真空2019年05期论文

本文主要研究内容作者廖荣,邓永健,王家驹,赵飞兰,郑若茜,刘慧君,柯嘉聪（2019）在《高介电氧化铪薄膜的制备与性能研究》一文中研究指出：采用磁控溅射法分别在Si片和玻璃片上制...