本文主要研究内容
作者冀丽娜,邓剑勋,汪娟,黄佐华（2019）在《利用单波长椭偏仪对各向异性薄膜光学常数和欧拉角的研究》一文中研究指出：基于椭偏测量原理和4×4矩阵法原理,提出了利用单波长椭偏仪在光轴平行于薄膜表面方向上测量各向异性薄膜的薄膜参数(包括双折射率、厚度及欧拉角)的方法.通过转动待测样品90°的方法,得到2组椭偏参数,利用反演算法对2组椭偏参数进行反演,得到各向异性薄膜的4个薄膜参数;采用数值模拟分析了入射角、薄膜厚度、欧拉角及其定位误差对测量结果的影响;实验测量了光轴平行于样品表面的各向异性聚酰亚胺薄膜样品在转动前后的椭偏参数,并进行反演.结果表明:该方法提出的算法反演稳定性好、精度高;该方法测得各向异性薄膜的寻常光折射率、非寻常光折射率、厚度以及欧拉角的精度分别达到0.000 1、0.000 1、0.1 nm及0.03°;寻常光折射率、非寻常光折射率、厚度的最大测量误差分别为0.001 2,0.004 4以及4.57 nm;该方法具有较好的测量稳定性、自洽性及可靠性.文中提出的方法具有测量过程简单、对实验仪器要求低的优点,拓展了单波长椭偏仪的测量范围,提出了各向异性薄膜参数的测量方法,具有实际应用意义.
Abstract
ji yu tuo pian ce liang yuan li he 4×4ju zhen fa yuan li ,di chu le li yong chan bo chang tuo pian yi zai guang zhou ping hang yu bao mo biao mian fang xiang shang ce liang ge xiang yi xing bao mo de bao mo can shu (bao gua shuang she she lv 、hou du ji ou la jiao )de fang fa .tong guo zhuai dong dai ce yang pin 90°de fang fa ,de dao 2zu tuo pian can shu ,li yong fan yan suan fa dui 2zu tuo pian can shu jin hang fan yan ,de dao ge xiang yi xing bao mo de 4ge bao mo can shu ;cai yong shu zhi mo ni fen xi le ru she jiao 、bao mo hou du 、ou la jiao ji ji ding wei wu cha dui ce liang jie guo de ying xiang ;shi yan ce liang le guang zhou ping hang yu yang pin biao mian de ge xiang yi xing ju xian ya an bao mo yang pin zai zhuai dong qian hou de tuo pian can shu ,bing jin hang fan yan .jie guo biao ming :gai fang fa di chu de suan fa fan yan wen ding xing hao 、jing du gao ;gai fang fa ce de ge xiang yi xing bao mo de xun chang guang she she lv 、fei xun chang guang she she lv 、hou du yi ji ou la jiao de jing du fen bie da dao 0.000 1、0.000 1、0.1 nmji 0.03°;xun chang guang she she lv 、fei xun chang guang she she lv 、hou du de zui da ce liang wu cha fen bie wei 0.001 2,0.004 4yi ji 4.57 nm;gai fang fa ju you jiao hao de ce liang wen ding xing 、zi qia xing ji ke kao xing .wen zhong di chu de fang fa ju you ce liang guo cheng jian chan 、dui shi yan yi qi yao qiu di de you dian ,ta zhan le chan bo chang tuo pian yi de ce liang fan wei ,di chu le ge xiang yi xing bao mo can shu de ce liang fang fa ,ju you shi ji ying yong yi yi .
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自华南师范大学学报(自然科学版)的冀丽娜,邓剑勋,汪娟,黄佐华，发表于刊物华南师范大学学报(自然科学版)2019年04期论文，是一篇关于矩阵法论文,各向异性薄膜论文,单波长椭偏仪论文,华南师范大学学报(自然科学版)2019年04期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自华南师范大学学报(自然科学版)2019年04期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。