陈筠菲:静电微驱动器的高阶自激振动与数值仿真论文

陈筠菲:静电微驱动器的高阶自激振动与数值仿真论文

本文主要研究内容

作者陈筠菲,漆明净(2019)在《静电微驱动器的高阶自激振动与数值仿真》一文中研究指出:相较于传统静电微驱动器,基于自激振动的静电微驱动器具有输出位移更大的优点,并且工作过程中出现高阶振动现象。为了对高阶振动进行研究,对其进行数值仿真。根据驱动器中的悬臂梁是否与电极发生接触,悬臂梁的振动被分成两个阶段。当悬臂梁与电极发生碰撞时,利用动量平衡法建立碰撞模型。当悬臂梁在电极之间振动时,利用欧拉—伯努利梁的弯曲方程求解。通过MATLAB的数值方法求解控制方程,计算不同时刻的挠度—位置曲线。数值仿真求解得到的振型与试验中观察到的对应相同,数值仿真中也观察到了试验中出现的频率跳跃现象。

Abstract

xiang jiao yu chuan tong jing dian wei qu dong qi ,ji yu zi ji zhen dong de jing dian wei qu dong qi ju you shu chu wei yi geng da de you dian ,bing ju gong zuo guo cheng zhong chu xian gao jie zhen dong xian xiang 。wei le dui gao jie zhen dong jin hang yan jiu ,dui ji jin hang shu zhi fang zhen 。gen ju qu dong qi zhong de xuan bei liang shi fou yu dian ji fa sheng jie chu ,xuan bei liang de zhen dong bei fen cheng liang ge jie duan 。dang xuan bei liang yu dian ji fa sheng peng zhuang shi ,li yong dong liang ping heng fa jian li peng zhuang mo xing 。dang xuan bei liang zai dian ji zhi jian zhen dong shi ,li yong ou la —bai nu li liang de wan qu fang cheng qiu jie 。tong guo MATLABde shu zhi fang fa qiu jie kong zhi fang cheng ,ji suan bu tong shi ke de nao du —wei zhi qu xian 。shu zhi fang zhen qiu jie de dao de zhen xing yu shi yan zhong guan cha dao de dui ying xiang tong ,shu zhi fang zhen zhong ye guan cha dao le shi yan zhong chu xian de pin lv tiao yue xian xiang 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自传感器与微系统的陈筠菲,漆明净,发表于刊物传感器与微系统2019年01期论文,是一篇关于微驱动器论文,高阶振动论文,自激振动论文,传感器与微系统2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自传感器与微系统2019年01期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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