导读:本文包含了后清洗论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:CMP,清洗,专利申请
后清洗论文文献综述
佟晓明[1]（2019）在《化学机械抛光后清洗专利技术综述》一文中研究指出化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)清洗的目的就是把CMP中的残留粒子和金属沾污减少到可接受的水平,后清洗是CMP加工的重要部分。文章通过对全球专利申请量、专利申请在不同国家的分布、重要申请人分布进行分析,概述了CMP后清洗技术的发展脉络,为日后CMP后清洗技术的发展提供了借鉴。(本文来源于《科技创新与应用》期刊2019年26期）
于寒,穆强,刘金玲,索志鹏,初光强[2]（2019）在《淬火后清洗工艺对GCr15钢残留奥氏体含量的影响》一文中研究指出通过对GCr15轴承钢淬火后采用不同的清洗方式及清洗温度,研究其对残留奥氏体含量的影响。研究表明,淬火冷却至室温后停留时间过长,残留奥氏体含量将增多;随着清洗温度的升高,残留奥氏体含量在一定程度上亦增多。(本文来源于《金属热处理》期刊2019年07期）
韩春宇,檀柏梅,高宝红,杨柳,刘宜霖[3]（2019）在《化学机械抛光后清洗工艺对多孔低k介质的影响》一文中研究指出对多孔低k介质BD(Black Diamond)光片化学机械抛光(CMP)后,采用由150 mg/L FA/O Ⅱ型螯合剂与750 mg/L FA/O Ⅱ型表面活性剂组成的碱性清洗液(pH=10.4)进行清洗。探究了清洗过程中刷子间距、刷子转速,以及清洗液和去离子水刷洗时间对BD的k值和清洗效果的影响。得到较优的清洗工艺条件为:刷子间距-0.5 mm,刷子转速200 r/min,清洗液刷洗时间40 s,去离子水刷洗时间75 s。在该条件下的清洗效果良好,BD表面粗糙度为0.24 nm,k值的变化率低于5%。(本文来源于《电镀与涂饰》期刊2019年08期）
韦嘉辉,周海,高晗,梁志强[4]（2019）在《表面活性剂复配对蓝宝石CMP后清洗效果的影响》一文中研究指出为了去除蓝宝石化学机械抛光(CMP)后表面残留的抛光液,采用表面活性剂复配清洗法,选用非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚9 (AEO9)和阴离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠(AES)按不同质量比复配,并与酸碱清洗法进行了对比。对CMP后的蓝宝石进行超声辅助清洗实验,分析了不同复配比对于蓝宝石晶片清洗后表面接触角、表面形貌以及颗粒去除率的影响。结果表明:表面活性剂复配清洗法的清洗效果优于传统的酸碱清洗法,最优配比的表面活性剂复配清洗法的颗粒去除率较酸碱清洗法提升了31.17%;当表面活性剂复配清洗法中AEO9与AES复配比为1∶1时,清洗后的蓝宝石表面接触角最小,为21.6°,表面形貌最优,颗粒去除率达到99.65%,清洗效果最好。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2019年02期）
胡新星,檀柏梅[5]（2018）在《AEO6对铜CMP后清洗颗粒去除的影响》一文中研究指出硅溶胶等残留颗粒是铜CMP后清洗需要去除的沾污之一。在FA/OⅡ螯合剂的协同作用下,对比了八种表面活性剂和四种添加剂对铜表面颗粒沾污去除的影响,表面活性剂包括阴离子型ALS、LABSA、MAP-K、LPS-30和非离子型AEO6、LEP-10、LDEA、APG1214,添加剂为硝酸钾、柠檬酸、乙二醇、枧油。并对表面活性剂和添加剂的浓度进行优化。清洗方式为使用PVA刷进行刷洗,清洗后通过金相显微镜检测剩余颗粒,扫描电镜观测铜表面形貌。实验得出颗粒去除效果较好的表面活性剂为AEO6,较佳的浓度为0. 02 M。聚氧乙烯类表面活性剂与FA/OⅡ螯合剂的配伍效果较好。添加0. 9wt%枧油可使AEO6清洗液的颗粒去除效果略微提升,枧油做复配的非离子表面活性剂。(本文来源于《硅酸盐通报》期刊2018年10期）
