传感器与微系统2019年04期论文

本文主要研究内容作者梁军生,杨金鹤,张小辉,胡亚明,王大志（2019）在《聚酰亚胺薄膜旋涂工艺及其抗电击穿性能》一文中研究指出：采用旋涂法制备了高质量的聚酰亚胺薄膜,研究了薄膜厚度与旋涂转速之间的关系;对不同厚度的旋涂薄膜进行了电击穿实验,探讨了膜厚对击穿性能的影响。结果表明:聚酰亚胺薄膜的厚度与旋...