导读:本文包含了等离子诱导量子阱混合技术论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:量子阱混合,氩等离子体,InP牺牲层,光致发光(PL)
等离子诱导量子阱混合技术论文文献综述
彭盛华,张欣,何建军[1]（2011）在《氩等离子体诱导量子阱混合技术》一文中研究指出研究了基于InGaAsP/InP应变多量子阱片的氩等离子体诱导量子阱混合工艺方法.当等离子刻蚀机(ICP)的射频(RF)功率为480W、ICP功率为500W、处理时间为1min时,ICP处理过程中氩(Ar)等离子体对量子阱片的刻蚀深度小于牺牲层的厚度500nm,晶格缺陷将产生在牺牲层内.样品在纯氮气条件、不同温度下快速退火2min,缺陷扩散至量子阱层诱发量子阱混合.不同实验条件的样品PL光谱表明:随着退火温度和ICP功率的增加,量子阱片的光致发光谱(PL)峰值波长会发生显着的蓝移,分别在750℃和500W时趋于饱和;此时获得的蓝移为110nm,PL强度为原生片的55%,量子阱层仍保持了较好的晶格特性.(本文来源于《浙江大学学报(工学版)》期刊2011年06期）
彭盛华[2]（2010）在《等离子体诱导量子阱混合技术研究》一文中研究指出量子阱混合技术是一种十分有效的实现多功能单片集成的技术。它通过在量子阱层附近引入缺陷,继而快速退火促进缺陷在量子阱层与垒层的组分相互扩散,达到改变能带结构的目的。与再生长技术和选择性生长技术相比,其工艺简单、并能十分有效的改变量子阱材料的能带,是当前单片集成技术中的热点。本文研究了等离子诱导的量子阱混合技术,主要创新包括以下几个方面:使用氩等离子诱导的量子阱混合在标准的InGaAsP/InP压应变多量子阱结构上实现了110nm的波长蓝移。系统的研究了ICP功率、退火温度等主要实验参数对量子阱PL峰值蓝移、PL峰值强度的影响,并且得到了重复性很好、有较大蓝移的量子阱混合实验结果。首次提出并研究了氮等离子诱导的量子阱混合技术,使用SRIM模拟分析了氮等离子在InGaAsP/InP结构上的空位缺陷生成速率,分别在有上包层结构和无上包层结构的多量子阱样品上取得了近100nm的PL峰值波长蓝移。首次使用氩等离子诱导的量子阱混合技术在InGaAsP/InP量子阱结构制作了低损耗波导,使得该波导结构对于1545nm激光的单阱损耗从22/cm降低到2.16/cm。使用氩等离子体诱导量子阱混合技术在1545nm波长的量子阱片上制作了激射波长为1435nm的FP腔激光器,并拥有较低的阈值电流和较大的输出功率。该低损耗波导和波长蓝移的FP腔激光器,验证了氩等离子诱导量子阱混合方法的实用性。(本文来源于《浙江大学》期刊2010-01-06）
等离子诱导量子阱混合技术论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
量子阱混合技术是一种十分有效的实现多功能单片集成的技术。它通过在量子阱层附近引入缺陷,继而快速退火促进缺陷在量子阱层与垒层的组分相互扩散,达到改变能带结构的目的。与再生长技术和选择性生长技术相比,其工艺简单、并能十分有效的改变量子阱材料的能带,是当前单片集成技术中的热点。本文研究了等离子诱导的量子阱混合技术,主要创新包括以下几个方面:使用氩等离子诱导的量子阱混合在标准的InGaAsP/InP压应变多量子阱结构上实现了110nm的波长蓝移。系统的研究了ICP功率、退火温度等主要实验参数对量子阱PL峰值蓝移、PL峰值强度的影响,并且得到了重复性很好、有较大蓝移的量子阱混合实验结果。首次提出并研究了氮等离子诱导的量子阱混合技术,使用SRIM模拟分析了氮等离子在InGaAsP/InP结构上的空位缺陷生成速率,分别在有上包层结构和无上包层结构的多量子阱样品上取得了近100nm的PL峰值波长蓝移。首次使用氩等离子诱导的量子阱混合技术在InGaAsP/InP量子阱结构制作了低损耗波导,使得该波导结构对于1545nm激光的单阱损耗从22/cm降低到2.16/cm。使用氩等离子体诱导量子阱混合技术在1545nm波长的量子阱片上制作了激射波长为1435nm的FP腔激光器,并拥有较低的阈值电流和较大的输出功率。该低损耗波导和波长蓝移的FP腔激光器,验证了氩等离子诱导量子阱混合方法的实用性。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
等离子诱导量子阱混合技术论文参考文献
[1].彭盛华,张欣,何建军.氩等离子体诱导量子阱混合技术[J].浙江大学学报(工学版).2011
[2].彭盛华.等离子体诱导量子阱混合技术研究[D].浙江大学.2010