真空科学与技术学报2019年03期论文

本文主要研究内容作者霍昆,任志杰,孙玄（2019）在《减速场分析仪透射率与栅网结构关系分析》一文中研究指出：为对科大全对称串节磁镜(KMAX)装置中等离子体离子能量分布和离子温...

本文主要研究内容作者许海虹（2019）在《RH用机械真空泵抽气过程计算机仿真程序的开发》一文中研究指出：全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精...

本文主要研究内容作者吴宗跃,杨铁牛,黄尊地,赵蕾蕾,杜华娜（2019）在《低压腔室内流速分布规律研究》一文中研究指出：工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研...