本文主要研究内容
作者孙科学,常月欣,成谢锋（2019）在《xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的横向压电特性》一文中研究指出：近年来,压电薄膜在表面声波及压电器件等领域的应用得到了广泛关注和研究。有效横向压电系数(e31,f)是压电薄膜材料的一个重要性能指标,本工作重点研究xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的有效横向压电系数。在优化xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的基础上,通过多层悬臂梁研究xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的有效横向压电系数,当压电薄膜悬臂梁在交变电压作用下产生弯曲振动时,利用激光多普勒测振仪测量多层悬臂梁自由端的振动振幅,并根据悬臂梁法评估横向压电系数的基本原理,计算薄膜的有效横向压电系数,进而研究xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的横向压电性能。通过调控La的掺量,可优化压电薄膜的性能。
Abstract
jin nian lai ,ya dian bao mo zai biao mian sheng bo ji ya dian qi jian deng ling yu de ying yong de dao le an fan guan zhu he yan jiu 。you xiao heng xiang ya dian ji shu (e31,f)shi ya dian bao mo cai liao de yi ge chong yao xing neng zhi biao ,ben gong zuo chong dian yan jiu xBiInO3-（1-x）PbTiO3bao mo de you xiao heng xiang ya dian ji shu 。zai you hua xBiInO3-（1-x）PbTiO3bao mo de ji chu shang ,tong guo duo ceng xuan bei liang yan jiu xBiInO3-（1-x）PbTiO3bao mo de you xiao heng xiang ya dian ji shu ,dang ya dian bao mo xuan bei liang zai jiao bian dian ya zuo yong xia chan sheng wan qu zhen dong shi ,li yong ji guang duo pu le ce zhen yi ce liang duo ceng xuan bei liang zi you duan de zhen dong zhen fu ,bing gen ju xuan bei liang fa ping gu heng xiang ya dian ji shu de ji ben yuan li ,ji suan bao mo de you xiao heng xiang ya dian ji shu ,jin er yan jiu xBiInO3-（1-x）PbTiO3bao mo de heng xiang ya dian xing neng 。tong guo diao kong Lade can liang ,ke you hua ya dian bao mo de xing neng 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自材料导报的孙科学,常月欣,成谢锋，发表于刊物材料导报2019年14期论文，是一篇关于射频磁控溅射沉积论文,薄膜论文,有效横向压电特性论文,悬臂梁论文,材料导报2019年14期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自材料导报2019年14期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：射频磁控溅射沉积论文; 薄膜论文; 有效横向压电特性论文; 悬臂梁论文; 材料导报2019年14期论文;