本文主要研究内容
作者胡强,刘坤,孙飞,杜雪峰,赵新颖（2019）在《低温磁控溅射制备的柔性AZO复合薄膜性能的优化》一文中研究指出：AZO薄膜具有成本低廉、资源利用率高、适应于大面积生产及化学性质稳定等优点,是最有潜力替代ITO薄膜透明导电薄膜。但低温制备的AZO薄膜性能不尽如人意,且AZO薄膜在玻璃基板上的电学性能优于在柔性基底上,不利于其应用在柔性电子技术上。因此,如何在低温条件下沉积高质量AZO薄膜,成为当下柔性电子等领域的研究热点。利用磁控溅射法在柔性PET衬底上制备了AZO薄膜,得到最佳沉积参数;利用最优参数,系统地
Abstract
AZObao mo ju you cheng ben di lian 、zi yuan li yong lv gao 、kuo ying yu da mian ji sheng chan ji hua xue xing zhi wen ding deng you dian ,shi zui you qian li ti dai ITObao mo tou ming dao dian bao mo 。dan di wen zhi bei de AZObao mo xing neng bu jin ru ren yi ,ju AZObao mo zai bo li ji ban shang de dian xue xing neng you yu zai rou xing ji de shang ,bu li yu ji ying yong zai rou xing dian zi ji shu shang 。yin ci ,ru he zai di wen tiao jian xia chen ji gao zhi liang AZObao mo ,cheng wei dang xia rou xing dian zi deng ling yu de yan jiu re dian 。li yong ci kong jian she fa zai rou xing PETchen de shang zhi bei le AZObao mo ,de dao zui jia chen ji can shu ;li yong zui you can shu ,ji tong de
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自第十四届国际真空科学与工程应用学术会议的胡强,刘坤,孙飞,杜雪峰,赵新颖，发表于刊物第十四届国际真空科学与工程应用学术会议2019-08-04论文，是一篇关于薄膜论文,磁控溅射论文,缓冲层论文,第十四届国际真空科学与工程应用学术会议2019-08-04论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自第十四届国际真空科学与工程应用学术会议2019-08-04论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。