本文主要研究内容
作者李雪,殷伯华,许广鹿,韩立,刘俊标（2019）在《计量电镜中纳米位移台控制方法研究》一文中研究指出：针对计量型扫描电镜成像方法的特殊需求,提出了一种新型的纳米位移台扫描运动控制方法。利用乘法DA控制方法实现了纳米位移台驱动信号的整形输出。利用该模拟信号实现了纳米位移台的扫描范围的增益控制,扫描图像的旋转和偏移控制。该控制方法有效地的保持了纳米位移台的步进位移分辨力,克服了传统纳米位移台控制系统损失纳米步进精度的缺点。通过实验验证了此位移台控制新方法的可行性,位移台移动方式和理论吻合。
Abstract
zhen dui ji liang xing sao miao dian jing cheng xiang fang fa de te shu xu qiu ,di chu le yi chong xin xing de na mi wei yi tai sao miao yun dong kong zhi fang fa 。li yong cheng fa DAkong zhi fang fa shi xian le na mi wei yi tai qu dong xin hao de zheng xing shu chu 。li yong gai mo ni xin hao shi xian le na mi wei yi tai de sao miao fan wei de zeng yi kong zhi ,sao miao tu xiang de xuan zhuai he pian yi kong zhi 。gai kong zhi fang fa you xiao de de bao chi le na mi wei yi tai de bu jin wei yi fen bian li ,ke fu le chuan tong na mi wei yi tai kong zhi ji tong sun shi na mi bu jin jing du de que dian 。tong guo shi yan yan zheng le ci wei yi tai kong zhi xin fang fa de ke hang xing ,wei yi tai yi dong fang shi he li lun wen ge 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自电子显微学报的李雪,殷伯华,许广鹿,韩立,刘俊标，发表于刊物电子显微学报2019年03期论文，是一篇关于纳米位移台论文,定位精度论文,纳米步进论文,控制论文,角度旋转论文,电子显微学报2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自电子显微学报2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。