导读:本文包含了薄膜翘曲论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:翘曲,Foppl-von,Karman方程,顶部裂纹,二次失稳
薄膜翘曲论文文献综述
李世琛[1]（2019）在《薄膜结构翘曲研究》一文中研究指出薄膜结构在工业生产和尖端技术中有着广泛的应用,而翘曲现象在受压薄膜中非常常见,因此深入研究薄膜结构的翘曲发生和演化在工业生产和尖端科学研究中都有着非常重要的意义。一方面,我们需要抑制功能性薄膜材料发生翘曲以维护其有效周期;另一方面,可调控的薄膜结构翘曲形貌在表面形貌调控、微流器件设计、柔性电子器件制造以及薄膜结构力学参数测量中有着广泛的应用。本文主要通过Foppl-von Karman方程从理论上研究薄膜结构翘曲的后屈曲失稳模式和后屈曲形貌以及翘曲结构受到薄膜裂纹的影响,另外辅以数值模拟手段验证理论分析结果。首先研究了顶部裂纹对于直条状鼓包和电话线鼓包翘曲形貌的影响。我们通过总结文献中关于顶部裂纹的工作来修正已有理论模型存在的问题,从而通过引入顶部裂纹导致的中面位移改进了带顶部裂纹的直条状鼓包的理论结果。而后通过环状鼓包近似方法将带顶部裂纹的直条状鼓包的结果推广到了电话线鼓包中,从而研究了复杂周期顶部裂纹影响下的电话线鼓包形貌。然后给出了顶部裂纹和滑移边界对于直条状鼓包稳定性的影响。顶部裂纹和低泊松比会使得直条状鼓包有利于出现对称的失稳并形成鼓泡,而滑移边界条件和高泊松比则更有利于直条状鼓包出现反对称失稳并形成电话线鼓包。我们还建立了带顶部裂纹的非线性模拟模型,所得结果很好地验证了线性稳定性分析的结果。随后通过坐标变换方法和Koiter展开方法建立了直条状鼓包失稳后屈曲和电话线鼓包翘曲的改进模型,其结果表明周期弯曲边界不利于平板翘曲的发生。此外,我们还进一步通过近似方法求解这个模型得到了直条状鼓包失稳后屈曲和简单周期弯曲边界情形的一阶理论近似解,其中引入了应力的影响并且可以给出直条状鼓包失稳后屈曲的总弹性能变化,但是这个结果存在无法描述脊部高度的变化,这可能是缺少高阶项影响导致的。最后通过数值手段验证了改进电话线鼓包模型的有效性。其中的一阶数值解与一阶理论近似解符合得很好,但是仍然无法描述脊部高度的变化。而改进之后的二阶数值解准确描述脊部高度的变化并且和有限元模拟结果符合得很好,充分说明了改进电话线鼓包模型的有效性。此外,弯曲边界鼓包的弹性能在应力稍大于Euler应力而且显着小于直条状鼓包失稳应力时便会小于直边情形。这个结果指出电话线鼓包可能不经过直条状鼓包失稳而是直接由边界失稳形成。(本文来源于《中国科学技术大学》期刊2019-05-01）
倪勇,李世琛,余森江[2]（2018）在《薄膜结构中翘曲失效的复杂模态与演变》一文中研究指出衬底薄膜结构广泛应用于各类器件与保护性涂层等结构,在残余压应力作用下薄膜的屈曲失稳通常伴随界面脱层进而形成复杂的翘曲结构,该结构会导致薄膜结构和功能的失效。在冯卡门板理论的框架下,我们发展了数值模拟方法和参数展开结合共性映射解析方法理解复杂翘曲结构的形貌。基于所发展的方法,我们揭示了残余应力水平、界面滑移与顶部开裂对翘曲结构的多重失稳模态的影响机制,更加深入理解了"电话线"翘曲结构的普适形貌、形成机制与演化发展过程,所得分析和预测得到了系列实验观测结果的验证。(本文来源于《2018年全国固体力学学术会议摘要集（上）》期刊2018-11-23）
