本文主要研究内容
作者黄杰,史学伟,廖斌,吴先映（2019）在《新型多弧磁过滤系统对TiAlN薄膜的组分调控》一文中研究指出：针对磁过滤阴极真空电弧沉积技术制备多元复合薄膜的不足,设计研制一种新型的多弧磁过滤系统。该多弧磁过滤系统由两个支线管和一个干线管组成"Y"型的三通管结构。通过有限元分析和试验测量确定该新型多弧磁过滤器的最佳运行参数为:支线管和干线管的长度分别为180和230 mm,内径为200 mm。支线管和干线管的磁场强度分别为40和90 mT。采用该新型多弧磁过滤系统制备TiAlN多元复合薄膜,结果表明:该新型多弧磁过滤系统可实现多元复合薄膜的组分调控,并且膜层的表面形貌光洁,膜层元素分布均匀。
Abstract
zhen dui ci guo lv yin ji zhen kong dian hu chen ji ji shu zhi bei duo yuan fu ge bao mo de bu zu ,she ji yan zhi yi chong xin xing de duo hu ci guo lv ji tong 。gai duo hu ci guo lv ji tong you liang ge zhi xian guan he yi ge gan xian guan zu cheng "Y"xing de san tong guan jie gou 。tong guo you xian yuan fen xi he shi yan ce liang que ding gai xin xing duo hu ci guo lv qi de zui jia yun hang can shu wei :zhi xian guan he gan xian guan de chang du fen bie wei 180he 230 mm,nei jing wei 200 mm。zhi xian guan he gan xian guan de ci chang jiang du fen bie wei 40he 90 mT。cai yong gai xin xing duo hu ci guo lv ji tong zhi bei TiAlNduo yuan fu ge bao mo ,jie guo biao ming :gai xin xing duo hu ci guo lv ji tong ke shi xian duo yuan fu ge bao mo de zu fen diao kong ,bing ju mo ceng de biao mian xing mao guang jie ,mo ceng yuan su fen bu jun yun 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自中国表面工程的黄杰,史学伟,廖斌,吴先映，发表于刊物中国表面工程2019年02期论文，是一篇关于多元复合膜论文,磁过滤论文,阴极真空电弧论文,组分调控论文,中国表面工程2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自中国表面工程2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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