导读:本文包含了物理汽相淀积论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:PVD薄膜,微结构,内应力
物理汽相淀积论文文献综述
朱贤方,Ｊ．Ｓ．Ｗｉｌｉａｍｓ,Ｌ．Ｃ．Ｌｉｍ,ＳａｍＺｈａｎｇ,吴自勤[1]（1998）在《物理汽相淀积薄膜的微结构和内应力》一文中研究指出文章综述的内容为：（１）物理汽相淀积（ＰＶＤ）薄膜的微结构；（２）ＰＶＤ薄膜的内应力；（３）膜的微结构和内应力的关系．着重介绍制备参数对微结构、内应力和两者之间的主要联系的影响．提出了确立两者的联系还需进一步研究的问题和优化微结构和内应力的一个途径———梯度膜(本文来源于《物理》期刊1998年01期）
Claude,A.,Klein,茹保良[2]（1984）在《化学汽相淀积硫化锌红外窗的光学性能与物理特性》一文中研究指出近几年来,人们在化学汽相淀积硫化锌(CVD ZnS)方面的工作成果之一是,获得了一种作8～12微米的红外系统的窗口(或镜罩)应用很有前途的材料。本文将总结为确定CVD ZnS有关特性,特别是在下述两个特性方面,进行过的各种测试和计算: (a)光谱透过率/发射率。我们将证明:能满足根据高速飞行力学提出的结构要求的CVD ZnS窗口的透过和发射特性,在预料到的热荷载范围内,不会严重影响系统的灵敏度。 (b)对象质的不良影响。线扩展函数数据说明,小角度散射、折射率不均匀性,以及其它潜在的有损象质的特性,在高分辨率热成象的空间频率范围不会对系统的调制传递函数(MTF)产生任何明显的不良影响。(本文来源于《红外技术》期刊1984年05期）
物理汽相淀积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
近几年来,人们在化学汽相淀积硫化锌(CVD ZnS)方面的工作成果之一是,获得了一种作8～12微米的红外系统的窗口(或镜罩)应用很有前途的材料。本文将总结为确定CVD ZnS有关特性,特别是在下述两个特性方面,进行过的各种测试和计算: (a)光谱透过率/发射率。我们将证明:能满足根据高速飞行力学提出的结构要求的CVD ZnS窗口的透过和发射特性,在预料到的热荷载范围内,不会严重影响系统的灵敏度。 (b)对象质的不良影响。线扩展函数数据说明,小角度散射、折射率不均匀性,以及其它潜在的有损象质的特性,在高分辨率热成象的空间频率范围不会对系统的调制传递函数(MTF)产生任何明显的不良影响。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
物理汽相淀积论文参考文献
[1].朱贤方,Ｊ．Ｓ．Ｗｉｌｉａｍｓ,Ｌ．Ｃ．Ｌｉｍ,ＳａｍＺｈａｎｇ,吴自勤.物理汽相淀积薄膜的微结构和内应力[J].物理.1998
[2].Claude,A.,Klein,茹保良.化学汽相淀积硫化锌红外窗的光学性能与物理特性[J].红外技术.1984