导读:本文包含了紫外光源论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:光刻机,紫外光源,纳米,光波长,成像分辨率,光电技术,超分辨,金属薄膜,刻蚀,装备研制
紫外光源论文文献综述
高博[1]（2018）在《宽刀雕细活 我国造出新式光刻机》一文中研究指出科技日报成都11月29日电 （高博）11月29日，中科院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收，这是世界上首台用紫外光源实现了22纳米分辨率的光刻机。光刻机相当于一台投影仪，将精细的线条图案投射于感光平板(本文来源于《科技日报》期刊2018-11-30）
李荣[2]（2018）在《紫外光源校准方法探讨》一文中研究指出紫外光源以产生紫外辐射为主要目的非照明用电光源。紫外光源具有荧光效应、生物效应、光化学效应和光电效应,适用于工业、农业、国防和医疗等领域。文章对紫外光源的计量特性、校准条件、校准项目和方法、校准结果的表达和不确定度评定进行了总结,从而确保此类仪器在相关行业测量结果的一致性。(本文来源于《工业计量》期刊2018年06期）
赵永蓬,徐强,李琦,王骐[3]（2018）在《13.5 nm放电Xe等离子体极紫外光源》一文中研究指出搭建了极紫外光源实验装置,获得了中心波长为13.5 nm的Xe等离子体极紫外的辐射光谱。测量了极紫外辐射的时间特性,用多次箍缩理论解释了光脉冲的多峰结构。获得了主脉冲电流幅值、Xe气流量、陶瓷管内径、等离子体长度、辅助气体等实验参数对极紫外辐射强度的影响规律。搭建了重复频率为1 kHz的13.5 nm极紫外光源样机,介绍了样机的电源系统、放电系统、去碎屑系统和光收集系统的基本情况,并给出了光源样机的调试结果。(本文来源于《中国激光》期刊2018年11期）
聂建华,宋平,韩顺利,张鹏[4]（2018）在《高辐照度可调谐日盲紫外光源研究》一文中研究指出研究了高辐照度可调谐日盲紫外光源的实现方法,设计了一种高辐照度、可调谐以及宽波段日盲紫外光源。基于双色大功率紫外LED与紫外积分球实现了高辐照度紫外光源均匀输出,采用脉冲电流调制方式实现数字可编程紫外光源调谐输出,能够根据具体应用需求获取不同光谱波形和辐照度的紫外光信号。实测结果表明该日盲紫外光源不稳定度优于0.7%/3h,最大输出辐照度达到1.24mW/cm~2,且支持编程调谐,能够有效满足紫外设备及器件的性能参数测试需要。(本文来源于《光电子·激光》期刊2018年06期）
梅泽群,王峰,唐书浩[5]（2017）在《高辐射能量密度紫外光源的散热分析》一文中研究指出本文描述了用有限元计算模拟的方法分析高辐射能量密度紫外光源的散热效率的结果。分析的对象有(1)一般辐射能量密度的5x8行列的模组,(2)高能量密度的14x5行列模组。计算模拟结果显示:(1)用焊锡替代银胶粘贴L印芯片到陶瓷基板,和用焊锡替代导热膏粘贴陶瓷基板到散热器,能明显地提高散热效率,降低L印芯片的节点温度。(2)适当减薄陶瓷基板的厚度能优化散热效率,帮助降低平均芯片结点温度。(3)芯片排列密度可以大幅度提高,但水冷系统应注意,尤其是LED芯片排成长条的设置。(本文来源于《2017第十八届中国辐射固化年会论文报告集》期刊2017-09-12）
吕家东[6]（2017）在《深紫外光源技术及其应用》一文中研究指出波长≤280nm的深紫外光源有两大类,气压放电紫外光源和深紫外发光二极管。低气压放电紫外光源材料、制造技术相对成熟,占据应用市场的主导地位,大功率紫外灯开发及其提高和保持紫外辐射强度的研究值得期待。深紫外发光二极管在外延材料和结构、内外量子效率提升等方面的研究取得了突破性进展,接近应用化程度,将会逐步取代气体放电紫外光而成为应用领域的主流。(本文来源于《2017年中国照明论坛——半导体照明创新应用与智慧照明发展论坛论文集》期刊2017-09-07）
