高k金属栅(HKMG)

导读:本文包含了金属栅论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:高k金属栅(HKMG),功函数层,磁控溅射,Ti,Al原子比率金属栅论文文献综述刘城,王爱记,刘自瑞,...