本文主要研究内容
作者王丙军,宗冰,季静佳,蔡延国,李超军,王体虎（2019）在《多晶硅生产中硅芯色泽异常的机理研究》一文中研究指出：采用HF溶液对硅芯进行腐蚀实验,利用电子探针(EPMA)和X射线光电子能谱(XPS)方法分析成品硅芯和色泽异常硅芯表面化学成分,研究硅芯色泽异常的主要机理。研究结果表明,成品硅芯表面仅含Si元素,无其他杂质元素。通过酸腐蚀EPMA和XPS分析发现,色泽异常硅芯的化学成分与化学性能无明显对应关系,不同的形成机理导致硅芯的色泽不同。氢气中的甲烷在高温下形成炭黑附着在硅芯表面上。黑黄色样品的表面层成分复杂,从里到外依次为硅氧化合物、无定形硅和炭黑组成的薄膜。其中无定形硅薄膜和硅氧化合物薄膜形成的机理为还原炉内SiHCl3/SiH2Cl2热分解形成的微硅粉和残留的微量氧/水分导致。
Abstract
cai yong HFrong ye dui gui xin jin hang fu shi shi yan ,li yong dian zi tan zhen (EPMA)he Xshe xian guang dian zi neng pu (XPS)fang fa fen xi cheng pin gui xin he se ze yi chang gui xin biao mian hua xue cheng fen ,yan jiu gui xin se ze yi chang de zhu yao ji li 。yan jiu jie guo biao ming ,cheng pin gui xin biao mian jin han Siyuan su ,mo ji ta za zhi yuan su 。tong guo suan fu shi EPMAhe XPSfen xi fa xian ,se ze yi chang gui xin de hua xue cheng fen yu hua xue xing neng mo ming xian dui ying guan ji ,bu tong de xing cheng ji li dao zhi gui xin de se ze bu tong 。qing qi zhong de jia wan zai gao wen xia xing cheng tan hei fu zhao zai gui xin biao mian shang 。hei huang se yang pin de biao mian ceng cheng fen fu za ,cong li dao wai yi ci wei gui yang hua ge wu 、mo ding xing gui he tan hei zu cheng de bao mo 。ji zhong mo ding xing gui bao mo he gui yang hua ge wu bao mo xing cheng de ji li wei hai yuan lu nei SiHCl3/SiH2Cl2re fen jie xing cheng de wei gui fen he can liu de wei liang yang /shui fen dao zhi 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自太阳能学报的王丙军,宗冰,季静佳,蔡延国,李超军,王体虎，发表于刊物太阳能学报2019年05期论文，是一篇关于多晶硅论文,薄膜论文,形成机理论文,硅芯色泽异常论文,温度论文,太阳能学报2019年05期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自太阳能学报2019年05期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。