本文主要研究内容
作者陈宁,索艳春（2019）在《基于Gsolver的双层纳米光栅位移检测装置设计与衍射特性研究》一文中研究指出：针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高的难题,该文设计了双层纳米光栅位移检测装置。该文首先用严格耦合波理论分析了纳米光栅的衍射效率与结构参数的关系公式,然后通过Gsolver软件仿真得到双层纳米光栅的位移量与光强衍射效率的关系曲线。从关系曲线中发现:双层纳米光栅结构的0级透射光和反射光的衍射效率随可动纳米光栅结构的位移移动量周期性变化,衍射效率变化率为0.175%/nm。该文设计的双层纳米光栅位移检测装置的分辨率为800 nm,为高精度高分辨率的位移传感器提供了可行途径。
Abstract
zhen dui xian you guang shan wei yi chuan gan qi fen bian lv he jing du nan yi di gao de nan ti ,gai wen she ji le shuang ceng na mi guang shan wei yi jian ce zhuang zhi 。gai wen shou xian yong yan ge ou ge bo li lun fen xi le na mi guang shan de yan she xiao lv yu jie gou can shu de guan ji gong shi ,ran hou tong guo Gsolverruan jian fang zhen de dao shuang ceng na mi guang shan de wei yi liang yu guang jiang yan she xiao lv de guan ji qu xian 。cong guan ji qu xian zhong fa xian :shuang ceng na mi guang shan jie gou de 0ji tou she guang he fan she guang de yan she xiao lv sui ke dong na mi guang shan jie gou de wei yi yi dong liang zhou ji xing bian hua ,yan she xiao lv bian hua lv wei 0.175%/nm。gai wen she ji de shuang ceng na mi guang shan wei yi jian ce zhuang zhi de fen bian lv wei 800 nm,wei gao jing du gao fen bian lv de wei yi chuan gan qi di gong le ke hang tu jing 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自仪表技术与传感器的陈宁,索艳春，发表于刊物仪表技术与传感器2019年04期论文，是一篇关于位移传感器论文,纳米光栅论文,严格耦合波理论论文,仪表技术与传感器2019年04期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自仪表技术与传感器2019年04期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：位移传感器论文; 纳米光栅论文; 严格耦合波理论论文; 仪表技术与传感器2019年04期论文;