导读:本文包含了朗谬尔探针诊断论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:微波等离子体,Langmuir探针,诊断,采集卡
朗谬尔探针诊断论文文献综述
唐亮[1]（2011）在《基于LabVIEW的朗谬探针诊断系统的研制及应用》一文中研究指出近年来,低温等离子体技术在工业中得到了广泛的应用,而其中微波放电等离子体技术也越来越受到人们的关注,如何对等离子体参数进行有效的控制,在实际应用中具有了越来越重要的作用。控制等离子体参数的重要前提就是能够准确的获得等离子体的各项参数。在众多的等离子体诊断手段中,Langmuir探针以其结构简单、操作方便、适用范围广、获得信息量丰富等特点,成为了低温等离子体诊断领域中一项重要的分析工具。以往实验室所采用的Langmuir探针诊断系统,以手动的方式进行测量,不仅速度慢、可控性差,而且精度低、抗干扰能力不强。因此,需要设计一种快速、准确、抗干扰能力强的自动化诊断系统,用以提高实验室的诊断效率。本文介绍了一种自行设计的应用于微波放电等离子体的自动化Langmuir探针诊断系统,该诊断装置主要由Langmuir探针、硬件电路和软件程序组成。其中硬件电路以采集卡为核心,包括扫描电源输出部分和电压电流检测部分;软件程序采用LabVIEW软件编程,包括数据采集控制程序和数据分析程序两部分。本文对硬件部分的工作原理和软件部分的编程思路都进行了详细的介绍。本文所介绍的自动化Langmuir探针诊断系统已经能够运用于实际的实验测量中,用于测量实验室的微波放电大面积表面波等离子体,取得了较为满意的实验结果。本文将就实验操作的各个部分进行详细的介绍,分别介绍每一步所能获得的实验数据。为了分析各项可控参数对等离子体参数的影响,我们改变实验条件,进行多组数据测量后获取等离子体参数,对获得的实验结果相互比较,予以分析和总结。(本文来源于《华中科技大学》期刊2011-01-01）
蓝加平,孙奉娄[2]（2008）在《朗谬尔探针诊断直流脉冲等离子体》一文中研究指出采用朗谬尔双探针对工作频率为1 kHz、占空比为15%的直流脉冲等离子体在气体分别为空气、氨气和氩气,脉冲电压为600 V,压强为109 Pa条件下进行了诊断,得到了电子密度、电子温度在一个脉冲周期内随时间变化的情况.在采用空气放电时测量了辐射光强在一个脉冲周期内的变化情况.并对脉冲激励下的等离子体内参数的响应特殊现象进行了讨论.(本文来源于《中南民族大学学报(自然科学版)》期刊2008年02期）
吴振宇,汪家友,杨银堂[3]（2004）在《电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断》一文中研究指出电子回旋共振 (ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用。利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊断研究 ,测量了等离子体的单探针伏安特性并计算出电子温度 ,电子密度和等离子体电势等参量。实验证明 ,ECR等离子体源能够稳定地产生电子温度较低的高密度等离子体。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2004年01期）
朱晓东,温晓辉,周海洋,詹如娟[4]（2001）在《等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中光发射谱和朗谬尔探针原位诊断》一文中研究指出报道了利用光发射谱 (OES)和朗谬尔探针对热阴极直流放电等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的等离子体条件进行原位研究的部分结果 ,研究了几种过程参数变化中等离子体状态 ,并与金刚石膜的沉积相联系。当CH4 浓度变化时 ,CH基团的发射强度和电子密度ne 的变化表现出相似趋势 ,均出现一极大值。而在高CH4 浓度 ,C2 的发射出现。在气压变化过程中 ,CH的发射强度和ne 均随气压的升高而下降 ,C2 的发射强度变化不大。用OES和朗谬尔探针测量的电子温度Te 所显示的结果是一致的。在这些过程中 ,电子碰撞应该是CH发射的主要机制 ,C2 的发射应该来源于化学发光或热激发(本文来源于《真空科学与技术》期刊2001年01期）
程仲元,邹积岩,杨磊,张汉明[5]（1996）在《朗谬尔探针用于VAC等离子体诊断的初步研究》一文中研究指出简要分析了朗谬尔（Ｌａｎｇｍｕｉｒ）探针用于真空电弧镀膜（ＶＡＣ）等离子体诊断的可行性及理论适用性问题．介绍了一种可用于ＶＡＣ等离子体在线监测的探针诊断系统，并利用此系统分析了不同工艺参数下等离子体参数的变化．(本文来源于《应用科学学报》期刊1996年04期）
朗谬尔探针诊断论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用朗谬尔双探针对工作频率为1 kHz、占空比为15%的直流脉冲等离子体在气体分别为空气、氨气和氩气,脉冲电压为600 V,压强为109 Pa条件下进行了诊断,得到了电子密度、电子温度在一个脉冲周期内随时间变化的情况.在采用空气放电时测量了辐射光强在一个脉冲周期内的变化情况.并对脉冲激励下的等离子体内参数的响应特殊现象进行了讨论.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
朗谬尔探针诊断论文参考文献
[1].唐亮.基于LabVIEW的朗谬探针诊断系统的研制及应用[D].华中科技大学.2011
[2].蓝加平,孙奉娄.朗谬尔探针诊断直流脉冲等离子体[J].中南民族大学学报(自然科学版).2008
[3].吴振宇,汪家友,杨银堂.电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断[J].真空科学与技术学报.2004
[4].朱晓东,温晓辉,周海洋,詹如娟.等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中光发射谱和朗谬尔探针原位诊断[J].真空科学与技术.2001
[5].程仲元,邹积岩,杨磊,张汉明.朗谬尔探针用于VAC等离子体诊断的初步研究[J].应用科学学报.1996
标签：微波等离子体; Langmuir探针; 诊断; 采集卡;