宋晓东:200 keV He+辐照改性锐钛矿TiO2薄膜初步研究论文

宋晓东:200 keV He+辐照改性锐钛矿TiO2薄膜初步研究论文

本文主要研究内容

作者宋晓东,徐宇,王佳恒,徐国庆,赵宗方(2019)在《200 keV He+辐照改性锐钛矿TiO2薄膜初步研究》一文中研究指出:为研究锐钛矿TiO2薄膜经200 keV He+辐照改性后的结构、形貌和性能变化,并探索其变化机制,利用多弧离子镀技术制备一批具有统一工艺参数的锐钛矿TiO2薄膜,在室温环境下进行能量为200 keV,注量为1×1016ions/cm2、5×1016ions/cm2和1×1017ions/cm2的He+薄膜辐照实验。结合未辐照样品且经一系列表征可知,XRD、XPS结果显示辐照后薄膜相结构无明显变化,表面部分Ti4+转化为Ti3+,并出现表面吸附O2分子的情况;SEM、TEM、AFM结果显示辐照后表面部分Ti"液滴"因辐照生热过高而熔化,氦泡沿薄膜生长方向分布;经四探针电阻测量仪、紫外-可见分光度仪测量可知,因缺陷引入导致薄膜光吸收性能及电阻率提升;从表面接触角测量仪结果可知,薄膜表面亲水性得到了改善;纳米压痕仪测量结果显示,硬度及弹性模量随辐照先因缺陷、位错等引入而增加,后因氦脆现象而退化。

Abstract

wei yan jiu rui tai kuang TiO2bao mo jing 200 keV He+fu zhao gai xing hou de jie gou 、xing mao he xing neng bian hua ,bing tan suo ji bian hua ji zhi ,li yong duo hu li zi du ji shu zhi bei yi pi ju you tong yi gong yi can shu de rui tai kuang TiO2bao mo ,zai shi wen huan jing xia jin hang neng liang wei 200 keV,zhu liang wei 1×1016ions/cm2、5×1016ions/cm2he 1×1017ions/cm2de He+bao mo fu zhao shi yan 。jie ge wei fu zhao yang pin ju jing yi ji lie biao zheng ke zhi ,XRD、XPSjie guo xian shi fu zhao hou bao mo xiang jie gou mo ming xian bian hua ,biao mian bu fen Ti4+zhuai hua wei Ti3+,bing chu xian biao mian xi fu O2fen zi de qing kuang ;SEM、TEM、AFMjie guo xian shi fu zhao hou biao mian bu fen Ti"ye di "yin fu zhao sheng re guo gao er rong hua ,hai pao yan bao mo sheng chang fang xiang fen bu ;jing si tan zhen dian zu ce liang yi 、zi wai -ke jian fen guang du yi ce liang ke zhi ,yin que xian yin ru dao zhi bao mo guang xi shou xing neng ji dian zu lv di sheng ;cong biao mian jie chu jiao ce liang yi jie guo ke zhi ,bao mo biao mian qin shui xing de dao le gai shan ;na mi ya hen yi ce liang jie guo xian shi ,ying du ji dan xing mo liang sui fu zhao xian yin que xian 、wei cuo deng yin ru er zeng jia ,hou yin hai cui xian xiang er tui hua 。

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自能源与节能的宋晓东,徐宇,王佳恒,徐国庆,赵宗方,发表于刊物能源与节能2019年11期论文,是一篇关于锐钛矿论文,薄膜论文,辐照论文,形貌变化论文,弹性模量论文,能源与节能2019年11期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自能源与节能2019年11期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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