作者吴宗跃,杨铁牛,黄尊地,赵蕾蕾,杜华娜（2019）在《低压腔室内流速分布规律研究》一文中研究指出：工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响,并在中轴线方向上建立多元线性回归模型。结果表明:当进气量、温度越大,流速越大。当压强、间距越大,流速越小。四个因素对中轴线上流速大小影响排序为:压强(p)>进气量(Q)>温度(T)>间距(G)。
gong yi qiang shi nei qi ti liu dong zhuang tai dui yu mu biao chan pin de xing neng ying xiang ji wei chong yao 。wei yan jiu qiang shi ya jiang 、jin qi liang 、wen du 、jian ju deng yin su dui qiang shi nei qi ti liu su de ying xiang ,li yong ji guang duo pu le ce su yi dui qiang shi jin hang nei liu su ce liang shi yan ,cong er yan jiu liu su de fen bu gui lv ji ge ge bian liang dui liu su gui lv de ying xiang ,bing zai zhong zhou xian fang xiang shang jian li duo yuan xian xing hui gui mo xing 。jie guo biao ming :dang jin qi liang 、wen du yue da ,liu su yue da 。dang ya jiang 、jian ju yue da ,liu su yue xiao 。si ge yin su dui zhong zhou xian shang liu su da xiao ying xiang pai xu wei :ya jiang (p)>jin qi liang (Q)>wen du (T)>jian ju (G)。
论文作者分别是来自真空科学与技术学报的吴宗跃,杨铁牛,黄尊地,赵蕾蕾,杜华娜，发表于刊物真空科学与技术学报2019年03期论文，是一篇关于真空腔室论文,激光多普勒测速仪论文,流速论文,多因素论文,回归分析论文,真空科学与技术学报2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自真空科学与技术学报2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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