微细群孔阵列论文-李润清,明平美,周维海,秦歌,闫亮

微细群孔阵列论文-李润清,明平美,周维海,秦歌,闫亮

导读:本文包含了微细群孔阵列论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献,主要关键词:微细,单向,喇叭形孔,阵列

微细群孔阵列论文文献综述

李润清,明平美,周维海,秦歌,闫亮[1](2017)在《超微细型单向喇叭孔阵列电铸成型仿真分析与试验研究》一文中研究指出为解决超微细型单向喇叭孔阵列的高效低成本制造难题,提出了一种基于不锈钢基板的、由光刻和电铸技术加工而成的加工方法。基于建立的数学模型,进一步仿真分析与实验研究了掩膜斑厚度、中心间距以及直径等因素对被加工孔阵列几何结构形状的影响规律,并进行了参数优选,数值分析与实验结果基本一致。研究结果表明:被加工孔阵列的几何特征参数严重受掩膜斑参数的影响;在喇叭孔金属层厚度不变的情况下,采用直径较小的掩膜斑有利于获得较小直径的出口;在保持出口直径和孔密度不变的情况下,通过调整掩膜斑的厚度,获得不同厚度的喇叭孔金属层;掩膜斑的中心间距对喇叭孔的廓形几乎没有影响;在掩膜斑参数相同的情况下,喇叭孔金属层厚度越大,微孔的收缩速度越慢。基于优化的电铸芯模,能电沉积出微孔直径3μm,网片厚度35μm,表面光滑的超微细单向喇叭形金属微小孔阵列。(本文来源于《第17届全国特种加工学术会议论文集(上册)》期刊2017-11-17)

李润清,明平美,周维海,秦歌,闫亮[2](2017)在《超微细型单向喇叭孔阵列电铸成型仿真分析与试验研究》一文中研究指出为解决超微细型单向喇叭孔阵列的高效低成本制造难题,本文提出了一种基于不锈钢基底、采用光刻和过电铸工艺制造超微细型单向喇叭孔阵列的方法。过电铸法成形单向喇叭孔是利用电铸金属层在电绝缘掩膜层所定义区域空间内的超界生长行为来实现的,由此可知,喇叭形微孔的几何特征无疑与掩膜斑厚度、掩膜斑面积、掩膜斑中心距、金属层厚度等因数有关。基于建立的数学模型,进一步仿真分析了掩膜斑厚度、中心间距以及直径等因素对被加工孔阵列几何结构形状的影响规律。选取优化的工艺参数利用光刻在不锈钢基底上制作出不同参数的掩膜斑,以此为芯模进行电铸实验,并与仿真结果进行对比。研究结果如下:(1)仿真结果与实验结果基本一致,但理论所得喇叭孔廓形与实验的不完全相同。仿真结果显示,微孔入口附近有出现隆起结构,而试样几乎没有出现隆起结构。这是由于数值分析时,阴极相对于阳极是处于静止状态。实验时,阴极是相对于阳极平衡放置,在外力作用下使阴极能够相对于阳极平滑移动,使阴极上电流密度更加趋于均匀分布,减弱了电流密度对微孔廓形的影响;(2)被加工孔阵列的几何特征参数严重受掩膜斑参数的影响。喇叭孔入口直径等于掩膜斑直径。在掩膜斑直径和中心间距不变的情况下,当喇叭孔的厚度一定时,采用厚度较小的掩膜斑更有利于获得较小直径的喇叭孔出口。在掩膜斑厚度和中心间距不变的情况下,当喇叭孔的厚度一定时,采用直径较小的掩膜斑更有利于获得较小直径的喇叭孔出口。掩膜斑的中心间距对喇叭孔的廓形几乎没有影响。在掩膜斑参数相同的情况下,喇叭孔金属层厚度越大,微孔出口直径越小,微孔内的电解质溶液与微孔外部新鲜电解质溶液的交换变得越来越困难,微孔的收缩速度越慢。基于优化的电铸芯模,本文制作出包含有入口直径50μm、出口直径3μm、厚度35μm,表面光滑的超微细单向喇叭形金属微小孔阵列结构的喷雾片;(3)对实验所得的微孔出液口直径为3μm的喷雾片进行雾化测试,测试结果显示,喷雾片所产生的雾化液滴直径分布较均匀,所产生的直径小于5μm液滴的累计体积达到30%。(本文来源于《特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集(摘要)》期刊2017-11-17)

