导读:本文包含了半固着磨具论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:蓝宝石,半固着磨具,固相反应,化学机械抛光
半固着磨具论文文献综述
林旺票[1]（2015）在《基于固相反应的半固着磨具及其对蓝宝石抛光的探索研究》一文中研究指出为解决蓝宝石基片在研磨抛光过程中,表面容易产生划痕、裂纹、亚表面损伤、去除率低等问题,本文基于固相反应的半固着软质磨粒加工技术,研发了一种具有优良抛光性能的半固着磨具,研究其关键制作技术,检测半固着磨具机械性能。最后通过蓝宝石抛光实验测试半固着磨具加工性能。本文主要研究工作包括:研究了基于固相反应的半固着磨具加工机理,分析了蓝宝石晶片发生固相反应的条件及影响因素。根据化学热力学原理,利用HSC Chemistry软件仿真验证SiO2、CeO2磨粒与蓝宝石晶片发生固相反应的可能性。研究了半固着磨具的制作工艺及磨具质量影响因素。根据半固着磨具的技术指标,选择制作磨具的原材料:两种不同的磨粒(SiO2和CeO2),结合剂及造孔剂等。以磨具硬度为目标函数,采用回归法设计磨具配比。对磨具的原材料混和、固定成型、干燥硬化及表面修整等工艺进行分析研究,制作出符合要求的半固着磨具。分析了半固着磨具的制作流程及影响磨具质量的关键因素。检测了两组半固着磨具(SiO2磨具、CeO2磨具)的物理特性,包括硬度、抗压性能、微观组织。用两组半固着磨具对蓝宝石抛光实验,采用试验设计法研究不同磨粒对蓝宝石表面质量及去除率的影响。实验结果,采用SiO2磨粒和不饱和树脂结合剂制作的半固着磨具,在抛光蓝宝石6小时后,材料去除率为1.32μm/h,且表面粗糙度Ra从22nm降至6nm。综上所述,基于固相反应原理所制作的半固着磨具对蓝宝石抛光,具有高效、低损伤的特点。(本文来源于《浙江工业大学》期刊2015-06-01）
邓乾发,袁巨龙,吕冰海,楼飞燕,杭伟[2]（2012）在《半固着磨具特性对其磨耗和工件材料去除的影响(英文)》一文中研究指出为获得先进陶瓷材料的高效、高精度加工,通过采用新研制的半固着磨具来实现一种半固着磨粒加工技术.制作了以SiC为磨料的不同粒度和磨料浓度的半固着磨具(SFAT),讨论分析了磨料粒度和磨料浓度对半固着磨具特性(剪切强度和表面硬度等)的影响.采用所制作的半固着磨具加工单晶硅片,研究半固着磨具的磨耗率和工件材料去除率.初步实验结果表明,磨料粒度#1000和磨料质量分数为65%的半固着磨具的磨具磨耗率最小且工件材料去除率最大.实验结果有助于指导半固着磨具制作.(本文来源于《纳米技术与精密工程》期刊2012年01期）
吕冰海,袁巨龙,邓乾发,王志伟[3]（2011）在《新型功能陶瓷高效研磨半固着磨具(英文)》一文中研究指出为提高功能陶瓷游离磨料研磨效率,减少大颗粒杂质侵入造成的表面损伤,提出了一种高效研磨用的新型半固着磨具(SFAT).分析了SFAT的基本工作机理及其制作过程.通过对典型的功能陶瓷工件硅片的研磨实验,分析了SFAT研磨过程中工件表面质量、加工效率、材料去除形式,以及工艺参数对加工过程的影响.实验结果表明,采用#1000 SiC磨料制作的SFAT研磨后的硅片表面粗糙度在10 min内,从215 nm提高到了30 nm.定义了单位材料去除量内表面粗糙度下降值,作为评价工件精加工表面质量改善效率的指标.实验中,利用SFAT研磨硅片的单位材料去除量内表面粗糙度下降值是相似条件下游离磨料研磨的2倍,这表明利用SFAT加工能够迅速改善工件的表面质量,能够获得比游离磨料加工更高的精加工效率.(本文来源于《纳米技术与精密工程》期刊2011年06期）
赵萍,王志伟,袁巨龙[4]（2011）在《半固着磨具“陷阱”效应影响因素分析》一文中研究指出以抛光后无表面损伤的单晶硅片为试件,以表面粗糙度Ra为指标,对半固着磨具的"陷阱"效应进行试验分析,讨论大颗粒浓度及尺寸、磨具硬度、加工载荷、磨具转速对"陷阱"效应的影响。研究结果表明:对一定尺寸的大颗粒,当大颗粒数量不超过临界值时,大颗粒可全部陷入,"陷阱"效应发挥;当大颗粒尺寸较大、磨具硬度较高、加工载荷较大时,不利于"陷阱"效应发挥。(本文来源于《中国机械工程》期刊2011年20期）
