本文主要研究内容
作者方正,刘顿,翟中生,汪于涛,王丽,郑重,成健（2019）在《飞秒激光通过高倍物镜加工中的全息散焦控制》一文中研究指出：飞秒激光通过高NA值的物镜进行表面微加工时,过短的焦深会影响加工性能。分析了高倍物镜所带校正环对焦点的离散作用,提出了一种利用空间光调制器(SLM)进行全息散焦控制的方法。通过改变衍射轴锥镜(Axicon)计算机生成全息图(CGHs)中环形闪耀光栅的周期,来进行散焦控制以形成长焦深。焦点轴向强度分布以加工于聚酰亚胺薄膜(PI)表面微孔的形式表示,其分布与仿真结果一致。使用0.6 NA的40倍镜进行散焦加工,当环形闪耀光栅最小环周期为200μm,并由内向外以400μm递增时,可获得50.90μm的均匀焦深,是直接使用高倍物镜聚焦进行加工所获得的6.15μm均匀焦深的8.28倍。此外还通过SLM与校正环进行复合散焦加工,进一步均匀化了整个焦深区域。
Abstract
fei miao ji guang tong guo gao NAzhi de wu jing jin hang biao mian wei jia gong shi ,guo duan de jiao shen hui ying xiang jia gong xing neng 。fen xi le gao bei wu jing suo dai jiao zheng huan dui jiao dian de li san zuo yong ,di chu le yi chong li yong kong jian guang diao zhi qi (SLM)jin hang quan xi san jiao kong zhi de fang fa 。tong guo gai bian yan she zhou zhui jing (Axicon)ji suan ji sheng cheng quan xi tu (CGHs)zhong huan xing shan yao guang shan de zhou ji ,lai jin hang san jiao kong zhi yi xing cheng chang jiao shen 。jiao dian zhou xiang jiang du fen bu yi jia gong yu ju xian ya an bao mo (PI)biao mian wei kong de xing shi biao shi ,ji fen bu yu fang zhen jie guo yi zhi 。shi yong 0.6 NAde 40bei jing jin hang san jiao jia gong ,dang huan xing shan yao guang shan zui xiao huan zhou ji wei 200μm,bing you nei xiang wai yi 400μmdi zeng shi ,ke huo de 50.90μmde jun yun jiao shen ,shi zhi jie shi yong gao bei wu jing ju jiao jin hang jia gong suo huo de de 6.15μmjun yun jiao shen de 8.28bei 。ci wai hai tong guo SLMyu jiao zheng huan jin hang fu ge san jiao jia gong ,jin yi bu jun yun hua le zheng ge jiao shen ou yu 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自应用激光的方正,刘顿,翟中生,汪于涛,王丽,郑重,成健，发表于刊物应用激光2019年02期论文，是一篇关于激光打孔论文,长焦深论文,相位全息图论文,空间光调制器论文,应用激光2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自应用激光2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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