牛永[7]（2017）在《基于高次谐波产生的极紫外光源及其辐射特性研究》一文中研究指出飞秒极紫外(XUV)光源同时具有高的空间分辨和时间分辨的能力,对于人们认识物质世界和控制物理过程具有重要应用。在各种产生超快XUV光源的方法中,基于高次谐波的可调谐桌面化相干光源有很大的优势,具有重复频率高(kHz或MHz)、空间相干性好以及飞秒或阿秒的时间分辨等特性。超短脉冲强激光与气体原子或分子相互作用时,会辐射入射激光频率奇次倍的谐波,这些谐波构成一个平台区,即高次谐波。高次谐波(HHG)是一种极端的非线性过程,可以用叁步模型解释。首先激光场非常强,强到将电子电离,电离后的电子被激光场加速,当电场反向时,电子减速并被反向加速,在一定时间后电子回到母核附近,有几率与母核复合。当电子与母核复合,会辐射光子,即高次谐波。电子与母核复合的时间尺度为阿秒,因此辐射的光脉冲是阿秒脉冲,频谱为连续谱。在多周期脉冲作用下,每半周期辐射的超短光脉冲在频域发生干涉,因此产生原激光频率两倍的分离谱。利用高次谐波产生桌面化光源的最大障碍是转换效率低,要产生强的高次谐波辐射,需要实现相位匹配,即高次谐波与驱动激光的相速度相等。当达到相位匹配时,不同位置的原子产生的高次谐波实现干涉相长,从而增强高次谐波辐射。这种桌面化的XUV光源能够在以前达不到的能量范围和时间分辨率的情况下探测物质的结构和动力学性质。本论文研究设计、建立了一套基于强场高次谐波的超快可调谐极紫外相干光源及极紫外光谱测量装置,为了保证极紫外光的反射率和衍射效率,光学元件都采用掠入射方式。超快可调谐极紫外相干光源使用C-T单色仪结构选择单一级次的高次谐波。创新点是单色仪中光栅采用圆锥衍射方式进行安装,即入射光线近似与光栅刻线平行的方式入射,衍射光线分布在一个圆锥上。这种方式的优点是既可以有较高的衍射效率又可以保持XUV光脉冲的时间特性。波长扫描使用精密真空转台控制光栅沿着通过光栅中心、与光栅刻线平行的轴转动来实现,使用出射狭缝选择出单一级次的高次谐波。光源实现的光子能量范围为20~75 eV,脉冲宽度约100 fs左右,对于23级谐波,每秒钟光子数为109。另外,为了研究原子、分子高次谐波全谱的规律,我们建立了极紫外光谱探测装置,光谱仪采用球面平场光栅作为分光元件,光谱仪的光谱探测范围为25~250 eV(5~50 nm),光谱分辨能力为600。谱仪的探测器采用微通道板(MCP)配以P46荧光屏,并用CCD相机获取荧光屏上的光谱成像。设计建立的极紫外光谱仪具有高次谐波全谱的探测能力并满足了开展相关高次谐波光谱研究的需求。使用建立的仪器装置,研究了稀有气体原子Ne、Ar、Kr、Xe和简单分子N2的高次谐波辐射特性,通过测量高次谐波强度与驱动激光光强、激光椭偏率、气体压强、驱动激光波长等条件的关系,探索发现了一些有价值的规律。随着驱动激光强度的增加,高次谐波辐射强度呈现指数增加的趋势,当达到一定程度后,由于自由电子密度过高,偏离相位匹配条件,谐波强度有所降低。在相同驱动激光光强下,不同级次的谐波辐射强度随着气体压强的增加而呈现先增加,并存在一个最优化压强即谐波辐射强度达到最大值,之后谐波辐射强度开始降低的变化趋势。研究还发现,在实验条件下随着驱动激光光强的增加,最优化介质气体压强区域呈现降低的趋势。我们使用Constant等人的1D模型计算研究了产生这一变化趋势的原因。在紧聚焦条件下,高斯束相位梯度和原子偶极相位对高次谐波相位匹配起主要作用,在激光焦点后原子偶极相位与中性原子色散都对相位匹配有正的贡献。由于原子偶极相位与激光强度成正比,当激光强度增加时原子偶极相位的作用增加,此时达到相位匹配时,中性原子色散的贡献就相应减少,即达到相位匹配时最优化气体压强会降低。进一步当激光光强继续增加时,等离子体散焦作用增强并阻止驱动激光光强的进一步增加,所以此时最优化气体压强几乎相同。同时,我们研究了Ar/N2、Ar/Kr、Ne/Xe混合气体的高次谐波强度,发现混合气体的高次谐波强度低于某一单独气体的谐波强度,这一现象表明在实验测量的光谱范围内混合气体相应组分原子间的高次谐波辐射会产生干涉相消。这些研究为理解高次谐波辐射特性,产生桌面化高亮度的XUV光源提供了方法。(本文来源于《吉林大学》期刊2017-06-01）
