白雪琪：基于平行板电容器的材料表面形貌测量仪论文

本文主要研究内容

作者白雪琪,廖琨,唐际杰,张谷令,邹斌（2019）在《基于平行板电容器的材料表面形貌测量仪》一文中研究指出：利用平行板电容器的原理设计了材料表面形貌测量仪,将探针与电容器下极板固连,当探针在不平整的样品表面扫描时,两极板间距发生改变而引起电容变化.通过LabVIEW编程控制平移台蛇形移动,用平行板电容器厚度测试电路测量pF量级的电容改变值.两极板初始距离为50～200μm的工作范围内,测量误差稳定在2μm.通过实时捕捉探针的坐标和极板间距的变化量,该测量仪可以绘制出三维曲面图.

Abstract

li yong ping hang ban dian rong qi de yuan li she ji le cai liao biao mian xing mao ce liang yi ,jiang tan zhen yu dian rong qi xia ji ban gu lian ,dang tan zhen zai bu ping zheng de yang pin biao mian sao miao shi ,liang ji ban jian ju fa sheng gai bian er yin qi dian rong bian hua .tong guo LabVIEWbian cheng kong zhi ping yi tai she xing yi dong ,yong ping hang ban dian rong qi hou du ce shi dian lu ce liang pFliang ji de dian rong gai bian zhi .liang ji ban chu shi ju li wei 50～200μmde gong zuo fan wei nei ,ce liang wu cha wen ding zai 2μm.tong guo shi shi bu zhuo tan zhen de zuo biao he ji ban jian ju de bian hua liang ,gai ce liang yi ke yi hui zhi chu san wei qu mian tu .

论文参考文献

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论文详细介绍

论文作者分别是来自物理实验的白雪琪,廖琨,唐际杰,张谷令,邹斌，发表于刊物物理实验2019年02期论文，是一篇关于平行板电容器论文,表面形貌论文,厚度论文,物理实验2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自物理实验2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。

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