马虎亮[3](2010)在《微细阵列群孔加工电火花机床宏微复合数控系统的研究》一文中研究指出随着微机电系统的迅速发展,微喷部件在纺织、微电子技术等领域的应用愈来愈广,对其制造精度的要求越来越高。微细电火花加工方法具有宏观作用力小、可控性好等特点,是目前进行微喷阵列孔加工的重要方法之一。国内对微喷阵列孔加工设备的研究较少,目前还没有商业化的微喷阵列孔加工设备,因此研制一台具有自主知识产权的微喷阵列孔电火花加工设备具有重大意义。论文分析了电火花加工机床控制系统相关技术的研究现状,在查阅大量资料和对多种方案进行对比的基础上,构建了基于PMAC(programmable multi-axes controller)运动控制卡的宏微复合驱动的数控系统。在仔细研究宏微复合驱动控制的特点和微细电火花加工装置的基础上,设计了微细电火花阵列孔加工机床的宏微复合伺服系统,完成了宏微复合进给系统、线电极磨削、电源控制和去离子水装置的控制方案设计。在方案确定的基础上,完成了控制系统的软件设计:基于VC++6.0和PMAC的动态链接库实现了工控机与PMAC卡之间的通信;根据设计方案划分了数控系统软件的功能模块;编制了PMAC卡的运动程序,实现机床的伺服进给;编写了工控机和电源的串口通信程序,实现了对开路电压和脉冲电源的控制,并设计了脉宽调制电路实现了对磁滞制动器的控制;利用多线程技术和OpenGL技术实现机床状态的实时显示;利用Access2003为数控系统创建了工艺数据库;完成了对去离子水装置的控制等功能。最后,为数控系统添加了安全性和抗干扰设计,完成了伺服电机调试和控制参数整定;通过宏动和微动的位移特性进行了测试,得到此数控系统满足加工需要,并可以进行稳定运行的结论。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2010-06-01)

姚素薇,张璐,孔亚西,宋兆爽[4](2005)在《铝阳极氧化膜纳米孔阵列的微细结构》一文中研究指出用电化学阳极氧化法制备了纳米多孔铝阳极氧化膜(AAO模板).采用原子力显微镜(AFM) 测试AAO膜,研究了纳米孔阵列的形成机制.结果表明,在AAO膜的表面,除存在六方形的纳米孔阵列 外,在孔端还存在六个微小的隆起,相邻的隆起之间彼此相连,看上去酷似一朵盛开的梅花,花的中心就是 六方形纳米孔.二维AFM图像显示,以往用扫描电镜表征的纳米孔阵列,实际上是一幅排列整齐、并呈周 期性变化的梅花阵列图案.膜背面阻挡层的AFM二维图像表明,膜胞呈六方形,且排列高度有序.膜胞密 度为4.3×109/cm2,与孔密度基本一致.阻挡层的叁维照片显示,膜胞的底部存在半球状突起,也呈现出 规整的阵列图案.(本文来源于《材料研究学报》期刊2005年06期)

微细群孔阵列论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

为解决超微细型单向喇叭孔阵列的高效低成本制造难题,本文提出了一种基于不锈钢基底、采用光刻和过电铸工艺制造超微细型单向喇叭孔阵列的方法。过电铸法成形单向喇叭孔是利用电铸金属层在电绝缘掩膜层所定义区域空间内的超界生长行为来实现的,由此可知,喇叭形微孔的几何特征无疑与掩膜斑厚度、掩膜斑面积、掩膜斑中心距、金属层厚度等因数有关。基于建立的数学模型,进一步仿真分析了掩膜斑厚度、中心间距以及直径等因素对被加工孔阵列几何结构形状的影响规律。选取优化的工艺参数利用光刻在不锈钢基底上制作出不同参数的掩膜斑,以此为芯模进行电铸实验,并与仿真结果进行对比。研究结果如下:(1)仿真结果与实验结果基本一致,但理论所得喇叭孔廓形与实验的不完全相同。仿真结果显示,微孔入口附近有出现隆起结构,而试样几乎没有出现隆起结构。这是由于数值分析时,阴极相对于阳极是处于静止状态。实验时,阴极是相对于阳极平衡放置,在外力作用下使阴极能够相对于阳极平滑移动,使阴极上电流密度更加趋于均匀分布,减弱了电流密度对微孔廓形的影响;(2)被加工孔阵列的几何特征参数严重受掩膜斑参数的影响。喇叭孔入口直径等于掩膜斑直径。在掩膜斑直径和中心间距不变的情况下,当喇叭孔的厚度一定时,采用厚度较小的掩膜斑更有利于获得较小直径的喇叭孔出口。在掩膜斑厚度和中心间距不变的情况下,当喇叭孔的厚度一定时,采用直径较小的掩膜斑更有利于获得较小直径的喇叭孔出口。掩膜斑的中心间距对喇叭孔的廓形几乎没有影响。在掩膜斑参数相同的情况下,喇叭孔金属层厚度越大,微孔出口直径越小,微孔内的电解质溶液与微孔外部新鲜电解质溶液的交换变得越来越困难,微孔的收缩速度越慢。基于优化的电铸芯模,本文制作出包含有入口直径50μm、出口直径3μm、厚度35μm,表面光滑的超微细单向喇叭形金属微小孔阵列结构的喷雾片;(3)对实验所得的微孔出液口直径为3μm的喷雾片进行雾化测试,测试结果显示,喷雾片所产生的雾化液滴直径分布较均匀,所产生的直径小于5μm液滴的累计体积达到30%。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

微细群孔阵列论文参考文献

[1].李润清,明平美,周维海,秦歌,闫亮.超微细型单向喇叭孔阵列电铸成型仿真分析与试验研究[C].第17届全国特种加工学术会议论文集(上册).2017

[2].李润清,明平美,周维海,秦歌,闫亮.超微细型单向喇叭孔阵列电铸成型仿真分析与试验研究[C].特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集(摘要).2017

[3].马虎亮.微细阵列群孔加工电火花机床宏微复合数控系统的研究[D].哈尔滨工业大学.2010

[4].姚素薇,张璐,孔亚西,宋兆爽.铝阳极氧化膜纳米孔阵列的微细结构[J].材料研究学报.2005

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