吕令[8]（2017）在《一种多光束集成紫外光源及其氙灯电源设计和优化仿真》一文中研究指出随着光机电微系统的快速发展,及其在光通信、光电传感器、微光机电系统等方面的广泛应用。光学系统也急需向微型化的方向发展,尤其是光学元器件的微型化。其中作为光学系统中最基本也是最主要的元器件之一透镜,迫切的需要微型化。因此小型化、低成本的非球面微透镜成形的制作技术,成为了当前研究领域的热点之一。选用原位成形光学微透镜的制造工艺,制作的非球面微透镜具备高精度、同光轴、光洁度好等优点。该制造技术主要采用UV胶材料制造微透镜。然而UV辐射固化光引发剂的种类有很多,它们的最大吸收峰值所在的光谱位置大不相同,感光范围差别也很大。而目前在近紫外范围(300—400nm)内的紫外激光器只有光波长355nm一种,不仅成本高,而且远远不能满足在制作微透镜过程中,不同UV辐射固化光引发剂所需要的光谱。针对上述问题,本论文提出了一种多光束集成紫外光源系统解决该“瓶颈”问题,并展开了以下研究。本文提出的一种多波长近紫外光源系统,通过控制改变干涉滤光片的薄膜厚度和层数,实现发射多谱段紫外光,并通过多个氙灯聚光器组合排列实现发射高能量、高亮度的紫外光,进而代替紫外激光器。针对提出的一种多波长近紫外光源系统,给出了详细的技术方案。理论上计算了氙灯聚光系统、多路聚光器组、移光器、混光器、组合滤光片,以及紫外光源的整体设计,并研究了提高氙灯聚光系统和多路氙灯聚光系统聚光器组的聚光效率。相关技术已获得国家实用新型专利授权。基于一种多波长近紫外光源系统的现实实现的需要,氙灯作为紫外光源系统的核心部分,完成了氙灯电源的设计方案并对氙灯电源部分进行了电路设计。该电路设计的实现使得一种多波长近紫外光源系统的技术方案得以实现,实物得以制成。重点通过参数计算证明了各个部分电路设计的正确性。同时利用saber软件对它激型半桥式直流变换器驱动电路和改进后的驱动电路进行仿真分析,通过仿真波形图证明改进后的它激型半桥式直流变换器驱动电路的可行性,且满足本设计电路需要的电压,为以后的研究奠定了理论基础。(本文来源于《北京工业大学》期刊2017-06-01）
孙乐[9]（2017）在《基于紫外光源调制的溢油检测系统研制》一文中研究指出随着我国经济的快速发展,石油需求量日益增加。海上运输是石油运输的主要方式。日益频繁的运油船舶带来的海面溢油事故逐渐增多,特别是在近海区域或者港口比较狭小、风浪较大、水面下地形结构较复杂的地方,事故发生几率更高。由于近海事故发生时间和地点的不确定性,亟需可以及时探测到溢油并发出警报的设备。本文针对近海以及港口的特点设计了基于紫外光源调制的荧光检测系统。该系统灵敏度高,能够全天二十四小时检测水面状况,并且不受天气变化的影响。在发生溢油事故时可以触发报警系统,通知工作人员到达现场进行溢油处理和回收,最大程度减小对海洋生态系统的危害。本文在特定波长紫外光源可以激发溢油产生荧光的技术基础上,设计并实现了基于紫外光源调制的近海溢油检测系统,论文的主要工作包括:⒈根据系统技术指标以及实际性能需求选择器件,设计电路,搭建硬件平台。该平台分为前端和后端两部分:前端主要实现紫外光源产生、接收荧光信号以及将光信号转换为电信号;后端接收前端的电信号,对微弱电信号进行采集处理,将处理结果在终端可视化并设计报警电路。该系统按照功能可分为以下模块:光源激发模块、荧光检测模块、控制模块、荧光信号采集处理模块、串口模块、报警模块以及电源模块。完成设计制作电路板,搭建以单波紫外光源、光电倍增管、A/D芯片和FPGA芯片为主要组成部分的硬件平台。⒉编写硬件驱动程序以及数据处理程序。编写硬件驱动程序,主芯片FPGA提供各模块芯片所需工作时钟,使硬件平台正常工作;编写数据处理程序,实现对收集到的微弱荧光进行滑动平均、数据累加等处理。将处理结果与设定阈值进行比较,在一定时间内超过阈值次数大于设定数值,系统发出报警信号。⒊在硬件平台基础以及Quartus II软件开发环境下,采集大量的实验数据,完成系统的调试与运行,有效检测海面的溢油情况,实现海面溢油检测的主要功能。(本文来源于《西安电子科技大学》期刊2017-06-01）
