其中对大尺寸衍射光栅的需求更为迫切。扫描干涉光刻凭借其高精度、高效率和灵活性等众多优点,成为制造大尺寸衍射光栅的一种重要技术手段。扫描干涉光刻技术的主要难点在于如何对干涉场中干涉条纹进行精准重迭扫描和曝光拼接,制作出曝光均匀、对比度高和位相线性良好的衍射光栅。为了在扫描干涉光刻中实现精确的曝光拼接,本文主要做了以下工作：第一曝光时需要在相邻的一组干涉条纹间做重迭扫描,从而将小尺寸的干涉条纹记录在大面积的基板上。理想情况下工作平台在沿垂直于干涉条纹方向的步进运动中步长应该是干涉条纹周期的整数倍,因此需要精确测量出干涉条纹周期数值。本文采用类似周期计数法的方法精确测量出干涉条纹周期数值,测量精度在10pm量级；第二,鉴于单个平移台位移精度有限,在实验中搭建了基于双平移台的H型工作平台,通过附加位姿校正方法获得高位移精度。这里提出了基于二次多项式拟合的双平移台位姿校正方法用于提高双平移台位移精度,在以100个干涉条纹周期为步长的步进运动中,定位精度可达±l0nm,偏航Yaw可以控制在±0.073μxad以内,为光栅刻写提供了良好的位移精度；第叁,系统中使用两束高斯光束干涉产生的干涉条纹不是严格的平行等距直线,经过扫描平均后残留的位相非线性误差会直接反映在刻写光栅的栅线上,导致刻线误差。因此本文使用相移干涉法对干涉场波前进行测量,计算了干涉条纹位相非线性误差,波前的PV值为0.05λ。干涉场干涉条纹周期测量、工作平台的位姿校正以及干涉场波前测量是扫描干涉光刻的核心部分,本文的研究内容对搭建实际光刻系统起到积极推动作用。(本文来源于《浙江大学》期刊2016-03-01）
金志德[2]（2010）在《多光束干涉条纹控制技术的研究》一文中研究指出随着空间探测技术的发展,对深空目标例如航天器、人造卫星、空间碎片的成像显得尤为重要,在可见光与红外波段的高分辨成像技术成为了研究的焦点。傅里叶望远术作为一种高分辨率的主动成像技术,对远距离的暗淡空间目标成像的角分辨率可达到纳弧度量级。傅里叶望远术目前还处在实验验证阶段,首先需要在实验室里验证原理的可行性,然后扩展到外场试验。在实验系统中,需要快速的获取多组直线干涉条纹来重构目标的图像。本文针对上述问题,在叁光束傅里叶望远术成像的实验系统中,通过干涉条纹控制系统来精确的控制两平行光束的角度,以获取大量的直线干涉条纹图样,实现干涉条纹对目标的二维扫描,为提取目标的空间频谱提供前提条件。本文的工作主要有:1.阐述傅里叶望远术成像的基本原理,并且还对其关键技术作具体分析,包括:天线结构理论、相位闭合算法和光束频率设定原则。2.对傅里叶望远术的实验室成像系统进行分析:包括实验系统方案,实验的具体光路、信号处理部分以及系统的综合控制。3.探讨了干涉条纹控制和多光斑中心检测的方法。根据CCD显示的光斑位置,控制两平行光束的夹角来改变干涉条纹,利用激光光斑检测算法提取光斑的中心坐标,并标定干涉条纹的空间频率。4.设计并实现干涉条纹控制系统。利用虚拟仪器软件LabVIEW设计并开发电动位移台系统和CCD相机的应用程序,通过应用程序来实现对系统自动控制。在完成实验系统调节和测试工作后,按照光束的扫描方案实现干涉条纹的二维扫描,并测定干涉条纹的空间频率的大小和方向。(本文来源于《电子科技大学》期刊2010-04-01）
高亮,林华,曾理江[3]（2004）在《用于增强干涉条纹稳定性的反馈控制系统》一文中研究指出介绍了一种用于对干涉系统进行闭环控制的反馈系统,对该系统的工作原理和使用方法进行了详细的介绍。并且在麦克尔逊干涉仪中对该反馈系统进行了实验,得到了满意的结果,证明了该反馈系统的有效性。(本文来源于《光学与光电技术》期刊2004年01期）
方家美[4]（2003）在《图像处理在干涉条纹自适应控制中的应用》一文中研究指出本文论述了图像处理在干涉条纹自适应控制中的应用。和已有的机电反馈控制方法、半导体激光器反馈控制方法、光学双稳装置控制方法相比，电路较为简单，而且，简单地调节光学系统使干涉条纹宽度对应的象素数增大，即可提高系统的控制精度。 针对面阵CCD和线阵CCD的不同实现，给出了不同的处理方法。对于面阵CCD，提出了基于图像处理、傅里叶变换以及条纹亮度分布计算条纹漂移量叁种方法。基于图像处理计算干涉条纹漂移量，目的是抽取干涉条纹的骨架，通过条纹骨架的定位实现对条纹的定位，重点讨论了条纹图像的二值化、膨胀和细化；基于傅里叶变换计算干涉条纹的漂移量，是基于条纹不同位置处的相位不同这一事实，重点讨论了干涉条纹信号的提取和干涉条纹相位去包裹算法；基于条纹亮度分布计算条纹漂移量，是根据条纹自身亮度分布的特点对条纹进行定位。