作者崔寓淏,窦仁超,王凯,马永强,周雪茜（2019）在《基于蒙特卡洛法溅射离子泵泵腔结构研究》一文中研究指出：采用蒙特卡洛方法对溅射离子泵腔抽气通道内的气体流动规律进行数值模拟。建立了不同溅射离子泵结构的几何模型,计算了气体分子在不同泵腔结构中进出比例,分析了腔结构对反流量的影响,得到了抽气组件在不同泵腔结构中的抽气效率,探讨各种类型腔结构的抽气特点;最后计算了舱体高度对抽气性能的影响。结果表明:在相同条件下,I型泵腔结构抽气性能最好,T型泵腔结构次之,双侧型泵腔结构抽气性能最差。
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论文作者分别是来自真空科学与技术学报的崔寓淏,窦仁超,王凯,马永强,周雪茜，发表于刊物真空科学与技术学报2019年02期论文，是一篇关于溅射离子泵论文,蒙特卡洛方法论文,分子流论文,真空科学与技术学报2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自真空科学与技术学报2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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