王鑫,王静[3]（2018）在《薄膜厚度和工艺参数对模内装饰注塑成型滞热和翘曲的影响》一文中研究指出利用Moldflow软件,通过对塑件和薄膜的有限元建模实现了对模内装饰注塑成型过程的滞热和翘曲分析.根据正交实验结果可知,薄膜厚度是影响滞热温度和塑件翘曲量的最主要因素,其次才是保压压力和熔体温度等常规工艺参数.(本文来源于《河南工程学院学报(自然科学版)》期刊2018年01期）
刘志伟[4]（2008）在《薄膜/基体系统界面裂纹及翘曲问题研究》一文中研究指出薄膜/基体系统作为一种表面工程技术近年来发展迅猛,被广泛地应用于多个领域。薄膜/基体系统属于多层材料体系,层间材料力学性能差异和界面是其重要组成特征,使其在服役过程中表现出不同于一般材料的力学特性,如薄膜的塑性变形、脱粘、翘曲、剥落、开裂等。这些都影响到结构的工作效率和寿命。随着薄膜结构器件的开发和应用,对薄膜以及薄膜/基体系统力学性能的研究显得越来越重要。围绕这一问题,本文的主要内容如下:1、首先详细研究了界面静态扩展裂纹问题。通过对裂尖场的渐近分析,确定了界面静态扩展裂纹尖端的应力和应变场的指数奇异性阶次。从基本方程出发,结合对裂尖各场合理的奇异性分析,推导出了渐近控制方程。由定解条件,采用打靶法求得了Ⅰ型和Ⅱ型裂纹裂尖的应力、应变和位移场,讨论了裂尖场随各参数变化的规律。由所得裂尖各场的渐近解,探索了局部断裂控制参量,所得结果可为建立破坏准则提供理论依据。2、其次研究了薄膜翘曲问题,并利用所得结果在线弹性断裂力学的基础上,进一步研究了翘曲引起的脱层现象。本文所作的研究,将为最终解决薄膜/基体系统界面裂纹尖端渐近场和翘曲问题提供一种有益的探索,并且对于解决工程实践中所遇到的相应的问题和建立材料的破坏准则提供理论上的参考。(本文来源于《哈尔滨工程大学》期刊2008-05-01）
廖秀英,杨晓波[5]（2003）在《Si-SiO_2薄膜的翘曲度及应力分布测试分析》一文中研究指出应用BGS 6341型电子薄膜应力分布测试仪,对硅薄膜翘曲度及应力进行了测试,结合生产工艺对其测试结果加以分析,找出应力产生的各种因素,并加以改进,有效地提升工艺生产水平及稳定性。(本文来源于《半导体光电》期刊2003年03期）
薄膜翘曲论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
衬底薄膜结构广泛应用于各类器件与保护性涂层等结构,在残余压应力作用下薄膜的屈曲失稳通常伴随界面脱层进而形成复杂的翘曲结构,该结构会导致薄膜结构和功能的失效。在冯卡门板理论的框架下,我们发展了数值模拟方法和参数展开结合共性映射解析方法理解复杂翘曲结构的形貌。基于所发展的方法,我们揭示了残余应力水平、界面滑移与顶部开裂对翘曲结构的多重失稳模态的影响机制,更加深入理解了"电话线"翘曲结构的普适形貌、形成机制与演化发展过程,所得分析和预测得到了系列实验观测结果的验证。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
薄膜翘曲论文参考文献
[1].李世琛.薄膜结构翘曲研究[D].中国科学技术大学.2019
[2].倪勇,李世琛,余森江.薄膜结构中翘曲失效的复杂模态与演变[C].2018年全国固体力学学术会议摘要集（上）.2018
[3].王鑫,王静.薄膜厚度和工艺参数对模内装饰注塑成型滞热和翘曲的影响[J].河南工程学院学报(自然科学版).2018
[4].刘志伟.薄膜/基体系统界面裂纹及翘曲问题研究[D].哈尔滨工程大学.2008
[5].廖秀英,杨晓波.Si-SiO_2薄膜的翘曲度及应力分布测试分析[J].半导体光电.2003