王芳[6]（2018）在《复用手术管腔类器械回收后清洗流程规范化管理效果观察》一文中研究指出目的:探讨复用手术管腔类器械回收后清洗流程规范化管理效果。方法:选择2016年8月~2017年7月作为供应室施行复用手术管腔类器械回收后清洗流程规范化管理时间段,即观察阶段。选择2015年8月~2016年7月作为供应室施行常规复用手术管腔类器械回收后清洗流程规范化管理时间段,即对照阶段。比较两个时间段手术管腔类器械回收后清洗、包装、消毒达标率及手术室医护人员满意度评分。结果:两个时间段手术管腔类器械回收后清洗、包装、消毒达标率及手术室医护人员满意度评分比较差异均有统计学意义(P<0.05)。结论:供应室在手术管腔类器械回收后的清洗过程中实施规范管理措施,能显着提高清洗、包装、消毒达标率,提升手术室医护人员满意度。(本文来源于《齐鲁护理杂志》期刊2018年12期）
王永光,吴中华,赵永武,陈瑶,刘萍[7]（2018）在《超声波协同作用下非离子表面活性剂对铝合金抛光后清洗的影响》一文中研究指出利用静态浸泡清洗和超声波辅助清洗方法,使用非离子表面活性剂辛基苯基聚氧乙烯醚(TX-100)溶液对经过化学机械抛光(浸泡SiO2抛光液)后的7003铝合金试样进行浸泡清洗,利用原子力显微镜观测试样表面的清洗效果,并计算清洗后铝合金的表面粗糙度;通过对比去离子水与TX-100溶液在铝合金表面的接触角,分析了非离子表面活性剂TX-100对铝合金化学机械抛光后清洗中SiO2颗粒的分散性、Zeta电位、表面润湿性及去除率的影响,以及TX-100与超声波协同作用的清洗机制.结果表明:随着TX-100质量分数增加,SiO2的颗粒粒径和Zeta电位均先减小而后增大;当TX-100质量分数为2.0%时,SiO2颗粒的分散性最佳;表面活性剂TX-100能够提高铝合金表面的亲水性;在铝合金的清洗过程中,由于超声波与TX-100的协同作用而使得SiO2颗粒去除率由57%提高到90%,且未出现腐蚀现象;清洗后铝合金的表面粗糙度为2.16nm.(本文来源于《上海交通大学学报》期刊2018年05期）
雷昊,谢晶[8]（2017）在《新鲜蔬菜采后清洗、包装的研究进展》一文中研究指出新鲜蔬菜以其丰富的维生素和矿物质等营养成分,已成为人们日常生活中不可或缺的重要食材之一。由于新鲜蔬菜大多富含水分,在贮藏和运输过程中容易发生萎蔫、腐败等情况,因此,新鲜蔬菜的采后处理变得尤为重要。本文从不同的清洗方式和包装方式入手,介绍了新鲜蔬菜采后物理清洗、化学清洗、薄膜包装、涂膜包装、气调包装和真空包装等多种处理方法,并对采后蔬菜处理的研究方向进行了预测,提出混合清洗和气调综合包装是今后关注的重点。(本文来源于《上海市制冷学会2017年学术年会论文集》期刊2017-12-18）
孙艳芝[9]（2017）在《妇产科器械集中清洗之前及清洗之后清洗的质量分析》一文中研究指出目的:研究分析妇产科器械集中清洗之前及清洗之后清洗的质量,争取改善妇产科器械集中清洗的质量。方法:选取2017年66包妇产科器械包作为调查主体,由消毒供应室清洗的妇产科器械执行针对的清洗质量检测,之后放大镜检查联合肉眼观察不合格率情况以及合格率情况。结果:在清洗之前(对照组),不合格率达到16.45%,合格率达到83.55%。在清洗之后(观察组),不合格率达到0.64%,合格率达到99.35%。对比两组之间的差异两组对比差异明显,P<0.05。结论:妇产科器械是否干净,直接影响到医院感染的情况。所以,从根本上保证妇产科器械集中清洗的质量非常重要,可以从根本上降低医院感染发生率,同时还可以提升患者的治疗效果以及生存治疗。在实际工作中,在对于妇产科器械集中清洗之前及清洗之后清洗的质量的基础上,得到妇产科器械集中清洗非常有必要,可以从根本上提升妇产科器械的清洁程度。(本文来源于《人人健康》期刊2017年23期）
