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    本文主要研究内容作者毛珊,赵建林(2019)在《镀有增透膜的多层衍射光学元件的优化设计方法》一文中研究指出:基于等效介质理论和多层衍射元件的本体相位延迟,考虑增透膜相位调制的影...
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    本文主要研究内容作者沐雯,沈伟东,杨陈楹,郑晓雯,王震,袁华新,袁文佳,章岳光(2019)在《基于原子层沉积技术的石英管表面减反射膜的制备》一文中研究指出:采用原子层沉积(ALD)技术在石英管表面制备了薄膜,研究了该薄膜的均匀性,以及石英管的内径、外径、长度对沉积薄膜均匀性的影响。以单波长减反射膜为...