陈仁德:Ag掺杂非晶碳膜结构、力学与电学行为研究论文

陈仁德:Ag掺杂非晶碳膜结构、力学与电学行为研究论文

本文主要研究内容

作者陈仁德,郭鹏,左潇,许世鹏,柯培玲,汪爱英(2019)在《Ag掺杂非晶碳膜结构、力学与电学行为研究》一文中研究指出:采用反应磁控溅射技术,通过改变溅射靶电流实现了不同Ag掺杂含量0.7at%~41.4at%非晶碳膜(a-C:Ag)的可控制备,并系统研究了Ag含量对薄膜组分、结构、机械特性的影响规律,以及薄膜的电学特性。结果表明:当Ag含量在0.7at%~1.2at%时, Ag原子固溶于非晶碳基质;当Ag含量在13.0at%~41.4at%范围,薄膜中出现尺寸约为6nm的Ag纳米晶。随着Ag含量增加,碳网络结构的sp2团簇尺寸增大,结构无序度降低。应力测试表明,在低Ag含量范围, Ag原子固溶于碳膜网络结构中,起到枢纽作用,促进碳网络结构键长、键角畸变弛豫,从而降低薄膜应力。随着Ag含量增加,部分Ag原子将形成Ag纳米晶粒,薄膜通过Ag纳米晶与非晶碳界面处的滑移以及扩散作用释放过高的畸变能降低应力。Ag含量为37.8at%时,在11.6K附近,薄膜出现金属?半导体特性转变。而Ag含量为41.4at%的薄膜,在2~400 K测试温度范围内,均表现为半导体特性,其中在164~400 K范围内,薄膜表现出典型的热激活导电机制。

Abstract

cai yong fan ying ci kong jian she ji shu ,tong guo gai bian jian she ba dian liu shi xian le bu tong Agcan za han liang 0.7at%~41.4at%fei jing tan mo (a-C:Ag)de ke kong zhi bei ,bing ji tong yan jiu le Aghan liang dui bao mo zu fen 、jie gou 、ji xie te xing de ying xiang gui lv ,yi ji bao mo de dian xue te xing 。jie guo biao ming :dang Aghan liang zai 0.7at%~1.2at%shi , Agyuan zi gu rong yu fei jing tan ji zhi ;dang Aghan liang zai 13.0at%~41.4at%fan wei ,bao mo zhong chu xian che cun yao wei 6nmde Agna mi jing 。sui zhao Aghan liang zeng jia ,tan wang lao jie gou de sp2tuan cu che cun zeng da ,jie gou mo xu du jiang di 。ying li ce shi biao ming ,zai di Aghan liang fan wei , Agyuan zi gu rong yu tan mo wang lao jie gou zhong ,qi dao shu niu zuo yong ,cu jin tan wang lao jie gou jian chang 、jian jiao ji bian chi yu ,cong er jiang di bao mo ying li 。sui zhao Aghan liang zeng jia ,bu fen Agyuan zi jiang xing cheng Agna mi jing li ,bao mo tong guo Agna mi jing yu fei jing tan jie mian chu de hua yi yi ji kuo san zuo yong shi fang guo gao de ji bian neng jiang di ying li 。Aghan liang wei 37.8at%shi ,zai 11.6Kfu jin ,bao mo chu xian jin shu ?ban dao ti te xing zhuai bian 。er Aghan liang wei 41.4at%de bao mo ,zai 2~400 Kce shi wen du fan wei nei ,jun biao xian wei ban dao ti te xing ,ji zhong zai 164~400 Kfan wei nei ,bao mo biao xian chu dian xing de re ji huo dao dian ji zhi 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自无机材料学报的陈仁德,郭鹏,左潇,许世鹏,柯培玲,汪爱英,发表于刊物无机材料学报2019年04期论文,是一篇关于非晶碳论文,银掺杂论文,结构表征论文,机械特性论文,电学特性论文,无机材料学报2019年04期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自无机材料学报2019年04期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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