马新,邓乾发,袁巨龙[5]（2011）在《基于PFC3D的半固着磨具剪切实验数值模拟分析》一文中研究指出在以往有关半固着磨具模型试验和二维数值模拟的研究基础上,利用离散单元法中的叁维颗粒流方法(PFC3D)建立半固着磨具叁维颗粒流模型。以半固着磨具压缩比实验和虚拟压缩比试验曲线吻合作为PFC微观特性参数选取准则。通过半固着磨具虚拟剪切实验,得到各级平行连接切向刚度下剪应力与水平剪切位移关系和抗剪强度,进一步验证半固着磨具叁维颗粒流模型建立的合理性。(本文来源于《轻工机械》期刊2011年04期）
俞冬强,胡伟,杨峰,虞杰,邓乾发[6]（2010）在《电梯轿壁研磨用半固着磨具的特性参数研究》一文中研究指出电梯轿厢内壁不锈钢的镜面加工一直是个难题,而本文的半固着磨具能很好的解决以上问题,为了合理评价半固着磨具特性及进一步了解半固着磨具的研磨过程,并用以指导磨具制造,本文选择半固着磨具的主要特性参数:磨具的硬度、压缩比、回弹率、抗剪强度等作为研究对象。研究磨具特性参数对研究该磨具对工件的研磨规律、优化磨具制造配方等具有重要的意义。试验之前选择5种不同浓度的胶粘剂制造了相应的半固着磨具。研究结果表明,随着磨具胶粘剂浓度的增加,磨具硬度,抗剪强度和回弹率增加,而压缩比减少。(本文来源于《新技术新工艺》期刊2010年07期）
吕迅[7]（2009）在《半固着磨具高效塑性域研磨加工机理研究》一文中研究指出为满足先进陶瓷材料高效、精密、少/无损伤的加工要求,基于半固着磨粒加工的陷阱效应,课题组提出了一种半固着磨具高效塑性域研磨加工方法。该方法可减少研磨过程中因磨具磨粒粒径不等及磨粒出刃高度不同所引起的磨粒群切削深度差异,实现近等切削深度加工,可使先进陶瓷材料在较高加工效率下实现塑性域加工。针对上述问题,本文对半固着磨具高效塑性域研磨加工方法进行了以下几个方面的研究:提出和建立了半固着磨具磨粒群切削深度分布模型。通过阐述磨具磨粒形状,对半固着磨具磨粒受力模型进行简化。利用弹塑性力学理论分析了单颗磨粒的法向受力,得到了单颗磨粒切削深度与磨粒粒径、工件下移量、磨具弹性模量、工件硬度等参数之间的相互关系。在单颗磨粒切削深度模型及磨粒群粒径基于数量基准分布的研究基础上,运用概率统计方法建立起半固着磨具磨粒群切削深度分布的模型,从而为先进陶瓷材料半固着磨粒塑性域加工表面质量与加工效率的优化及塑性域加工程度的评价建立了理论基础。通过计算机仿真的方法逐一分析和验证了半固着磨具特性(磨具粒度、结合剂浓度)、加工工艺(加工载荷)等参数对半固着磨具磨粒群切削深度分布的影响。研究表明,半固着磨具磨粒群切削深度分布模型的仿真结果与实验结果的分布趋势基本吻合,切削深度分布范围基本相同,但模型在小切深处的分析结果与实验结果吻合度还需进一步提高。研究还表明,半固着磨具粒度号对半固着磨具磨粒群的切削深度分布综合影响较大。另以1000#SiC磨粒SFB结合剂半固着磨具为例进行分析对比,磨具结合剂浓度对半固着磨具磨粒群切削深度分布的一致性(标准差)影响较大,而加工载荷对半圆着磨具磨粒群的平均切削深度(数学期望)影响较大。以单晶硅材料为研究对象,对其在半固着磨具高效塑性域研磨加工进行工艺设计和优化。首先应用微小斜坡研磨的方式,以实际加工环境对单晶硅材料的塑脆性临界转变条件进行了研究。通过白光干涉仪NT9800检测单晶硅塑性去除向脆性去除的转变过程和特征。研究表明,单晶硅的临界切削深度与磨粒尖部的刃圆半径等因素有关,而磨粒尖部的刃圆半径的大小分布与磨具粒度有一定关联,但关系较复杂。对于{100}、{111}晶面单晶硅的临界切削深度区别不大。其次,从不同SFB结合剂浓度的半固着磨具塑性域加工试验对比来看,SFB结合剂浓度为35wt%的半固着磨具在表面加工质量和加工效率上综合相对最好,并以此制定了单晶硅半固着磨粒高效塑性研磨加工工艺。与同工艺参数的游离磨粒加工相对比,半固着磨具对单晶硅加工后的表面质量和所需加工的时间明显优于游离磨粒加工,验证了半固着磨粒加工的高效精密特性。本文针对半固着磨典研磨加工过程中的磨粒群切削深度分布进行研究。研究表明,通过对半固着磨具粒度、SFB结合剂浓度、加工载荷合理的设计,可对单晶硅材料进行高效的塑性域加工,这对半固着磨具的设计、制造和实际应用是一次有益的尝试。(本文来源于《浙江工业大学》期刊2009-12-30）
