本文主要研究内容
作者王丹,叶鸣,冯鹏,贺永宁,崔万照（2019）在《激光刻蚀对镀金表面二次电子发射的有效抑制》一文中研究指出：使用红外激光刻蚀技术在镀金铝合金表面制备了多种形貌的微孔及交错沟槽阵列.表征了两类激光刻蚀微阵列结构的三维形貌和二维精细形貌,分析了样品表面非理想二级粗糙结构的形成机制.研究了微阵列结构二次电子发射特性对表面形貌的依赖规律.实验结果表明:激光刻蚀得到的微阵列结构能够有效抑制镀金表面二次电子产额(secondary electron yield,SEY),且抑制能力明显优于诸多其他表面处理技术;微阵列结构对SEY的抑制能力与其孔隙率及深宽比呈现正相关,且孔隙率对SEY的影响更为显著.使用蒙特卡罗模拟方法并结合二次电子发射唯象模型和电子轨迹追踪算法,仿真了各微结构表面二次电子发射特性,模拟结果从理论上验证了微阵列结构孔隙率及深宽比对表面SEY的影响规律.本文获得了能够剧烈降低镀金表面SEY的微阵列结构,理论分析了SEY对微结构特征参数的依赖规律,对开发空间微波系统中低SEY表面及提高镀金微波器件性能有重要意义.
Abstract
shi yong gong wai ji guang ke shi ji shu zai du jin lv ge jin biao mian zhi bei le duo chong xing mao de wei kong ji jiao cuo gou cao zhen lie .biao zheng le liang lei ji guang ke shi wei zhen lie jie gou de san wei xing mao he er wei jing xi xing mao ,fen xi le yang pin biao mian fei li xiang er ji cu cao jie gou de xing cheng ji zhi .yan jiu le wei zhen lie jie gou er ci dian zi fa she te xing dui biao mian xing mao de yi lai gui lv .shi yan jie guo biao ming :ji guang ke shi de dao de wei zhen lie jie gou neng gou you xiao yi zhi du jin biao mian er ci dian zi chan e (secondary electron yield,SEY),ju yi zhi neng li ming xian you yu zhu duo ji ta biao mian chu li ji shu ;wei zhen lie jie gou dui SEYde yi zhi neng li yu ji kong xi lv ji shen kuan bi cheng xian zheng xiang guan ,ju kong xi lv dui SEYde ying xiang geng wei xian zhe .shi yong meng te ka luo mo ni fang fa bing jie ge er ci dian zi fa she wei xiang mo xing he dian zi gui ji zhui zong suan fa ,fang zhen le ge wei jie gou biao mian er ci dian zi fa she te xing ,mo ni jie guo cong li lun shang yan zheng le wei zhen lie jie gou kong xi lv ji shen kuan bi dui biao mian SEYde ying xiang gui lv .ben wen huo de le neng gou ju lie jiang di du jin biao mian SEYde wei zhen lie jie gou ,li lun fen xi le SEYdui wei jie gou te zheng can shu de yi lai gui lv ,dui kai fa kong jian wei bo ji tong zhong di SEYbiao mian ji di gao du jin wei bo qi jian xing neng you chong yao yi yi .
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自物理学报的王丹,叶鸣,冯鹏,贺永宁,崔万照，发表于刊物物理学报2019年06期论文，是一篇关于激光刻蚀论文,微结构论文,二次电子发射论文,二级粗糙结构论文,物理学报2019年06期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自物理学报2019年06期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：激光刻蚀论文; 微结构论文; 二次电子发射论文; 二级粗糙结构论文; 物理学报2019年06期论文;