石文静[10]（2017）在《基于高次谐波的可调谐相干极紫外光源的研究》一文中研究指出由于高次谐波具有持续时间短、频谱宽、波长可调谐的特点,且频谱覆盖了从紫外到极紫外波段甚至软X射线(0.01~100埃)的频谱范围,因此,高次谐波为我们提供了一种产生宽谱带可调谐相干极紫外光源的有效手段。高次谐波产生过程(HHG)包括两部分:激光场中的单原子响应、激光场与高次谐波在气体介质中的宏观传播效应。在高次谐波相关实验中,我们总是采用稀薄气体为介质,与激光相互作用,故气体介质对激光场的色散和吸收往往可以忽略。通过控制相位匹配条件,可实现高次谐波的频率调谐和振幅调谐。而影响高次谐波效率的因素有很多,除了考虑相位匹配效应,还得考虑气体介质本身的性质。基于此,本文开展了如下研究:(1)提出一种产生波长可连续调谐相干极紫外光源的方法及实验装置。利用800nm的单色强激光场与分子气体N_2相互作用,产生高次谐波,再通过调节驱动激光脉冲能量和气压,使其瞬时相位匹配条件发生改变,导致高次谐波发生频移(红移或蓝移),从而实现输出波长的连续调谐。找到输出波长与驱动激光脉冲能量、气压叁者之间的关系,通过精确控制驱动激光脉冲能量以及气压的变化量,实现极紫外光源输出波长的精确调谐。(2)实验上探测H_2的高次谐波效率,分析激光强度、气体压强对相同气体的高次谐波效率的影响,发现激光强度和气体压强都有一个最佳值(在此条件下可获得最高的谐波效率),激光强度与气压过高,均会导致高次谐波效率降低。(3)实验上探测H_2、Ar、Kr的高次谐波效率,定性地分析散射截面、电离能、多电子效应对不同气体的高次谐波效率的影响。比较H_2和Ar的谐波效率、H_2和Kr的谐波效率、Kr和Ar的谐波效率,发现气体的高次谐波效率除了受相位匹配的影响,还可能与散射截面、多电子效应、电离能有关。(本文来源于《华中科技大学》期刊2017-05-01）
紫外光源论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
紫外光源以产生紫外辐射为主要目的非照明用电光源。紫外光源具有荧光效应、生物效应、光化学效应和光电效应,适用于工业、农业、国防和医疗等领域。文章对紫外光源的计量特性、校准条件、校准项目和方法、校准结果的表达和不确定度评定进行了总结,从而确保此类仪器在相关行业测量结果的一致性。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
紫外光源论文参考文献
[1].高博.宽刀雕细活我国造出新式光刻机[N].科技日报.2018
[2].李荣.紫外光源校准方法探讨[J].工业计量.2018
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[5].梅泽群,王峰,唐书浩.高辐射能量密度紫外光源的散热分析[C].2017第十八届中国辐射固化年会论文报告集.2017
[6].吕家东.深紫外光源技术及其应用[C].2017年中国照明论坛——半导体照明创新应用与智慧照明发展论坛论文集.2017
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[8].吕令.一种多光束集成紫外光源及其氙灯电源设计和优化仿真[D].北京工业大学.2017
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[10].石文静.基于高次谐波的可调谐相干极紫外光源的研究[D].华中科技大学.2017