本文主要研究内容
作者万明辉（2019）在《某超硅半导体洁净厂房微震控制技术》一文中研究指出：科技电子材料的制程精密度高,超硅半导体项目具有极高的纯度要求任何轻微的震动导致的杂质沾污,均可引起纯度的不达标。除工艺机台自身的微震设计外,针对本工程与施工相关的结构、设备、管道、洁净装修等方面对微震的控制进行阐述,为超大面积洁净厂房微震控制提出可靠的技术方案,从而有效地保证了工艺设备对微震控制的质量要求。
Abstract
ke ji dian zi cai liao de zhi cheng jing mi du gao ,chao gui ban dao ti xiang mu ju you ji gao de chun du yao qiu ren he qing wei de zhen dong dao zhi de za zhi zhan wu ,jun ke yin qi chun du de bu da biao 。chu gong yi ji tai zi shen de wei zhen she ji wai ,zhen dui ben gong cheng yu shi gong xiang guan de jie gou 、she bei 、guan dao 、jie jing zhuang xiu deng fang mian dui wei zhen de kong zhi jin hang chan shu ,wei chao da mian ji jie jing an fang wei zhen kong zhi di chu ke kao de ji shu fang an ,cong er you xiao de bao zheng le gong yi she bei dui wei zhen kong zhi de zhi liang yao qiu 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自建材与装饰的万明辉，发表于刊物建材与装饰2019年24期论文，是一篇关于微震论文,洁净厂房论文,设备论文,结构论文,管道论文,洁净内装论文,建材与装饰2019年24期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自建材与装饰2019年24期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。