袁巨龙,汤科锋,王志伟,邓乾发,洪滔[8]（2009）在《大颗粒形状对半固着磨粒磨具“陷阱”效应影响的离散元仿真》一文中研究指出本文基于离散元的方法研究了不同顶角的大颗粒对半固着磨粒磨具"陷阱效应"的影响,在研究的过程中应用了PFC2D离散元软件,分别模拟了90°、120°和150°顶角的大颗粒,采集到大颗粒压入半固着磨粒磨具时受到的法向作用力和竖直位移之间的曲线图。由于半固着磨粒磨具内部布满了空隙,使得大颗粒能比较容易的陷入磨具中,减少了大颗粒对工件表面的损伤。通过以上大颗粒离散元模拟可知,半固着磨粒磨具"陷阱"效应持续的时间和大颗粒顶角大小成反比关系,即大颗粒的顶角越小,磨具"陷阱"效应持续时间越长,所以大颗粒的顶角大小是影响半固着磨粒磨具"陷阱"效应发挥的重要因素。(本文来源于《金刚石与磨料磨具工程》期刊2009年06期）
邓乾发,袁巨龙,文东辉,陶黎,王志伟[9]（2009）在《半固着磨具在非晶态Ni-Pd-P合金薄膜铜片衬底精密研磨中的应用》一文中研究指出非晶态Ni-Pd-P合金薄膜具有非常好的热传导性和耐磨性,因而被广泛用作防护镀层。铜片由于其良好的导电性能被选为生长非晶态Ni-Pd-P合金薄膜的衬底材料。主要研究半固着磨具精密研磨非晶态Ni-Pd-P合金薄膜铜片衬底,以铜片衬底的表面粗糙度和材料去除率为评价指标,探讨了研磨过程中不同的工艺参数对铜片表面粗糙度和材料去除率的影响。结果表明:用800#SiC半固着磨具对铜片衬底进行研磨加工,10min后铜片表面粗糙度Ra可由0.553μm减小到0.28μm,同时表面无深划痕。加工后的铜片再经金刚石研磨膏抛光可快速获得满足Ni-Pd-P合金薄膜生长用的铜片衬底表面。(本文来源于《表面技术》期刊2009年04期）
邓乾发[10]（2009）在《用于高效精密加工的半固着磨具特性及加工性能研究》一文中研究指出为满足先进陶瓷材料高效、精密、少/无损伤的加工要求,课题组提出一种半固着磨粒加工方法,这种方法可以减小甚至消除加工过程中大颗粒造成的表面损伤,实现高效高精加工。本文针对实现半固着磨粒加工方法的半固着磨具特性和加工性能进行了以下几个方面的研究:确定半固着磨具制作工艺,基于此工艺制作出一种SSB结合剂半固着磨具,确定硬度、抗剪强度和弹性模量作为SSB结合剂半固着磨具特性指标。检测磨具硬度、抗剪强度、微观组织结构和弹性模量,发现半固着磨具磨料质量比浓度65 wt%相比于磨料质量比浓度80 wt%和50 wt%,硬度、抗剪强度和弹性模量较大;磨料质量比浓度65 wt%时,磨具中磨料粒度越小,半固着磨具硬度、抗剪强度和弹性模量越小。通过SSB结合剂半固着磨具研磨硅片实验,验证其具有防止大颗粒损伤即“陷阱”效应功能。利用扫描电镜(SEM)观测半固着磨具、相同磨料粒度下的游离磨料和固着磨料加工的硅片表面微观形貌,发现半固着磨具加工后硅片表面是以二体形式材料去除为主,包含少量的叁体形式材料去除。结合Preston方程和有限元方法,建立基于磨具与工件接触应力分布变化的半固着磨具平面研磨材料去除模型。以硅片为加工对象,以面形精度为评价指标,通过仿真分析和实验研究磨具硬度、弹性模量、载荷和相对速度对半固着磨具加工影响。结果表明,半固着磨具硬度和弹性模量增加有利于加工效率提高;相对速度提高也有利于提高磨具加工效率;载荷增加虽然能够获得高的材料去除率但并不利于磨具加工效率提高。半固着磨具硬度低于普通磨具硬度,使得加工中磨具工作面形易受到破坏,导致工件研磨均匀性变差。