导读:本文包含了半导体炉管区论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:半导体制造,批处理,炉管,提前,延迟
半导体炉管区论文文献综述
潘青枝,周炳海[1]（2008）在《半导体炉管区E/T问题的动态调度算法》一文中研究指出炉管区是半导体制造过程中用于热处理的重要区域。在多品种不同交货期的晶圆产品连续到达的环境下,提出了优化目标为极小化E/T(提前/延迟)值的WCRH(加权成本率)算法。该算法根据产品的交货期实时更新晶圆产品的加工优先级;通过计算和比较加权成本率来确定哪一种晶圆优先加工以及投入加工的时间。仿真结果表明,该算法在减小E/T值和缩短加工完成时间方面,优于文献中提及的启发式算法。(本文来源于《半导体技术》期刊2008年07期）
潘青枝[2]（2008）在《基于Petri网的半导体炉管区动态调度研究》一文中研究指出炉管区批调度(Batch Scheduling)是复杂多重入的半导体晶圆制造系统车间层调度与控制研究的一个热点。本文结合国内外已有的研究成果,针对炉管区批处理过程的动态调度问题进行了系统和深入的研究。本文所做的主要工作为:(1)以炉管区为研究对象,应用递阶的面向对象的混合Petri网(Object-oriented Hybrid Petri Nets ,OHPNs)建模方法,将炉管区分为物理对象层、制造单元层、生产区层叁层结构,采用面向对象的方法对制造资源与设备进行混合Petri网的物理对象建模;然后按照生产区内各制造单元中的设备与资源配置构建制造单元的OHPNs子网模型;进而将这些制造单元子网按照一定工艺流程要求关联,构建了整个炉管区完整的OHPNs模型。(2)在此基础上,提出基于OHPNs模型的炉管区动态调度体系,由炉管区的OHPNs模型仿真器、控制器、调度规则库、数据库系统等组成。控制器监测炉管区内外部的实时变化,反馈至数据库系统。延迟时间高于预定值时,OHPNs仿真器触发动态重调度,调用动态调度算法,依据当前的系统特征生成新的调度。(3)针对基于Petri网的单台炉管调度问题,提出了以加权E/T值(Earliness/Tardiness)最小化为优化目标的加权成本率启发式算法WCRH(Weighted Cost Rate Heuristic)。应用于基于Petri网的炉管区动态调度体系,仿真结果证明单机的动态调度体系在延迟发生时能够及时调整调度方案,降低加权E/T值。(4)针对基于Petri网的非等效平行机调度问题,提出了基于PSO(Particle Swarm Optimization,微粒群算法)-WCRH算法的双层调度算法。大量实验表明,在不同的延迟几率下,基于双层调度算法的Petri网动态调度仍能够有效地保障交货期这一重要指标。(本文来源于《上海交通大学》期刊2008-05-01）
马慧民,叶春明[3]（2007）在《半导体炉管区批调度问题的粒子群优化算法研究》一文中研究指出为改善粒子群算法对大规模问题求解的性能,提出了一种基于文化进化的并行粒子群算法,详细阐述了该算法的原理和具体实施方案。针对半导体炉管区批调度问题,设计了双层粒子群算法,外层应用基于文化进化的并行粒子群算法进行批量计划问题的求解,内层采用传统的粒子群算法求解调度问题。通过对其他文献中的仿真实例进行计算和结果比较表明,该算法优于文献中的启发式算法和蚂蚁算法。(本文来源于《计算机集成制造系统》期刊2007年06期）
秦小健,叶春明,马慧民[4]（2006）在《基于微粒群算法的半导体炉管区调度应用研究》一文中研究指出提出了用微粒群算法来解决半导体炉管区的调度问题.给出了算法的具体过程及参数设置方案.实例计算的结果表明,该算法是解决半导体炉管区调度问题可行且高效的方法.(本文来源于《上海理工大学学报》期刊2006年05期）
半导体炉管区论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
炉管区批调度(Batch Scheduling)是复杂多重入的半导体晶圆制造系统车间层调度与控制研究的一个热点。本文结合国内外已有的研究成果,针对炉管区批处理过程的动态调度问题进行了系统和深入的研究。本文所做的主要工作为:(1)以炉管区为研究对象,应用递阶的面向对象的混合Petri网(Object-oriented Hybrid Petri Nets ,OHPNs)建模方法,将炉管区分为物理对象层、制造单元层、生产区层叁层结构,采用面向对象的方法对制造资源与设备进行混合Petri网的物理对象建模;然后按照生产区内各制造单元中的设备与资源配置构建制造单元的OHPNs子网模型;进而将这些制造单元子网按照一定工艺流程要求关联,构建了整个炉管区完整的OHPNs模型。(2)在此基础上,提出基于OHPNs模型的炉管区动态调度体系,由炉管区的OHPNs模型仿真器、控制器、调度规则库、数据库系统等组成。控制器监测炉管区内外部的实时变化,反馈至数据库系统。延迟时间高于预定值时,OHPNs仿真器触发动态重调度,调用动态调度算法,依据当前的系统特征生成新的调度。(3)针对基于Petri网的单台炉管调度问题,提出了以加权E/T值(Earliness/Tardiness)最小化为优化目标的加权成本率启发式算法WCRH(Weighted Cost Rate Heuristic)。应用于基于Petri网的炉管区动态调度体系,仿真结果证明单机的动态调度体系在延迟发生时能够及时调整调度方案,降低加权E/T值。(4)针对基于Petri网的非等效平行机调度问题,提出了基于PSO(Particle Swarm Optimization,微粒群算法)-WCRH算法的双层调度算法。大量实验表明,在不同的延迟几率下,基于双层调度算法的Petri网动态调度仍能够有效地保障交货期这一重要指标。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
半导体炉管区论文参考文献
[1].潘青枝,周炳海.半导体炉管区E/T问题的动态调度算法[J].半导体技术.2008
[2].潘青枝.基于Petri网的半导体炉管区动态调度研究[D].上海交通大学.2008
[3].马慧民,叶春明.半导体炉管区批调度问题的粒子群优化算法研究[J].计算机集成制造系统.2007
[4].秦小健,叶春明,马慧民.基于微粒群算法的半导体炉管区调度应用研究[J].上海理工大学学报.2006