对于线阵CCD，同样是根据条纹自身亮度分布的特点对条纹进行定位，由于噪声较大，在对条纹进行定位时，采取了对条纹数据局部拟合的方法。每一部分都给出了实验的结果。由于图像计算比较耗时，最后给出了利用线阵CCD计算的结果。 实验表明利用上面的方法对条纹数据进行处理，然后给出控制信号，能够较好地控制干涉条纹，使条纹保持相对稳定。(本文来源于《中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）》期刊2003-06-30）
杨庆芬[5]（1994）在《干涉条纹可逆计数的控制信号处理》一文中研究指出干涉条纹可逆计数的控制信号处理杨庆芬（石家庄铁道学院基础部０５００４３）《物理实验》１９９２年第２期刊发了许祖华等同志“干涉条纹可逆计数系统”．文中利用计算机处理双光纤束装置的输出信号，做成了干涉条纹可逆计数系统，解决了一般光电接收器只记录条纹的数量...(本文来源于《物理实验》期刊1994年04期）
郁道银,杜吉,刘锡久[6]（1992）在《利用单模光纤实现干涉条纹实时控制》一文中研究指出本文利用单模光纤输出端的微小位移实现了全息干涉条纹的实时控制。解决了利用全息干涉测量法测量物体变化时,由于刚体变形过大使全息干涉条纹判读困难等问题。(本文来源于《光电子·激光》期刊1992年05期）
孙俊勇,马晶,姜铃珍,洪晶,耿完桢[7]（1989）在《激光全息无损检测中系统干涉条纹的控制》一文中研究指出本文通过实验和理论分析,提出了一种在激光全息无损检测中控制系统干涉条纹的有效方法.(本文来源于《中国激光》期刊1989年09期）
干涉条纹控制论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
随着空间探测技术的发展,对深空目标例如航天器、人造卫星、空间碎片的成像显得尤为重要,在可见光与红外波段的高分辨成像技术成为了研究的焦点。傅里叶望远术作为一种高分辨率的主动成像技术,对远距离的暗淡空间目标成像的角分辨率可达到纳弧度量级。傅里叶望远术目前还处在实验验证阶段,首先需要在实验室里验证原理的可行性,然后扩展到外场试验。在实验系统中,需要快速的获取多组直线干涉条纹来重构目标的图像。本文针对上述问题,在叁光束傅里叶望远术成像的实验系统中,通过干涉条纹控制系统来精确的控制两平行光束的角度,以获取大量的直线干涉条纹图样,实现干涉条纹对目标的二维扫描,为提取目标的空间频谱提供前提条件。本文的工作主要有:1.阐述傅里叶望远术成像的基本原理,并且还对其关键技术作具体分析,包括:天线结构理论、相位闭合算法和光束频率设定原则。2.对傅里叶望远术的实验室成像系统进行分析:包括实验系统方案,实验的具体光路、信号处理部分以及系统的综合控制。3.探讨了干涉条纹控制和多光斑中心检测的方法。根据CCD显示的光斑位置,控制两平行光束的夹角来改变干涉条纹,利用激光光斑检测算法提取光斑的中心坐标,并标定干涉条纹的空间频率。4.设计并实现干涉条纹控制系统。利用虚拟仪器软件LabVIEW设计并开发电动位移台系统和CCD相机的应用程序,通过应用程序来实现对系统自动控制。在完成实验系统调节和测试工作后,按照光束的扫描方案实现干涉条纹的二维扫描,并测定干涉条纹的空间频率的大小和方向。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
干涉条纹控制论文参考文献
[1].邱巨成.光栅光刻机干涉条纹周期和波前的测量与控制研究[D].浙江大学.2016
[2].金志德.多光束干涉条纹控制技术的研究[D].电子科技大学.2010
[3].高亮,林华,曾理江.用于增强干涉条纹稳定性的反馈控制系统[J].光学与光电技术.2004
[4].方家美.图像处理在干涉条纹自适应控制中的应用[D].中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）.2003
[5].杨庆芬.干涉条纹可逆计数的控制信号处理[J].物理实验.1994
[6].郁道银,杜吉,刘锡久.利用单模光纤实现干涉条纹实时控制[J].光电子·激光.1992
[7].孙俊勇,马晶,姜铃珍,洪晶,耿完桢.激光全息无损检测中系统干涉条纹的控制[J].中国激光.1989