为保证平面研磨均匀性,从研磨轨迹和相对速度关系上,通过仿真分析和实验研究半固着磨具平面研磨均匀性。结果表明,磨具转速和工件转速之比是影响定偏心研磨均匀性主要因素。定偏心加工时,磨具转速与工件转速相等时,研磨均匀性最好;不定偏心加工时,磨具转速与工件转速相差越大,研磨均匀性最好。比较加工后工件的表面平整度、材料去除率、工件表面粗糙度和磨具型面状态,工件表面平整度和磨具型面在不定偏心加工方式较好,工件表面粗糙度和材料去除率在定偏心加工方式较好。综合比较两种加工方式,不偏心加工方式更有利于半固着磨具研磨均匀性。通过半固着磨具干式和湿式研磨加工硅片和氮化硅材料,实验结果表明:半固着磨具加工性能失效与磨具干湿状态和工件材料有关。当工件材料硬度小于磨料硬度时,在干式加工时半固着磨具加工性能失效形式为磨具表面堵塞和磨粒脱落;在湿式加工时半固着磨具加工性能失效形式为磨粒脱落和少量的磨具表面堵塞:当工件材料硬度接近磨具磨料硬度时,半固着磨具在湿式加工只有少量磨粒脱落,加工效率低。在相同的加工条件和相同的磨具磨料质量比浓度情况下半固着磨具研磨硅片实验,结果表明,磨具磨料磨粒越小,磨具磨耗越大和去除率越小;在相同的半固着磨具磨料粒度下,65 wt%磨料质量比浓度的半固着磨具与磨料质量比浓度50 wt%和80 wt%相比,磨具磨耗最小和去除率最高。湿式和加工液流量对半固着磨具磨耗和去除率影响最大。本文针对半固着磨具制作工艺和特性参数进行了研究:以硅片为加工对象,研究表明半固着磨具加工材料去除方式主要为二体形式材料去除和部分叁体形式材料去除:硬度、弹性模量、相对速度提高有利于半固着磨具加工效率提高:工件不定偏心方式有利于半固着磨具研磨均匀性;湿式加工和流量影响着半固着磨具磨耗和加工效率。这些对半固着磨具的设计、制造和实际应用是一次有益的尝试。(本文来源于《浙江工业大学》期刊2009-05-25）
半固着磨具论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
为获得先进陶瓷材料的高效、高精度加工,通过采用新研制的半固着磨具来实现一种半固着磨粒加工技术.制作了以SiC为磨料的不同粒度和磨料浓度的半固着磨具(SFAT),讨论分析了磨料粒度和磨料浓度对半固着磨具特性(剪切强度和表面硬度等)的影响.采用所制作的半固着磨具加工单晶硅片,研究半固着磨具的磨耗率和工件材料去除率.初步实验结果表明,磨料粒度#1000和磨料质量分数为65%的半固着磨具的磨具磨耗率最小且工件材料去除率最大.实验结果有助于指导半固着磨具制作.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
半固着磨具论文参考文献
[1].林旺票.基于固相反应的半固着磨具及其对蓝宝石抛光的探索研究[D].浙江工业大学.2015
[2].邓乾发,袁巨龙,吕冰海,楼飞燕,杭伟.半固着磨具特性对其磨耗和工件材料去除的影响(英文)[J].纳米技术与精密工程.2012
[3].吕冰海,袁巨龙,邓乾发,王志伟.新型功能陶瓷高效研磨半固着磨具(英文)[J].纳米技术与精密工程.2011
[4].赵萍,王志伟,袁巨龙.半固着磨具“陷阱”效应影响因素分析[J].中国机械工程.2011
[5].马新,邓乾发,袁巨龙.基于PFC3D的半固着磨具剪切实验数值模拟分析[J].轻工机械.2011
[6].俞冬强,胡伟,杨峰,虞杰,邓乾发.电梯轿壁研磨用半固着磨具的特性参数研究[J].新技术新工艺.2010
[7].吕迅.半固着磨具高效塑性域研磨加工机理研究[D].浙江工业大学.2009
[8].袁巨龙,汤科锋,王志伟,邓乾发,洪滔.大颗粒形状对半固着磨粒磨具“陷阱”效应影响的离散元仿真[J].金刚石与磨料磨具工程.2009
[9].邓乾发,袁巨龙,文东辉,陶黎,王志伟.半固着磨具在非晶态Ni-Pd-P合金薄膜铜片衬底精密研磨中的应用[J].表面技术.2009
[10].邓乾发.用于高效精密加工的半固着磨具特性及加工性能研究[D].浙江工业大学.2009