申言[10]（2017）在《铝栅CMP后清洗工艺的研究》一文中研究指出集成电路工艺发展到极大规模(GLSI)后,器件的特征尺寸减小到45nm以下,高K介质/金属栅结构逐渐取代传统的SiO_2介质/多晶硅栅结构成为主流。金属铝成为CMOS器件中最普遍的栅极材料。由于铝栅器件具有超高的集成度,微量杂质的沾污或表面划伤都会严重影响器件性能,化学机械抛光技术(CMP)是当前工业生产中唯一可以实现全局平坦化的技术。随着器件尺寸的进一步减小,抛光工艺和抛光液残留等问题使得铝栅表面粗糙度变大,引起器件噪声,这些对器件稳定性产生很大危害,其中最严重的就是抛光液中硅溶胶颗粒的残留问题。本文通过实验研究了硅溶胶颗粒的吸附规律,并由此规律探究了颗粒的解吸原理。研制了一种FA/O型清洗液,主要成分是螯合剂与非离子型活性剂,螯合剂不仅可以螯合金属离子,而且可以去除硅溶胶颗粒,但也会造成非均化腐蚀,表面活性剂具有较高的渗透性,可以增强对吸附在铝表面颗粒的去除,同时会抑制螯合剂造成的非均化腐蚀。通过单变量实验,得出了颗粒去除效果最好,非均匀腐蚀最小的清洗液配比,即螯合剂和活性剂的体积分数分别为0.015%和0.15%。基于这种清洗液,对比研究了两种水基清洗工艺的清洗效果即PVA手工清洗和以抛代洗清洗。实验结果表明当抛代洗工艺参数设置为转速55/55r/min、压力103/103madN/cm~2、流量200ml/min时可以达到此工艺的最佳清洗效果,表面粗糙度最佳水平可达3.12nm,清洗效果优于PVA手工清洗。在抛代洗水基清洗的基础上进行超声清洗,通过单因素实验得出了最适合铝栅CMP后清洗的超声工艺参数,即温度设置为40℃、功率为2kw、清洗时间5min,最终抛代洗+超声清洗工艺可以达到的最低表面粗糙度为2.04nm,表面硅溶胶颗粒基本去除干净。(本文来源于《河北工业大学》期刊2017-05-01）
后清洗论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
通过对GCr15轴承钢淬火后采用不同的清洗方式及清洗温度,研究其对残留奥氏体含量的影响。研究表明,淬火冷却至室温后停留时间过长,残留奥氏体含量将增多;随着清洗温度的升高,残留奥氏体含量在一定程度上亦增多。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
后清洗论文参考文献
[1].佟晓明.化学机械抛光后清洗专利技术综述[J].科技创新与应用.2019
[2].于寒,穆强,刘金玲,索志鹏,初光强.淬火后清洗工艺对GCr15钢残留奥氏体含量的影响[J].金属热处理.2019
[3].韩春宇,檀柏梅,高宝红,杨柳,刘宜霖.化学机械抛光后清洗工艺对多孔低k介质的影响[J].电镀与涂饰.2019
[4].韦嘉辉,周海,高晗,梁志强.表面活性剂复配对蓝宝石CMP后清洗效果的影响[J].微纳电子技术.2019
[5].胡新星,檀柏梅.AEO6对铜CMP后清洗颗粒去除的影响[J].硅酸盐通报.2018
[6].王芳.复用手术管腔类器械回收后清洗流程规范化管理效果观察[J].齐鲁护理杂志.2018
[7].王永光,吴中华,赵永武,陈瑶,刘萍.超声波协同作用下非离子表面活性剂对铝合金抛光后清洗的影响[J].上海交通大学学报.2018
[8].雷昊,谢晶.新鲜蔬菜采后清洗、包装的研究进展[C].上海市制冷学会2017年学术年会论文集.2017
[9].孙艳芝.妇产科器械集中清洗之前及清洗之后清洗的质量分析[J].人人健康.2017
[10].申言.铝栅CMP后清洗工艺的研究[D].河北工业大学.2017