本文主要研究内容
作者张敏,杜鹃（2019）在《磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜》一文中研究指出：通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用。由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的电阻率。
Abstract
tong guo fen xi zhi liu ci kong jian she ji shu di wen zhi bei gao dian dao he gao tou ming de qing can za AZObao mo shi yan ,ming que le jian she ji shu dui yu di wen zhi bei AZObao mo de chong yao zuo yong 。you ci ke yi zheng ming ,yin ru kuo liang qing qi ,you li yu di sheng AZObao mo de dian zu lv 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自中国新技术新产品的张敏,杜鹃，发表于刊物中国新技术新产品2019年05期论文，是一篇关于直流磁控溅射技术论文,低温制备论文,高电导论文,高透明论文,氢掺杂薄膜论文,中国新技术新产品2019年05期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自中国新技术新产品2019年05期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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