罗清威：液相法在Si基底上沉积非晶碳膜论文

本文主要研究内容

作者罗清威,焦菲,邹祥宇,王玉梅（2019）在《液相法在Si基底上沉积非晶碳膜》一文中研究指出：液相法以成本低、制备工艺简单等特点成为制备非晶碳膜的热点。然而适合工业化生产的制备工艺参数尚不明确。以Si单晶为基底,通过液相沉积法在Si表面制备非晶碳膜,并研究了沉积电压与其摩擦学性能之间的关系。研究结果表明,在1 800V下所制备的非晶碳膜表面光滑平整、硬度最高。此时非晶碳膜的干摩擦系数最小,耐磨性最强,具有良好的摩擦学性能。

Abstract

ye xiang fa yi cheng ben di 、zhi bei gong yi jian chan deng te dian cheng wei zhi bei fei jing tan mo de re dian 。ran er kuo ge gong ye hua sheng chan de zhi bei gong yi can shu shang bu ming que 。yi Sichan jing wei ji de ,tong guo ye xiang chen ji fa zai Sibiao mian zhi bei fei jing tan mo ,bing yan jiu le chen ji dian ya yu ji ma ca xue xing neng zhi jian de guan ji 。yan jiu jie guo biao ming ,zai 1 800Vxia suo zhi bei de fei jing tan mo biao mian guang hua ping zheng 、ying du zui gao 。ci shi fei jing tan mo de gan ma ca ji shu zui xiao ,nai mo xing zui jiang ,ju you liang hao de ma ca xue xing neng 。

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论文详细介绍

论文作者分别是来自功能材料的罗清威,焦菲,邹祥宇,王玉梅，发表于刊物功能材料2019年01期论文，是一篇关于非晶碳膜论文,液相法论文,摩擦学性能论文,沉积电压论文,功能材料2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自功能材料2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。

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