本文主要研究内容
作者张猛,付宏远,孙艳艳,赵洋,王辉（2019）在《氧氩比对ZnO薄膜微观结构及光电特性的影响》一文中研究指出：采用JGP300型超高真空磁控溅射系统,在蓝宝石（Al2O3）、p-Si和氧化铟锡（ITO）导电玻璃衬底上制备了ZnO薄膜。使用X射线衍射仪（XRD）、紫外分光光度计（UV）、原子力显微镜（AFM）分析了氧氩比对ZnO薄膜晶体结构、光学特性和表面形貌的影响。测试结果表明:ZnO薄膜均为单一六方纤锌矿结构,且均表现出c轴择优取向。随着氧氩比的减小,ZnO（002）衍射峰强度增大,衍射峰半高宽（FWHM）减小。氧氩比为1∶4条件下制备的ZnO薄膜结晶质量较好。随着氧氩比的增大,ZnO薄膜表面粗糙度先增大后减小。在可见光范围内（波长400～700 nm）,氧氩比为3∶2条件下制备的ZnO薄膜,平均透过率超过70%。
Abstract
cai yong JGP300xing chao gao zhen kong ci kong jian she ji tong ,zai lan bao dan （Al2O3）、p-Sihe yang hua yin xi （ITO）dao dian bo li chen de shang zhi bei le ZnObao mo 。shi yong Xshe xian yan she yi （XRD）、zi wai fen guang guang du ji （UV）、yuan zi li xian wei jing （AFM）fen xi le yang ya bi dui ZnObao mo jing ti jie gou 、guang xue te xing he biao mian xing mao de ying xiang 。ce shi jie guo biao ming :ZnObao mo jun wei chan yi liu fang qian xin kuang jie gou ,ju jun biao xian chu czhou ze you qu xiang 。sui zhao yang ya bi de jian xiao ,ZnO（002）yan she feng jiang du zeng da ,yan she feng ban gao kuan （FWHM）jian xiao 。yang ya bi wei 1∶4tiao jian xia zhi bei de ZnObao mo jie jing zhi liang jiao hao 。sui zhao yang ya bi de zeng da ,ZnObao mo biao mian cu cao du xian zeng da hou jian xiao 。zai ke jian guang fan wei nei （bo chang 400～700 nm）,yang ya bi wei 3∶2tiao jian xia zhi bei de ZnObao mo ,ping jun tou guo lv chao guo 70%。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自河南科技大学学报(自然科学版)的张猛,付宏远,孙艳艳,赵洋,王辉，发表于刊物河南科技大学学报(自然科学版)2019年06期论文，是一篇关于磁控溅射论文,氧氩比论文,光电学特性论文,薄膜结构论文,河南科技大学学报(自然科学版)2019年06期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自河南科技大学学报(自然科学版)2019年06期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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