本文主要研究内容
作者范丽琴（2019）在《基于神经网络的AZO薄膜制备工艺参数的正交优化设计》一文中研究指出：采用磁控溅射法制备AZO薄膜,研究和讨论了溅射功率、溅射时间和溅射气压3个工艺参数对AZO薄膜光学和电学性能的影响。采用正交优化设计,对3个工艺参数进行优化,测量了透射率和电阻率,以此作为薄膜光电性能的评价指标,通过极差值分析确定了制备薄膜的最佳工艺参数。影响薄膜透射率的最主要因素为溅射气压;影响电阻率的最主要因素为溅射时间。获得制备高透射率低电阻率的AZO薄膜的最佳工艺组合方案为溅射功率为400W、溅射时间为1000s、溅射气压为1.0Pa。将反馈型(BP)神经网络应用于磁控溅射AZO薄膜光学性能(可见光区的平均透射率)和电学性能(电阻率)的研究。输入样品数据对神经网络进行训练,建立AZO薄膜光电性能随溅射参数变化的预测模型。
Abstract
cai yong ci kong jian she fa zhi bei AZObao mo ,yan jiu he tao lun le jian she gong lv 、jian she shi jian he jian she qi ya 3ge gong yi can shu dui AZObao mo guang xue he dian xue xing neng de ying xiang 。cai yong zheng jiao you hua she ji ,dui 3ge gong yi can shu jin hang you hua ,ce liang le tou she lv he dian zu lv ,yi ci zuo wei bao mo guang dian xing neng de ping jia zhi biao ,tong guo ji cha zhi fen xi que ding le zhi bei bao mo de zui jia gong yi can shu 。ying xiang bao mo tou she lv de zui zhu yao yin su wei jian she qi ya ;ying xiang dian zu lv de zui zhu yao yin su wei jian she shi jian 。huo de zhi bei gao tou she lv di dian zu lv de AZObao mo de zui jia gong yi zu ge fang an wei jian she gong lv wei 400W、jian she shi jian wei 1000s、jian she qi ya wei 1.0Pa。jiang fan kui xing (BP)shen jing wang lao ying yong yu ci kong jian she AZObao mo guang xue xing neng (ke jian guang ou de ping jun tou she lv )he dian xue xing neng (dian zu lv )de yan jiu 。shu ru yang pin shu ju dui shen jing wang lao jin hang xun lian ,jian li AZObao mo guang dian xing neng sui jian she can shu bian hua de yu ce mo xing 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自化工新型材料的范丽琴，发表于刊物化工新型材料2019年07期论文，是一篇关于正交设计论文,掺铝氧化锌论文,光电学性质论文,神经网络论文,化工新型材料2019年07期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自化工新型材料2019年07期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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