导读:本文包含了分离电荷存储论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:分离电荷存储,原子层淀积,高介电常数,金属纳米晶
分离电荷存储论文文献综述
廖忠伟[1]（2009）在《基于分离电荷存储的MOS结构存储效应及机理研究》一文中研究指出随着半导体工艺技术的不断发展,存储单元特征尺寸不断减小,传统的多晶硅浮栅快闪存储器正面临着严峻的挑战。而基于分离电荷存储的非易失性存储器,由于具有分散的电荷存储陷阱,因此可以实现在较薄的隧穿层下良好的数据保持能力,以及低工作电压下的快速擦写功能,是下一代嵌入式快闪存储器最理想的解决方案之一。本论文基于分离的电荷存储方式,分别以介质陷阱和金属纳米晶为电荷存储媒介,结合原子层淀积高介电常数介质和电荷隧穿层能带设计,研究了其金属—氧化物—硅(MOS)结构的存储效应和物理机制。具体内容包括以下几个方面:采用高温热氧化的SiO_2为电荷隧穿层,原子层淀积(ALD)的HfO_2为电荷俘获层,ALD Al_2O_3,为电荷阻挡层,研究了基于SiO_2HfO_2Al_2O_3迭层介质的MIS结构存储效应。结果表明,在+/-12 V的电压扫描范围内,其C—V滞回窗口达到7.3 V。经过5 V和1 ms的电压脉冲编程后,其平带电压漂移+1.5 V。此外,还进一步研究了时间和电压对注入电荷量和电荷注入速率的影响以及存储电荷的保留特性,并从电荷注入和泄漏的机制进行分析。采用电子束蒸发和快速热退火技术,研究在ALD Al_2O_3薄膜表面制备铂(Pt)纳米晶的工艺。结果表明,在700℃下退火30 s后可以得到密度为2.5×10~(11)cm~(-2),平均直径约为8 nm的铂纳米晶。进一步,制备了以ALD Al_2O_3为电荷隧穿层,Pt纳米晶为电荷俘获层,ALD HfO_2为电荷阻挡层的MIS结构,在-3～+8 v的电压扫描范围内,其C-V滞回窗口为2 V;经过10 V和900 ms的电压脉冲编程后,其平带电压漂移为+2.4 V。采用磁控溅射和快速热退火技术,研究了在ALD Al_2O_3薄膜表面生长钴(Co)纳米晶的工艺。结果表明,经过500℃下退火15 s后,便可得到大小均匀且致密的钴纳米晶。接着,论文以ALD方法制备了Al_2O_3/HfO_2/Al_2O_3(AHA)迭层结构的电荷隧穿层,同时以Co纳米晶为电荷俘获层,以ALD HfO_2为电荷阻挡层的MIS结构。通过对其存储效应的研究表明,采用AHA隧穿层比采用等厚度的单一Al_2O_3隧穿层更有利于增大C-V滞回窗口,即在+/-12 V的扫描电压范围内,其滞回窗口增大9 V。这是由于具有冠状能带结构的AHA隧穿层在编程和擦除状态下电荷的注入势垒能显着降低,因此提高了电荷注入速度。所以,基于AHA隧穿层的钴纳米晶存储电容能表现出低电压下快速擦写的功能,即在+/-7 v下编程/擦除100μs,存储窗口即可达到4.1 V,对应的电子和空穴平均注入速率分别为2.4×10~(16)cm~(-2)s~(-1)和1.9×10~(16)cm~(-2)s~(-1)。(本文来源于《复旦大学》期刊2009-04-22）
顾长立[2]（1989）在《光能化学存储中的电荷分离及光共生离子对的笼逸出》一文中研究指出引言 经光电子转移反应进行太阳能存储的研究虽在光解碘化氢、双光子转移电子光解水,及可见光光解水同时产氢和氧或过氧化氢,等方面取得显着进展,但有些体系工作时间还有待大幅度提高,有些体系则能量转化率还需改进。 光能化学存储中,量子收率问题是最重要的。这是因为在光能化学存储中与电荷重合相竞争的是有能障的化学反应。只有掌握多种提高量子收率的有效途径,才能发展出(本文来源于《感光科学与光化学》期刊1989年03期）
分离电荷存储论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
引言 经光电子转移反应进行太阳能存储的研究虽在光解碘化氢、双光子转移电子光解水,及可见光光解水同时产氢和氧或过氧化氢,等方面取得显着进展,但有些体系工作时间还有待大幅度提高,有些体系则能量转化率还需改进。 光能化学存储中,量子收率问题是最重要的。这是因为在光能化学存储中与电荷重合相竞争的是有能障的化学反应。只有掌握多种提高量子收率的有效途径,才能发展出
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
分离电荷存储论文参考文献
[1].廖忠伟.基于分离电荷存储的MOS结构存储效应及机理研究[D].复旦大学.2009
[2].顾长立.光能化学存储中的电荷分离及光共生离子对的笼逸出[J].感光科学与光化学.1989